JP2006013402A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 加減圧手段51により、微小開口パターンを有する露光用マスク109を加減圧により弾性変形させて被露光物110Aに接触、又は剥離させると共に、制御手段200により加減圧手段51による加減圧動作を制御する。さらに、制御手段200により、加減圧手段51による加減圧動作を予め用意された制御データに基づいて制御することにより、急激な加圧や減圧による露光用マスク109への衝撃負荷を低減することができるようにする。
【選択図】 図1
Description
51 加減圧アクチュエータ
108 圧力調整容器
109 露光用マスク
109d 微小開口
110A 被露光物
200 加減圧制御部
Claims (6)
- 微小開口パターンを有する露光用マスクを弾性変形させ、被露光物に接触させた状態で露光を行う露光装置において、
前記露光用マスクを前記被露光物に接触、又は剥離させるよう該露光用マスクを加減圧により弾性変形させる加減圧手段と、
前記加減圧手段による加減圧動作を制御する制御手段と、
を備え、
前記制御手段は、前記加減圧手段による加減圧動作を予め用意された制御データに基づいて制御することを特徴とする露光装置。 - 前記制御データは圧力データを有し、前記制御手段は、前記加減圧手段による加減圧動作の際、前記露光用マスクの許容負荷と、前記制御データの圧力データとを比較し、前記制御データの圧力データが、前記露光用マスクの許容負荷を超えると判断すると、前記加減圧手段による加減圧動作を停止することを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記露光用マスクの許容負荷は、前記露光用マスクの弾性変形を所定の範囲内とする大きさのもの、または前記露光用マスクの固有振動を回避する大きさのものの、或いはその両方の大きさのものであることを特徴とする請求項2記載の露光装置。
- 前記制御データ及び前記露光用マスクの許容負荷は変更可能であることを特徴とする請求項2又は3記載の露光装置。
- 前記制御データ及び前記露光用マスクの許容負荷を、通信手段を介して外部から変更可能とすることを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記制御手段は、前記制御データの圧力データが前記露光用マスクの許容負荷を超えると判断すると、前記制御データの圧力データが前記露光用マスクの許容負荷を超えたことを表示手段により表示することを特徴とする請求項2記載の露光装置。
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