JP2006180082A - 圧力波発生素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコン基板からなる支持基板1と、支持基板1の一表面側に形成された発熱体層3と、支持基板1の上記一表面側で支持基板1と発熱体層3との間に介在する熱絶縁層2と、発熱体層3の両端部それぞれに電気的に接続された一対のパッド4,4とを備え、一対のパッド4,4を介した発熱体層3への通電に伴う発熱体層3と媒体との熱交換により圧力波を発生する。発熱体層3は、動作温度よりも高温でのアニール処理が施された金属薄膜により構成されている。
【選択図】 図1
Description
本実施形態の圧力波発生素子は、図1(a),(b)に示すように、単結晶のp形のシリコン基板からなる支持基板1の一表面(図1(b)における上面)側に多孔質シリコン層からなる熱絶縁層(断熱層)2が形成され、熱絶縁層2上に発熱体層3が形成され、支持基板1の上記一表面側に発熱体層3と電気的に接続された一対のパッド4,4が形成されている。ここにおいて、本実施形態の圧力波発生素子は、発熱体層3へ与える駆動電圧波形もしくは駆動電流波形に応じた発熱体層3の温度変化に伴って発熱体層3と媒体である空気との熱交換により圧力波を発生する。なお、支持基板1の平面形状は長方形状であって、熱絶縁層2、発熱体層3それぞれの平面形状も長方形状に形成してある。
本実施形態の圧力波発生素子の基本構成は実施形態1と同じであり、製造方法が相違するだけなので、以下、製造方法についてのみ説明する。ただし、実施形態1にて説明した製造方法と同様の工程についての説明は適宜省略する。
2 熱絶縁層
3 発熱体層
4 パッド
Claims (3)
- 支持基板と、支持基板の一表面側に形成された発熱体層と、支持基板の前記一表面側で支持基板と発熱体層との間に介在する熱絶縁層と、発熱体層の両端部それぞれに電気的に接続された一対のパッドとを備え、一対のパッドを介した発熱体層への通電に伴う発熱体層と媒体との熱交換により圧力波を発生する圧力波発生素子であって、発熱体層は、動作温度よりも高温でのアニール処理が施された金属薄膜からなることを特徴とする圧力波発生素子。
- 支持基板と、支持基板の一表面側に形成された発熱体層と、支持基板の前記一表面側で支持基板と発熱体層との間に介在する熱絶縁層と、発熱体層の両端部それぞれに電気的に接続された一対のパッドとを備え、一対のパッドを介した発熱体層への通電に伴う発熱体層と媒体との熱交換により圧力波を発生する圧力波発生素子の製造方法であって、支持基板の前記一表面側に熱絶縁層を形成する熱絶縁層形成工程と、熱絶縁層上に金属薄膜からなる発熱体層を形成する発熱体層形成工程と、発熱体層の両端部それぞれに接する一対のパッドを形成するパッド形成工程とを備え、さらに、パッド電極形成工程よりも後で発熱体層を動作温度よりも高温でアニール処理するアニール処理工程を備えることを特徴とする圧力波発生素子の製造方法。
- 支持基板と、支持基板の一表面側に形成された発熱体層と、支持基板の前記一表面側で支持基板と発熱体層との間に介在する熱絶縁層と、発熱体層の両端部それぞれに電気的に接続された一対のパッドとを備え、一対のパッドを介した発熱体層への通電に伴う発熱体層と媒体との熱交換により圧力波を発生する圧力波発生素子の製造方法であって、支持基板の前記一表面側に熱絶縁層を形成する熱絶縁層形成工程と、熱絶縁層上に金属薄膜からなる発熱体層を形成する発熱体層形成工程と、発熱体層の両端部それぞれに接する一対のパッドを形成するパッド形成工程とを備え、発熱体層形成工程とパッド形成工程との間に、発熱体層を動作温度よりも高温でアニール処理するアニール処理工程を備えることを特徴とする圧力波発生素子の製造方法。
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Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010141894A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Qinghua Univ | 超音波音響装置 |
US8225501B2 (en) | 2009-08-07 | 2012-07-24 | Tsinghua University | Method for making thermoacoustic device |
US8238586B2 (en) | 2008-12-30 | 2012-08-07 | Beijing Funate Innovation Technology Co., Ltd. | Thermoacoustic device |
US8249280B2 (en) | 2009-09-25 | 2012-08-21 | Beijing Funate Innovation Technology Co., Ltd. | Thermoacoustic device |
US8249279B2 (en) | 2008-04-28 | 2012-08-21 | Beijing Funate Innovation Technology Co., Ltd. | Thermoacoustic device |
US8259967B2 (en) | 2008-04-28 | 2012-09-04 | Tsinghua University | Thermoacoustic device |
US8259968B2 (en) | 2008-04-28 | 2012-09-04 | Tsinghua University | Thermoacoustic device |
US8270639B2 (en) | 2008-04-28 | 2012-09-18 | Tsinghua University | Thermoacoustic device |
US8292436B2 (en) | 2009-07-03 | 2012-10-23 | Tsinghua University | Projection screen and image projection system using the same |
US8300855B2 (en) | 2008-12-30 | 2012-10-30 | Beijing Funate Innovation Technology Co., Ltd. | Thermoacoustic module, thermoacoustic device, and method for making the same |
US8300854B2 (en) | 2008-10-08 | 2012-10-30 | Tsinghua University | Flexible thermoacoustic device |
US8406450B2 (en) | 2009-08-28 | 2013-03-26 | Tsinghua University | Thermoacoustic device with heat dissipating structure |
US8452031B2 (en) | 2008-04-28 | 2013-05-28 | Tsinghua University | Ultrasonic thermoacoustic device |
US8457331B2 (en) | 2009-11-10 | 2013-06-04 | Beijing Funate Innovation Technology Co., Ltd. | Thermoacoustic device |
US8494187B2 (en) | 2009-11-06 | 2013-07-23 | Tsinghua University | Carbon nanotube speaker |
US8537640B2 (en) | 2009-09-11 | 2013-09-17 | Tsinghua University | Active sonar system |
US8905320B2 (en) | 2009-06-09 | 2014-12-09 | Tsinghua University | Room heating device capable of simultaneously producing sound waves |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10242473A (ja) * | 1997-03-03 | 1998-09-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 金属薄膜及び薄膜トランジスタの製造方法及び金属薄膜を用いた半導体装置 |
JPH10321621A (ja) * | 1997-05-19 | 1998-12-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 金属薄膜形成方法 |
JP2004216360A (ja) * | 2002-11-20 | 2004-08-05 | Yamatake Corp | 圧力波発生装置とその製造方法 |
-
2004
- 2004-12-21 JP JP2004369627A patent/JP4513546B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10242473A (ja) * | 1997-03-03 | 1998-09-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 金属薄膜及び薄膜トランジスタの製造方法及び金属薄膜を用いた半導体装置 |
JPH10321621A (ja) * | 1997-05-19 | 1998-12-04 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 金属薄膜形成方法 |
JP2004216360A (ja) * | 2002-11-20 | 2004-08-05 | Yamatake Corp | 圧力波発生装置とその製造方法 |
Cited By (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8270639B2 (en) | 2008-04-28 | 2012-09-18 | Tsinghua University | Thermoacoustic device |
US8452031B2 (en) | 2008-04-28 | 2013-05-28 | Tsinghua University | Ultrasonic thermoacoustic device |
US8249279B2 (en) | 2008-04-28 | 2012-08-21 | Beijing Funate Innovation Technology Co., Ltd. | Thermoacoustic device |
US8259967B2 (en) | 2008-04-28 | 2012-09-04 | Tsinghua University | Thermoacoustic device |
US8259966B2 (en) | 2008-04-28 | 2012-09-04 | Beijing Funate Innovation Technology Co., Ltd. | Acoustic system |
US8259968B2 (en) | 2008-04-28 | 2012-09-04 | Tsinghua University | Thermoacoustic device |
US8300854B2 (en) | 2008-10-08 | 2012-10-30 | Tsinghua University | Flexible thermoacoustic device |
JP2010141894A (ja) * | 2008-12-12 | 2010-06-24 | Qinghua Univ | 超音波音響装置 |
US8311244B2 (en) | 2008-12-30 | 2012-11-13 | Beijing Funate Innovation Technology Co., Ltd. | Thermoacoustic device |
US8331587B2 (en) | 2008-12-30 | 2012-12-11 | Beijing Funate Innovation Technology Co., Ltd. | Thermoacoustic module, thermoacoustic device, and method for making the same |
US8300856B2 (en) | 2008-12-30 | 2012-10-30 | Beijing Funate Innovation Technology Co., Ltd. | Thermoacoustic device |
US8300855B2 (en) | 2008-12-30 | 2012-10-30 | Beijing Funate Innovation Technology Co., Ltd. | Thermoacoustic module, thermoacoustic device, and method for making the same |
US8763234B2 (en) | 2008-12-30 | 2014-07-01 | Beijing Funate Innovation Technology Co., Ltd. | Method for making thermoacoustic module |
US8306246B2 (en) | 2008-12-30 | 2012-11-06 | Beijing FUNATE Innovation Technology Co., Ld. | Thermoacoustic device |
US8238586B2 (en) | 2008-12-30 | 2012-08-07 | Beijing Funate Innovation Technology Co., Ltd. | Thermoacoustic device |
US8311245B2 (en) | 2008-12-30 | 2012-11-13 | Beijing Funate Innovation Technology Co., Ltd. | Thermoacoustic module, thermoacoustic device, and method for making the same |
US8315415B2 (en) | 2008-12-30 | 2012-11-20 | Beijing Funate Innovation Technology Co., Ltd. | Speaker |
US8462965B2 (en) | 2008-12-30 | 2013-06-11 | Beijing Funate Innovation Technology Co., Ltd. | Thermoacoustic module, thermoacoustic device, and method for making the same |
US8345896B2 (en) | 2008-12-30 | 2013-01-01 | Beijing Funate Innovation Technology Co., Ltd. | Thermoacoustic device |
US8905320B2 (en) | 2009-06-09 | 2014-12-09 | Tsinghua University | Room heating device capable of simultaneously producing sound waves |
US8292436B2 (en) | 2009-07-03 | 2012-10-23 | Tsinghua University | Projection screen and image projection system using the same |
US8225501B2 (en) | 2009-08-07 | 2012-07-24 | Tsinghua University | Method for making thermoacoustic device |
US8615096B2 (en) | 2009-08-07 | 2013-12-24 | Tsinghua University | Thermoacoustic device |
US8406450B2 (en) | 2009-08-28 | 2013-03-26 | Tsinghua University | Thermoacoustic device with heat dissipating structure |
US8537640B2 (en) | 2009-09-11 | 2013-09-17 | Tsinghua University | Active sonar system |
US8249280B2 (en) | 2009-09-25 | 2012-08-21 | Beijing Funate Innovation Technology Co., Ltd. | Thermoacoustic device |
US8494187B2 (en) | 2009-11-06 | 2013-07-23 | Tsinghua University | Carbon nanotube speaker |
US8457331B2 (en) | 2009-11-10 | 2013-06-04 | Beijing Funate Innovation Technology Co., Ltd. | Thermoacoustic device |
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Publication number | Publication date |
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