JP4852886B2 - 赤外線放射素子 - Google Patents
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2 断熱(多孔質化)層
3 発熱体層
4 パッド
5 高強度構造部
Claims (3)
- 陽極酸化処理によってシリコンからなる支持基板の一方の表面から他方の表面に貫いてシリコンを多孔質化することにより形成された断熱層と、該断熱層の他方の表面上に形成されて該断熱層よりも熱伝導率および導電率それぞれが大きな発熱体層と、該発熱体層の表面に形成された一対のパッドを有してなり、前記支持基板の側面側それぞれに多孔質化されていないシリコンからなる高強度構造部を設け、前記シリコンからなる支持基板の多孔質層の面積は前記一方の表面側が前記他方の表面側より広くなるよう形成したことを特徴とする赤外線放射素子。
- 前記支持基板の一方の表面から他方の表面に貫いて多孔質化する途中で陽極酸化処理の電流密度の変化により前記他方の表面側の多孔度の方を、前記一方の表面側の多孔度よりも大きく形成したことを特徴とする請求項1に記載の赤外線放射素子。
- 前記支持基板の発熱体層が形成されていない前記一方の表面側が全面にわたって多孔質化されていることを特徴とする請求項2に記載の赤外線放射素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005151732A JP4852886B2 (ja) | 2005-05-25 | 2005-05-25 | 赤外線放射素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005151732A JP4852886B2 (ja) | 2005-05-25 | 2005-05-25 | 赤外線放射素子 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2006329732A JP2006329732A (ja) | 2006-12-07 |
JP4852886B2 true JP4852886B2 (ja) | 2012-01-11 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005151732A Expired - Fee Related JP4852886B2 (ja) | 2005-05-25 | 2005-05-25 | 赤外線放射素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4852886B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5374292B2 (ja) * | 2008-12-19 | 2013-12-25 | パナソニック株式会社 | 赤外線放射素子及び当該赤外線放射素子を備えた赤外線式ガス検知器及び当該赤外線放射素子の製造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0632267B2 (ja) * | 1985-02-20 | 1994-04-27 | リコ−精器株式会社 | 電熱器 |
JPH11251630A (ja) * | 1998-02-27 | 1999-09-17 | Anritsu Corp | 赤外線放射素子 |
JPH11274553A (ja) * | 1998-03-25 | 1999-10-08 | Anritsu Corp | 赤外線放射素子 |
JP3705926B2 (ja) * | 1998-04-23 | 2005-10-12 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 圧力波発生装置 |
EP1679735B1 (en) * | 2003-10-27 | 2010-06-02 | Panasonic Electric Works Co., Ltd. | Infrared light emitting device and gas sensor using same |
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2005
- 2005-05-25 JP JP2005151732A patent/JP4852886B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006329732A (ja) | 2006-12-07 |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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