JP2006012459A - 赤外線放射素子 - Google Patents
赤外線放射素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006012459A JP2006012459A JP2004184008A JP2004184008A JP2006012459A JP 2006012459 A JP2006012459 A JP 2006012459A JP 2004184008 A JP2004184008 A JP 2004184008A JP 2004184008 A JP2004184008 A JP 2004184008A JP 2006012459 A JP2006012459 A JP 2006012459A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heating element
- layer
- element layer
- support substrate
- silicon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
Abstract
【解決手段】赤外線放射素子は、支持基板1の一表面側に発熱体層3が形成され、発熱体層3と支持基板1との間に断熱層2が形成され、支持基板1の上記一表面側に発熱体層3の両端部それぞれと接する形で一対のパッド4,4が形成されている。支持基板1として単結晶のシリコン基板を用いており、断熱層2を多孔度が略70%の多孔質シリコン層により構成している。また、発熱体層3は、シリコンよりも高融点の金属(例えば、タングステン)により形成してある。また、パッド4,4は、少なくとも発熱体層3と接する部位がシリコンよりも高融点の金属(例えば、クロム)により形成してある。
【選択図】 図1
Description
本実施形態の赤外線放射素子は、図1に示すように、単結晶のシリコン基板からなる支持基板1の厚み方向の一表面(図1における上面)側に発熱体層3が形成され、発熱体層3と支持基板1との間に断熱層2が形成され、支持基板1の上記一表面側に発熱体層3の両端部(図1における左右両端部)それぞれと接する形で一対のパッド4,4が形成されている。ここに、支持基板1の平面形状は矩形状であって、断熱層2および発熱体層3の平面形状も矩形状に形成してある。なお、発熱体層3は、断熱層2よりも平面サイズが小さく(発熱体層3は断熱層2の外周よりも内側に形成されている)、各パッド4,4はそれぞれ、発熱体層3の端部と断熱層2の端部と支持基板1の端部とに跨って形成されている。
λ=2898/T
となり、発熱体層3の絶対温度Tと発熱体層3から放射される赤外線のピーク波長λとの関係がウィーンの変位則を満足している。要するに、本実施形態の赤外線放射素子では、発熱体層3が黒体を構成しており、図示しない外部電源からパッド4,4間に与える入力電力を調整することにより、発熱体層3に発生するジュール熱を変化させる(つまり、発熱体層3の温度を変化させる)ことができる。したがって、図2に示すように発熱体層3への最大入力電力に応じて発熱体層3の温度を変化させることができ、また、図3に示すように発熱体層3の温度を変化させることで発熱体層3から放射される赤外線のピーク波長λを変化させることができる。ここにおいて、本実施形態では、発熱体層3が上述のように黒体を構成し、発熱体層3の単位面積が単位時間に放射する全エネルギEがT4に比例している(つまり、シュテファン−ボルツマンの法則を満足している)ので、発熱体層3の温度を高くするほど赤外線の放射量を増大させることができ、広範囲の赤外線波長域において高出力の赤外線光源として用いることが可能となる。
2 断熱層
3 発熱体層
4 パッド
Claims (2)
- 支持基板の一表面側に形成された発熱体層と、支持基板の前記一表面側で支持基板と発熱体層との間に介在する断熱層とを備え、発熱体層へ電力を与えることにより発熱体層から赤外線が放射される赤外線放射素子であって、支持基板が単結晶シリコンにより形成されるとともに、断熱層が多孔質シリコンにより形成され、発熱体層がシリコンよりも高融点の金属により形成されてなることを特徴とする赤外線放射素子。
- 前記支持基板の前記一表面側で前記発熱体層と接する形で形成された一対のパッドを備え、各パッドは、少なくとも前記発熱体層に接する部位がシリコンよりも高融点の金属により形成されてなることを特徴とする請求項1記載の赤外線放射素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004184008A JP4534620B2 (ja) | 2004-06-22 | 2004-06-22 | 赤外線放射素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004184008A JP4534620B2 (ja) | 2004-06-22 | 2004-06-22 | 赤外線放射素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006012459A true JP2006012459A (ja) | 2006-01-12 |
JP4534620B2 JP4534620B2 (ja) | 2010-09-01 |
Family
ID=35779476
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004184008A Expired - Fee Related JP4534620B2 (ja) | 2004-06-22 | 2004-06-22 | 赤外線放射素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4534620B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006094399A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Matsushita Electric Works Ltd | 圧力波発生素子 |
CN102404886A (zh) * | 2011-11-22 | 2012-04-04 | 周存文 | 全红外辐射陶瓷加热器及其制作方法 |
JP2014123036A (ja) * | 2012-12-21 | 2014-07-03 | Fuji Xerox Co Ltd | 面状発熱体、定着装置、及び画像形成装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03140100A (ja) * | 1989-10-26 | 1991-06-14 | Fuji Xerox Co Ltd | 電気音響変換方法及びその為の装置 |
JPH0864183A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-03-08 | Instrumentarium Oy | 電気的に調節可能な熱放射源 |
JPH11300274A (ja) * | 1998-04-23 | 1999-11-02 | Japan Science & Technology Corp | 圧力波発生装置 |
JP2001289808A (ja) * | 2000-04-11 | 2001-10-19 | Fuji Electric Co Ltd | 薄膜ガスセンサ |
-
2004
- 2004-06-22 JP JP2004184008A patent/JP4534620B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03140100A (ja) * | 1989-10-26 | 1991-06-14 | Fuji Xerox Co Ltd | 電気音響変換方法及びその為の装置 |
JPH0864183A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-03-08 | Instrumentarium Oy | 電気的に調節可能な熱放射源 |
JPH11300274A (ja) * | 1998-04-23 | 1999-11-02 | Japan Science & Technology Corp | 圧力波発生装置 |
JP2001289808A (ja) * | 2000-04-11 | 2001-10-19 | Fuji Electric Co Ltd | 薄膜ガスセンサ |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006094399A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Matsushita Electric Works Ltd | 圧力波発生素子 |
JP4649929B2 (ja) * | 2004-09-27 | 2011-03-16 | パナソニック電工株式会社 | 圧力波発生素子 |
CN102404886A (zh) * | 2011-11-22 | 2012-04-04 | 周存文 | 全红外辐射陶瓷加热器及其制作方法 |
JP2014123036A (ja) * | 2012-12-21 | 2014-07-03 | Fuji Xerox Co Ltd | 面状発熱体、定着装置、及び画像形成装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4534620B2 (ja) | 2010-09-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4672597B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP4421595B2 (ja) | 加熱装置 | |
JP5591627B2 (ja) | セラミックス部材及びその製造方法 | |
WO2017115599A1 (ja) | セラミックス部材 | |
JP2013235864A (ja) | 光源 | |
JP4534620B2 (ja) | 赤外線放射素子 | |
CN112585825A (zh) | 二极管激光器组件和用于制造二极管激光器组件的方法 | |
JP2006180082A (ja) | 圧力波発生素子およびその製造方法 | |
JP2005269745A (ja) | 超音波音源および超音波センサ | |
JP2007057456A (ja) | 赤外線放射素子、ガスセンサ、及び赤外線放射素子の製造方法 | |
CN102097275B (zh) | 用于放电灯的电极结构 | |
JP3918806B2 (ja) | 被加熱物載置用ヒータ部材及び加熱処理装置 | |
JP2018005998A (ja) | セラミックスヒータ | |
JP5243817B2 (ja) | 赤外線放射素子 | |
JP4424221B2 (ja) | 赤外線放射素子及びそれを用いたガスセンサ | |
JP2006331752A (ja) | 赤外線放射素子 | |
Park et al. | Research on generation of micro-plasma arc and its power intensity | |
JP4501705B2 (ja) | 赤外線放射素子 | |
JP5914922B2 (ja) | 半導体熱処理用ヒーター | |
JP4534597B2 (ja) | 赤外線放射素子 | |
JP2007027375A (ja) | レーザモジュール | |
JP4396395B2 (ja) | 赤外線放射素子の製造方法 | |
JP4852886B2 (ja) | 赤外線放射素子 | |
JP2006088126A (ja) | 圧力波発生素子 | |
WO2023189842A1 (ja) | エミッター及びこれを備える装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070412 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090713 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090929 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100525 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100607 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130625 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |