JP2006013320A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 上下方向で所定間隔を空けて被処理体を収納するキャリアを載置する機構であって、上記キャリアは、上記被処理体を左右両側から支持するように上下方向に所定間隔を空けて形成された複数対の溝と、最下段の上記左右一対の溝よりも下方に配置された案内棒と、を有し、上記最下段の溝と上記案内棒との間隔が上下で隣り合う溝の間隔よりも狭くなっており、上記キャリアを載置する機構は、上記キャリアを載置する載置台と、この載置台に対して出没可能に設けられ且つ上記キャリアの最下段の溝に収納された被処理体を昇降させる出没部材と、これらの出没部材を駆動させる駆動機構とを有することを特徴とする載置機構。
2. 上記載置台は、上面に上記出没部材が出没する開口部を有することを特徴とする請求項１に記載の載置機構。
3. 上記出没部材は、上記開口部に固定された軸に遊嵌する孔を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の載置機構。
4. 上記出没部材を複数有し、上記駆動機構は、上記複数の出没部材を連結する無端状ベルトと、無端状ベルトに連結されたシリンダ機構と、を有することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の載置機構。
5. 上記被処理体は、ウエハと、このウエハが貼り付けられたフィルムと、上記ウエハの周囲で上記フィルムを支持するダイシングフレームとを有することを特徴とする請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の載置機構。
6. 被処理体を左右両側から支持するように上下方向に所定間隔を空けて形成された複数対の溝と、最下段の上記左右一対の溝よりも下方に配置された案内棒と、を有し、上記最下段の溝と上記案内棒との間隔が上下で隣り合う溝の間隔よりも狭くなっているキャリア内に収納された上記被処理体を上記キャリアから搬出する方法であって、
   上記キャリアにおける最下段の溝で支持された上記被処理体を持ち上げる工程と、
   持ち上げられた上記被処理体の下面と上記キャリアの案内棒との間に搬送アームを挿入する工程と、
   上記被処理体を降下させて上記搬送アームに載せる工程と、
   上記搬送アームによって上記被処理体を上記キャリアから搬出する工程と、を備えた
   ことを特徴とする被処理体の搬出方法。