JP2006012301A - 光記録再生方法、光ピックアップ装置、光記録再生装置、光記録媒体とその製造方法及び半導体レーザ装置 - Google Patents

光記録再生方法、光ピックアップ装置、光記録再生装置、光記録媒体とその製造方法及び半導体レーザ装置 Download PDF

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Abstract

【課題】ニアフィールド光記録再生方式に適用して好適で、且つ転送レートの高速化が可能な光記録再生方法、光ピックアップ装置、光記録再生装置を提案する。
【解決手段】光記録媒体に近接場光を照射して記録及び/又は再生を行う光記録再生方法であって、光記録媒体の案内トラック31に挟まれた記録再生領域30に、2以上の記録再生用のビームスポット32を配置して記録及び/又は再生を行う。
【選択図】図3

Description

本発明は、特に近接場光を光記録媒体に照射して記録及び/又は再生を行ういわゆるニアフィールド光記録再生方式に好適な光記録再生方法、光学ピックアップ装置、光記録再生装置、光記録媒体とその製造方法及び半導体レーザ装置に関する。
コンパクトディスク(CD)、ミニディスク(MD)、デジタルビデオディスク(DVD)に代表される光(もしくは光磁気)記録媒体は、音楽情報、映像情報、データ、プログラム等の格納媒体として広く利用されている。しかしながら、更なる音楽情報、映像情報、データ、プログラム等の高音質化、高画質化、長時間化、大容量化により、さらに大容量の光記録媒体及びこその記録再生を行う光記録再生装置が望まれている。
そこで、これらに対応するため、光記録再生装置では、その光源、例えば半導体レーザの短波長化や、集光レンズの開口数の増大化が図られ、集光レンズを介して収束する光スポットの小径化が図られている。
例えば、半導体レーザに関しては、発振波長が従来の赤色レーザの635nmから400nm帯に短波長化されたGaN半導体レーザが実用化され、これにより光スポットの小径化が図られつつある。また、例えばそれ以上の短波長化については、ソニー株式会社製の266nmの単一波長の光を連続発振する遠紫外固体レーザUW−1010などが発売されており、更なる光スポットの小径化も図られつつある。また、これ以外にもNd:YAGレーザの2倍波レーザ(266nm帯)、ダイヤモンドレーザ(235nm帯)、GaNレーザの2倍波レーザ(202nm帯)などの研究、開発が進められている。
また、例えば、ソリッドイマ―ジョンレンズに代表される開口数の大なる光学レンズを使って、例えば開口数1以上の集光レンズを実現するとともに、この集光レンズの対物面を光記録媒体と、その光源波長の10分の1程度まで近接させることにより記録再生を行う、いわゆるニアフィールド光記録再生方式が検討されている。
このニアフィールド光記録再生方式の高転送レート化では、光記録媒体と集光レンズとの距離を如何にして光学的なコンタクト状態に維持しながら高速にディスクを回転させるかが重要である。
ところで、このようなニアフィールド光記録再生方式に対応する100Gビット/inch2 程度の高記録密度の光記録媒体を実現するには、記録トラックの幅を略100nm以下とする必要があり、例えば電子ビーム露光により製造が可能であるが、それ以上の狭小化は難しい。
これに対し、記録密度はそのままで、2本のトラックを同時に再生することによって信号転送レートを向上させる方法が提案されている(例えば特許文献1参照。)。
特開2003−272176号公報
上記特許文献1に記載の光記録媒体では、1つのトラッキングトラック(案内溝)を挟んで両側に存在する記録トラックに2本のビームスポットを照射して記録再生を行う方法が採られている。
しかしながら上記特許文献1に開示の技術では、具体的に近接場光を光記録媒体に照射するにあたって、近接場光照射手段としての例えばソリッドイマージョンレンズと光記録媒体との間隔(ギャップ)をどのように調整するかは考慮されていない。
本発明の課題は、上述したニアフィールド光記録再生方式に適用して好適で、且つより転送レートの向上が可能な光記録再生方法、光ピックアップ装置を提案し、これに用いて好適な光記録再生装置、また光記録媒体及びその製造方法、半導体レーザ装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明による光記録再生方法は、光記録媒体に近接場光を照射して記録及び/又は再生を行う光記録再生方法であって、上記光記録媒体の案内トラックに挟まれた記録再生領域に、2以上の記録再生用のビームスポットを配置して記録及び/又は再生を行うことを特徴とする。
また、本発明は、上述の光記録再生方法において、上記ビームスポットのうち少なくとも1つ、又はこれとは別に設けるビームスポットを、近接場光照射手段と上記光記録媒体の表面との間隔を検出するギャップ検出用ビームスポットとすることを特徴とする。
更に、本発明は、上述の光記録再生方法において、上記記録再生用のビームスポットと、上記ギャップ検出用ビームスポットとを、少なくとも異なる波長の光を用いて照射することを特徴とする。
また、本発明は、上述の光記録再生方法において、上記案内トラックの間の記録再生領域に、略等間隔に少なくとも上記記録再生用のビームスポットを配置することを特徴とする。
また、本発明は、上述の光記録再生方法において、上記案内トラックの間の記録再生領域の略中央位置、もしくは該中央位置から対称な位置に、上記ギャップ検出用ビームスポットを配置することを特徴とする。
更に、本発明は、上述の光記録再生方法において、上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔を算出することを特徴とする。
また、本発明による光ピックアップ装置は、上述の各本発明光記録再生方法を利用した構成とする。すなわち、本発明は、光源からの光を少なくとも近接場光照射手段を用いて光記録媒体に照射する光ピックアップ装置であって、上記光記録媒体の案内トラックに挟まれた記録再生領域に、2以上の記録再生用のビームスポットを配置することを特徴とする。
更に、本発明は、上述の光ピックアップ装置において、上記ビームスポットのうち少なくとも1つ、又はこれとは別に設けられるビームスポットが、近接場光照射手段と上記光記録媒体の表面との間隔を検出するギャップ検出用ビームスポットとされることを特徴とする。
また、本発明は、上述の光ピックアップ装置において、上記記録再生用のビームスポットと、上記ギャップ検出用ビームスポットとを、少なくとも異なる波長の光を用いて照射することを特徴とする。
更に、本発明は、上述の光ピックアップ装置において、上記案内トラックの間の記録再生領域に、略等間隔に少なくとも上記記録再生用のビームスポットを配置することを特徴とする。
また、本発明は、上述の光ピックアップ装置において、上記案内トラックの間の記録再生領域の略中央位置、もしくは該中央位置から対称な位置に、上記ギャップ検出用ビームスポットを配置することを特徴とする。
更に、本発明は、上述の光ピックアップ装置において、上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔が算出されることを特徴とする。
また、本発明による光記録再生装置は、光源からの光を少なくとも近接場光照射手段を用いて光記録媒体に照射して記録及び/又は再生がなされる光記録再生装置において、上記光記録媒体の案内トラックに挟まれた記録再生領域に、2以上の記録再生用のビームスポットが配置されることを特徴とする。
また、本発明による光記録媒体は、近接場光が照射されて記録及び/又は再生がなされる光記録媒体であって、案内トラックに挟まれた領域に、同期して記録及び/又は再生がなされる2以上の記録トラックが設けられて成ることを特徴とする。
また、本発明による他の光記録再生方法は、光記録媒体に近接場光を照射して記録及び/又は再生を行う光記録再生方法であって、上記光記録媒体の案内トラックを挟んだ両側の記録再生領域に、2以上の記録再生用のビームスポットを配置して記録及び/又は再生を行うとともに、上記案内トラック上に、近接場光照射手段と上記光記録媒体の表面との間隔を検出するギャップ検出用ビームスポットを配置することを特徴とする。
更に、本発明は、上述の光記録再生方法において、上記記録再生用のビームスポットと、上記ギャップ検出用ビームスポットとを、少なくとも異なる波長の光を用いて照射することを特徴とする。
また、本発明は、上述の光記録再生方法において、上記案内トラックを挟んだ両側の記録再生領域に、略等間隔に少なくとも上記記録再生用のビームスポットを配置することを特徴とする。
更に、本発明は、上述の光記録再生方法において、上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔を算出することを特徴とする。
また、本発明による他の光ピックアップ装置は、上述の本発明光記録再生方法を利用した構成とするものである。すなわち、光源からの光を少なくとも近接場光照射手段を用いて光記録媒体に照射する光ピックアップ装置であって、上記光記録媒体の案内トラックを挟んだ両側の記録再生領域に、2以上の記録再生用のビームスポットを配置して記録及び/又は再生が行われるとともに、上記案内トラック上に、近接場光照射手段と上記光記録媒体の表面との間隔を検出するギャップ検出用ビームスポットが配置されることを特徴とする。
また、本発明は、上述の光ピックアップ装置において、上記記録再生用のビームスポットと、上記ギャップ検出用ビームスポットとが、少なくとも異なる波長の光を用いて照射されることを特徴とする。
更に、本発明は、上述の光ピックアップ装置において、上記案内トラックを挟んだ両側の記録再生領域に、略等間隔に少なくとも上記記録再生用のビームスポットが配置されることを特徴とする。
また、本発明は、上述の光ピックアップ装置において、上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔が算出されることを特徴とする。
また、本発明による他の光記録再生装置は、上述の他の本発明による光ピックアップ装置を有する構成とする。すなわち、光源からの光を少なくとも近接場光照射手段を用いて光記録媒体に照射して記録及び/又は再生がなされる光記録再生装置において、上記光記録媒体の案内トラックを挟んだ両側の記録再生領域に、2以上の記録再生用のビームスポットを配置して記録及び/又は再生が行われるとともに、上記案内トラック上に、近接場光照射手段と上記光記録媒体の表面との間隔を検出するギャップ検出用ビームスポットが配置されることを特徴とする。
更に、本発明による光記録媒体の製造方法は、近接場光による記録及び/又は再生がなされる光記録媒体の製造方法であって、上記光記録媒体の作製に用いる光記録媒体用原盤の案内トラック、ピット、ウォブルの少なくとも一部を、電子線描画装置による高速ブランキング描画を用いて形成することを特徴とする。
また、本発明による半導体レーザ装置は、半導体レーザが2以上積層され、少なくともその1つの半導体レーザが2以上の発光端を有し、上記各半導体レーザの全発光端のうち少なくとも1つの発光端が、他の発光端の配列の両端を結ぶ線の略中央位置に配置されるか、もしくは2以上の発光端が、該中央位置から対称な位置に配置されて成ることを特徴とする。
更に、本発明は、上述の半導体レーザ装置において、上記略中央位置に配置される発光端、もしくは該中央位置から対称な位置に配置されて成る発光端を有する半導体レーザは、他の発光端を有する半導体レーザとは異なる波長のレーザ光を発振することを特徴とする。
本発明の光記録再生方法及び光ピックアップ装置によれば、複数の記録再生用のビームスポットを用いて記録及び/又は再生を行うことによって、光記録媒体を従来に比して高速回転することなく記録再生信号の高転送レート化を図ることができる。
また、本発明において、複数のビームスポットの少なくとも1つ、又はこれとは別に設けるビームスポットをギャップ検出用ビームスポットとすることによって、近接場光照射手段と光記録媒体の表面との間隔制御をより効率よく精度良く行うことができ、光記録媒体に対するニアフィールド記録再生の安定性を高めることができる。
更に、本発明において、記録再生用のビームスポットと、ギャップ検出用ビームスポットとを異なる波長の光を用いて照射することによって、信号再生特性を向上させ、より記録再生の安定性を高めることができる。
また、本発明において、案内トラックの間の記録再生領域に、略等間隔に少なくとも記録再生用のビームスポットを配置することにより、クロストーク、符号間干渉を抑制して記録再生の安定性をより高めることができる。
更に、本発明において、ギャップ検出用ビームスポットを案内トラックの間の記録再生領域の略中央位置、もしくはこの中央位置から対称な位置に配置することによって、より記録再生用のビームスポット照射位置もしくは近傍の近接場光照射手段と光記録媒体の表面との間隔を確実に検出して精度良く制御することができる。
また、本発明において、光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、2以上の記録再生用のビームスポットの配置間隔を算出することによって、記録再生の安定性を高めることができる。
更に、本発明の光記録再生装置及び光記録媒体によれば、光記録媒体を高速回転することなく記録再生信号の転送レートを向上させることができる。
また、本発明の光記録再生方法及び光ピックアップ装置によれば、複数の記録再生用のビームスポットを用いて記録及び/又は再生を行うとともに、ギャップ検出用ビームスポットを案内トラック上に配置することによって、近接場光照射手段と光記録媒体の表面との間隔制御をより効率よく精度良く行うことができ、光記録媒体に対するニアフィールド記録再生の安定性を高めることができる。
更に、本発明の光記録媒体の製造方法によれば、案内トラック、ピット、ウォブルの少なくとも一部を、電子線描画装置による高速ブランキング描画を用いて形成することによって、複数の記録再生用のビームスポットを照射して再生する信号のうち、案内トラックの間に配置する内側のビームスポットにおいてもトラッキングを良好に行って信号の記録再生をより精度良く行い、記録再生の安定性を高めることができる。
また、本発明による半導体レーザ装置によれば、これをニアフィールド記録再生方式による光ピックアップ装置の光源として用いることによって、光記録媒体の回転速度を高めることなく、高転送レート化を図ることができる。
以下、本発明による光記録再生方法、光ピックアップ装置、光記録再生装置、光記録媒体及びその製造方法、半導体レーザ装置を実施するための最良の形態の例について図面を参照して説明するが、本発明は以下に説明する例に限定されるものではない。
本発明は、図1に光ピックアップ装置の一例の要部の概略構成図を示すように、光記録媒体1の表面に光学的なコンタクト状態をもって近接して配置される例えばソリッドイマージョンレンズ(SIL)より成る近接場光照射手段2、光学レンズ3が順に配置されて集光レンズが構成される。この構成は、いわゆるニアフィールド光記録再生方式を採用する光記録媒体とこの光ピックアップ装置を具備する光記録再生装置に適用することができる。
図2に、本発明による光ピックアップ装置の一例の概略構成を示す。光源10から出射された複数の光(図においては1本の光路を代表して示す)は、コリメートレンズ11により平行光とされて無偏光ビームスプリッタ12、偏光ビームスプリッタ13を通過して1/4波長板14を介してビームエキスパンダー15によってビーム幅を調整されて、例えばミラー16により反射されてアクチュエータ17に搭載された集光レンズ、すなわち光学レンズ3及び近接場光照射手段2、例えばSILに入射され、光記録媒体1に近接場光として照射される。
光記録媒体1の記録面から反射された光は、近接場光照射手段2、光学レンズ3を介してミラー16により反射され、ビームエキスパンダー15、1/4波長板14を介して偏光ビームスプリッタ13により一部反射されてレンズ18により受光手段19に集光される。また、偏光ビームスプリッタ(PBS)13を通過した一部の光は、無偏光ビームスプリッタ(NPBS)12により反射されて、レンズ20により受光手段21に検出される。偏光ビームスプリッタ13から反射された光を受光する受光手段19により例えばトラッキング信号及びRF再生信号が、他の受光手段21により例えば近接場光照射手段と光記録媒体との間隔を制御するギャップ検出用信号を再生する構成とすることができる。記録再生用の受光手段19としては、ビーム本数に対応する2以上の受光部を有するフォトディテクタを用いる。ギャップ検出用ビームスポットを2以上とする場合も同様である。
なお、この例においては、ギャップ検出を偏光の変化を利用して検出する場合を示す。すなわち、光記録媒体と近接場光照射手段、例えばSILとのギャップが広く、SIL端面で光が略全反射する場合には、SIL表面で偏光が変化するので、戻り光路でPBS13から一部の光が漏れてくる。一方、光記録媒体とSILとが近く、近接場光が漏れて通常の反射に近い場合には偏光の変化は小さいので、PBS13を漏れてくる光量は小さくなる。この差すなわち、全反射戻り光量の変化を利用してギャップ検出を行うことができる。
なお、ギャップの検出方法としては、その他例えば静電容量の変化を検出する方法など、種々の方法を採ることができる。
図3は、このような構成の光ピックアップ装置によって光記録媒体に複数の記録再生用のビームスポットを照射した状態の概略平面構成を示す。グルーブ又はランド型構成、もしくは後述するピット、ウォブルなどを含む構成の案内トラック31が例えばシングルスパイラル状に光記録媒体1に形成されて成る。そして、この案内トラック31の間に挟まれた記録再生領域30Nに、ビームスポット32がこの例においては2つ照射されている状態を示す。30N−1、30N+1はそれぞれ1周前及び後の記録再生領域を示し、ここにおけるビームスポットの位置を模式的に一点鎖線で示す。
このような構成とすることによって、1つの記録再生領域に2つの記録トラックを設けてその記録及び/又は再生を行うことができ、光記録媒体を従来に比して高速回転することなく、転送レートを2倍に向上させることができる。
またこの場合、これらビームスポット32の少なくともいずれか一方、または両方のビームスポットによって、ギャップ検出を記録再生と同時に行うことができ、これによりニアフィールド記録再生の安定性を高めることができる。
なお、案内トラックをダブルスパイラル状とする場合は、1つ置きの記録再生領域をビームスポット群が進行して記録及び/又は再生を行うこととなるが、隣接する記録再生領域にそれぞれ複数のビームスポットを照射して記録及び/又は再生を行うことによって、更に転送レートの向上を図ることも可能である。
また、本発明においては、図4〜図6にそれぞれ示すように、3〜5本の記録再生用のビームスポット32を案内トラック31の間に配置してもよい。これらの場合においては、各ビームスポット32を案内トラック31の幅方向、すなわちディスク状の光記録媒体の場合の半径方向に略等間隔に配置すると共に、案内トラック31の延長方向すなわちタンジェンシャル方向にも略等間隔に配置することによって、クロストーク、符号間干渉を抑制することができる。図4〜図6において、図3と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
更に、本発明において、図7又は図8に示すように、ギャップ検出用ビームスポット33を記録再生用のビームスポット32とは別個に、例えば案内トラック31の間の幅方向(ラジアル方向)の略中央位置に設ける構成とすることもできる。このようにギャップ検出専用のビームスポット33を設けることによって、特に記録時に記録光パルスの有無によって光量が変化することによるギャップ検出信号の変動を回避することができ、ギャップ検出信号が非常に安定することから、より精度良くギャップ制御を行うことができる。
更に、このように、記録再生領域30の略中央位置にギャップ検出用ビームスポット33を配置することによって、スポットを照射している位置の一方の端部に偏ることなくギャップを精度良く検出することができる。図7及び図8において、図3と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
図9A及びBに、このような複数のビームの光源として用い得る半導体レーザ装置の各例の概略構成を示す。図9Aにおいては、奇数本、例えば3本のビームを出射する例で、例えば1つの発光端51Sを有する半導体レーザ51と、2つの発光端52Sを有する半導体レーザ52とを、その発光端同士が近接するように積層して半導体レーザ装置を構成した場合を示す。
また、図9Bにおいては、偶数本、図示の例では4本のビームを出射する例で、それぞれ2つの発光端51S、52Sを有する半導体レーザ51及び52を各発光端が近接するように半導体レーザ51及び52を積層して半導体レーザ装置を構成した例である。
各例ともに、発光端51S、52Sの間隔を略等しい間隔に配置することが望ましく、ビームスポットの間隔を略等間隔に配置することによって、上述したようにクロストーク、符号間干渉を抑制することができる。例えば、図9Bに示す例において、各素子の発光端の間隔を略等しくし、その中央位置に他の半導体レーザ素子の一方の発光端が配置されるように調整することによって、各半導体レーザ素子の発光端間隔の2分の1の間隔のビームスポットを得ることができる。
このようにして記録再生用のビームスポット、ギャップ検出用ビームスポットを同一の記録再生領域内に照射する場合、近接場光照射手段と光記録媒体との間隔(ギャップ)が、記録再生用のビームスポットとギャップ検出用ビームスポットとの照射位置において略同一であることから、図10に一例を示すように、例えばギャップ検出用ビームスポットAの全反射戻り光量Rから一義的に記録再生用のビームスポットの照射位置におけるギャップgを求めることができる。
図11は、ギャップ検出用ビームスポットとして記録再生用のビームスポットとは異なる波長の光を用いる場合の光ピックアップ装置の一例の概略構成を示す。図11において、図2と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。この場合は、光源10とは異なる波長の光源40を用いて、この光源40からの光をコリメートレンズ41、ビームスプリッタ42、偏光ビームスプリッタ43、1/4波長板44を介してダイクロイックプリズム45に照射し、ダイクロイックプリズム45において光源10からの光と合波して、光学レンズ3、近接場光照射手段2の例えばSILを介して光記録媒体1に記録再生用のビームスポット及びギャップ検出用ビームスポットを照射する構成とする。光記録媒体1からのギャップ検出用ビームスポットの戻り光は、前述の図2において説明した例と同様に、偏光ビームスプリッタ43から漏れた光をビームスプリッタ42で反射してレンズ20を介して受光手段21で検出し、これによりギャップ制御を行うことができる。
このような構成の光ピックアップ装置によって、光記録媒体1にビームスポットを照射した状態の一例の概略平面構成図を図12に示す。記録再生用のビームスポット32を例えば波長405nmの光、ギャップ検出用ビームスポット33を例えば波長680nmの光を用いることによって、ギャップ検出用ビームスポット33を記録再生領域内に比較的広範囲に照射することができる。
図13は、記録再生用のビームスポット32を3本とし、そのうちの中央のビームスポットにギャップ検出用ビームスポット33を重ねた場合を示す。
また、図14は、記録再生用のビームスポット32を4本として、内側の2本のビームスポットにギャップ検出用ビームスポット33を一部重ねた場合を示す。
図15は、記録再生用のビームスポット32を5本として、中央のビームスポットにギャップ検出用ビームスポット33を重ねた場合を示す。
図12〜図15において、図3と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
このようにギャップ検出用ビームスポットを記録再生用のビームスポットとは異なる波長とする場合、その光源として、例えば図16にその一例の概略構成を示すように、異なる発振波長の半導体レーザ51及び52が積層された構成の半導体レーザ装置を用いることができる。この場合においても、各発光端51Sと52Sとの間の間隔d1、d2を略等しくすることによって、例えばギャップ検出用ビームスポット33を記録再生用のビームスポット32の中央位置に配置することができ、より精度の良いギャップ検出を行うことができる。
一方、ギャップ検出用ビームスポット33を2以上設けることもできる。この場合の各例を図17及び図18に示す。図17及び18において、図3と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
このようなビームスポットを照射する光ピックアップ装置としては、前述の図11において説明した光ピックアップ装置において、光源40をマルチビーム出射光源として、受光素子20として複数の受光部を有するフォトディテクタを用いる構成とすることができる。
このように、記録再生領域の複数位置にギャップ検出用ビームスポットを照射する構成とすることによって、特に3本以上の多数の記録再生用のビームスポットを照射する場合に、各スポットの近傍のギャップ制御を確実に精度良く行うことができる。
また、複数のギャップ検出用ビームスポットの戻り光量を利用して、近接場光照射手段例えばSIL端面と光記録媒体の表面との傾きを検出することができ、これを利用してチルト制御を行うことによって、より安定した記録再生を行うことが可能となる。
図19は、複数の記録再生用及びギャップ検出用ビームスポットを照射する場合に利用可能な半導体レーザ装置の一例の概略構成図である。半導体レーザ51及び52が同一波長で記録再生用とされ、半導体レーザ53は例えばギャップ検出用の例えば比較的長波長の光源とする。半導体レーザ51、52の各2つの発光端51S、52Sが略等間隔に配置されるとともに、例えば半導体レーザ53の発光端53Sが、他の各発光端51S、52Sの間に配置されるようにして、すなわち半導体レーザ51〜53の積層方向と直交する方向の発光端51S、52Sに対する発光端53Sの間隔d1〜d4が略等しくなるように、各レーザ素子51〜53を配置した場合を示す。このような構成とすることによって、各記録再生用のビームスポットを記録再生領域内に略等間隔に配置し、ギャップ検出用ビームスポットを略その中央位置から対称な位置に配置することができる。
このように、ギャップ検出用ビームスポットとして記録再生用のビームスポットと異なる波長の光を用いる場合においても、近接場光照射手段と光記録媒体との間隔を図10において説明した全反射戻り光量とギャップとの関係から容易に求めることができる。波長が異なっても、スポットを照射する位置の光記録媒体表面上の高さは変わらないことから、ギャップ検出用スポットにより検出したギャップ量をそのまま用いて記録再生用のビームスポットの調整を行うことができる。
次に、本発明の他の光記録再生方法の実施の形態の例について説明する。この例においては、図20にその一例の概略構成図を示すように、光記録媒体の案内トラックを挟んだ両側の記録再生領域に、2以上の記録再生用のビームスポットを配置して記録及び/又は再生を行うとともに、案内トラック上に、近接場光照射手段と光記録媒体の表面との間隔を検出するギャップ検出用ビームスポットを配置する。
図20に示す例においては、2つの記録再生用のビームスポット32を光記録媒体の案内トラック31を挟んだ両側に配置し、その略中央位置にギャップ検出用ビームスポット33を配置した場合を示す。
図21は、5つのビームスポットを用いる場合で、各ビームスポットを略等間隔に配置して、その中央位置にギャップ検出用ビームスポット33を配置した場合を示す。図20及び21において、図3と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。この場合、記録トラックをシングルスパイラル状に形成した場合を示すが、ダブルスパイラル状に設けることもできることは、前述の各例と同様である。
なお、このようにギャップ検出用ビームスポット33を案内トラック31上に配置する場合は、記録再生領域のビームスポット32とギャップ検出用ビームスポット33の照射される位置が光記録媒体の表面上において高さが異なる。
例えば図22に光記録媒体の一例の要部の拡大断面図を示すように、例えば案内トラック31が溝状とされ、媒体表面60からの深さがhである場合、近接場光照射手段2の端面と媒体表面60、すなわち記録面61との間隔は、記録再生用のビームスポット32の照射位置においてはg1、案内トラック31上のギャップ検出用ビームスポット33の照射位置においてはg2となり、その差はhとなる。
この場合は、図23に光記録媒体表面と近接場光照射手段との間のギャップに対する全反射戻り光量の関係を示すように、ギャップ検出用ビームスポット(A)で検出されるギャップg2に対し、記録再生用のビームスポットによるスポット(B)の照射位置のギャップg1は、反射戻り光量Rに対応するギャップをg2とすると、g2−hとなる。
一方、図24に示すように案内トラック31がランド状とされる場合は、記録再生用のビームスポット32の照射位置の方が、ギャップ検出用ビームスポット33の照射位置よりも近接場光照射手段2の端面から高さh離間する。したがって、この場合は図25にギャップに対する全反射戻り光量の関係を示すように、ギャップ検出用ビームスポット(A)で検出されるギャップg2に対し、記録再生用のビームスポット(B)の照射位置のギャップg1は、g2+hで与えられる。
このように、ギャップ検出用ビームスポットを案内トラック上に配置する場合においても、容易且つ確実に記録再生用のビームスポットの照射位置における近接場光照射手段と光記録媒体の表面との間隔を検出することができる。
なお、前述したように、案内トラックの間の記録再生領域に記録再生用のビームスポットとギャップ検出用ビームスポットとを配置する場合は、そのギャップが略同一であるため、案内トラックの高さ(又は深さ)のばらつきによるギャップ検出誤差を抑制することができ、より精度よくギャップを検出することができるという利点を有する。
なお、上述した各ビームスポットの配置構成は、案内トラックの形状に何ら限定されるものではない。例えば、図26に示すように、直線状の溝(凹形状)又はランド(凸形状)の案内トラック31を設ける場合に限ることなく、図27に模式的に示すように、例えば案内トラック31にピット31Aを設ける場合、図28に示すように、一周毎に案内トラック31にピット31Aを設け、すなわち記録再生領域の両側の一方のみにピット31Aを設ける場合、また図29に示すように、ピット31Aを断続的に設ける場合にも本発明を適用することができることはいうまでもない。
更に、図30に示すように、半周毎に溝又はランドとピットとを間歇的に設ける場合も同様であり、更に、図31に示すように、案内トラック31にピット31Aを連続的に設ける場合、図32に示すように、案内トラック31の一部にウォブル31Bを設ける場合、また図33に示すように、案内トラック31の略全域にウォブル31Bを設ける場合、更に図34に示すように、溝又はランド状の案内トラック31と混在してピット31A及びウォブル31Bを局部的に設ける場合においても同様である。
図26〜図35において、図12と対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。なお、以上の各図においては、記録再生用のビームスポット32を2つ配置し、その略中央位置にギャップ検出用ビームスポット33を設けた例を示したが、ビームスポットの配置はこの例に限定されるものではなく、その他前述の各ビーム本数、またギャップ検出用ビームスポットを記録再生領域内に配置する場合、案内トラック上に配置する場合においても同様であることはいうまでもない。
これら全ての場合において、上述したように、ピット、ウォブルが部分的或いは連続的に設けられる場合においても、ギャップ検出を精度良く行ってニアフィールド記録再生の安定性を高めることができる。
次に、案内トラックの内側の領域に記録及び/又は再生する記録マークのトラッキングをより確実に行うために、電子線描画装置による高速ブランキング方法を利用して、案内トラック、ピット、ウォブルの少なくとも一部を形成することにより、案内トラックの内側にピット状のトラックを形成する場合について図35〜図38を利用して説明する。
図35においては、案内トラック31の一部に高速ブランキング部を設ける場合で、光記録媒体を製造するにあたり、その原盤に電子線描画装置によって案内トラックに対応するパターンを電子線記録いわゆるカッティングを行う際に、部分的に例えばその内周側と外周側に振る高速ブランキングによって記録再生領域30の内側領域にピット状の案内トラックパターンを形成する。このような光学記録を行って作製した原盤から光記録媒体を作成すると、図35に示すように、案内トラック31の一部の断続的パターンとして内周側又は外周側にピット状トラックとして高速ブランキング部31Ai、31Aoが形成される。高速ブランキングの振幅を適切に選定することによって、図示の例のように、記録再生領域に照射されるビームスポット32の両側に高速ブランキング部31Ai又は31Aoが配置され、これにより良好にトラッキングを行うことができて、より安定した記録再生を行うことが可能となる。また、案内トラック中央部のビームスポットに対してもピットを形成することが可能となる。
図35の例においては、隣接する案内トラックの間で同期して内周側への高速ブランキング部31Aiと外周側への高速ブランキング部31Aoとを形成した場合であるが、図36に示すように、内周側と外周側への高速ブランキング形成位置が半径方向に同期せずにずれている構成とすることもできる。ニアフィールド記録再生方式を実現して高記録密度化を図り、案内トラックの幅を数100nm以下程度に狭小化する場合、高速ブランキングによるピット状パターンが近接しすぎると、光記録媒体用基板を例えば射出成形などにより形成する際にその形状が歪む恐れがあるが、このように半径方向に振るブランキング位置がずれている場合は、微細なピット状のパターンが適度に離間することからその形状を良好に保持することができる。
また、高速ブランキング部は例えば外周側のみ、内周側のみに設けてもよい。図37においては、外周側高速ブランキング部31Aoのみを設けた例を示す。また、図38に示すように、高速ブランキング部31Aoとは別個にピット31Aが形成されていても良く、また図示しないがウォブルが形成される場合においても適用し得ることはいうまでもない。このように、案内トラック31とは別に一部にでもトラックマークを設けることによって、一周のうち何回か同期を取れることとなって、より安定した記録再生を行うことが可能となる。案内トラック以外のピット、ウォブルの一部を高速ブランキングにより形成する場合も同様の効果を得ることができる。
以上説明したビームスポットの配置構成、また高速ブランキング部を設ける構成などは、各種の基板構成、記録再生方法に対応する構成による光記録媒体に適用することができる。例えば、図39Aに示すように、光記録媒体1の記録面61を構成する媒体表面60に凹形状の案内トラック31いわゆる案内溝が設けられる場合、また図39Bに示すように、案内トラック31が凸形状すなわちランド状とされる場合、更に図40A及びBにそれぞれ示すように、凹形状或いは凸形状の案内トラック31を埋め込むように保護層等より成る平坦化層66を設ける場合にも本発明を適用することができる。
また、図41A及びBに示すように、案内トラック31が凹形状又は凸形状とされ、且つ記録面が2層構成とされて第1及び第2の記録面61A及び61Bが設けられる場合、更に、図42A及びBに同様に示すように、これら2層構成とされる記録面のうち表面側の第2の記録面61Bの上に平坦化層66が設けられる場合も同様である。
また、図43及び44においては、基板65の表面及び裏面に案内トラック31と記録面61が設けられる場合を示し、それぞれ図43A及びBにおいては案内トラック31が凹形状又は凸形状とされる場合であり、図44A及びBにおいては、これら凹形状又は凸形状の案内トラック31の上に平坦化層66が設けられる場合を示す。これらの各種基板形状、記録面構成とする光記録媒体に本発明による光記録再生方法を適用することが可能である。
また、記録層又は記録再生方式についても同様に、図45A〜Dに模式的な断面構成を示す各種の光記録媒体に本発明を適用することができる。図45Aにおいては、相変化記録媒体1Aの一例を示し、基板70上に反射層71、誘電体層72、相変化材料層73、誘電体層74、保護層75を設ける場合である。図45Bは、光磁気記録媒体1Bの一例を示し、基板70上に反射層71、誘電体層72、光磁気記録層76、誘電体層74、保護層75を設ける場合である。図45Cにおいては色素記録媒体1Cの一例を示し、基板70上に反射層71、誘電体層72、色素記録層77、誘電体層74、保護層75を設ける場合である。図45Dにおいては、再生専用媒体1Dの一例を示し、基板70上に図示しないが凹凸ピットパターンによる記録マークいわゆるピットが形成され、その上に反射層71、誘電体層74、保護層75を設けて記録媒体が構成される。これら各種の記録再生方式による光記録媒体に本発明を適用することによって、高い転送レートで安定したニアフィールド記録再生を行うことが可能となる。
次に、本発明による光記録再生方法において、案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔を算出する例について説明する。先ず、その理解を容易にするために、記録再生領域に2本の記録再生用のビームスポットを照射する場合について、ピットの開始間隔を利用してビームの配置間隔を算出する例を説明する。なお、ピットの開始間隔のみに限ることなく、案内トラックが断続的である場合はその開始間隔、ウォブルの開始間隔、記録マークの開始間隔を利用しても同様にビームの配置間隔を算出することができる。
図46は、案内トラック31の間に第1及び第2のビームスポット32A及び32Bを配置した場合の概略構成を示し、これらビームの間隔をx12、光記録媒体に形成されたピットの開始間隔をy12とする。矢印Cはビーム進行方向を示す。
図46に示すように、ビーム間隔x12とピット開始間隔y12とが略同一である場合は、図47に各ビームのピット再生信号を模式的に示すように、第1及び第2のビームによるピット信号の開始時刻t1とt2とは略同時となって、時間差Δtは略0、ビーム配置間隔x12=ピット開始間隔y12となる。
したがって、例えば図48に模式的に示すように、記録信号34が設けられる領域の直前の所定位置にピット31Aを案内トラック31に配置しておくことによって、信号の再生状態を図49に模式的に示すように、第1及び第2のビームにおける信号は、同時にピット信号SPが再生され、ピット信号終了後、略同時に記録再生信号SRWを記録及び/又は再生される。
一方、図50に模式的にビームの配置態様を示すように、第1及び第2のビームスポット32A及び32Bの配置間隔x12がピット開始間隔y12より大となる場合は、図51にピットの再生信号を模式的に示すように、第2のビームによるピット再生開始時刻t2は第1のビームによるピット再生開始時刻t1よりΔt早いとすると、ビーム間隔x12は、ピット開始間隔y12からずれて、ビームの線速をaとすると、y12+a×Δtで求められる。
つまり、この場合図52に示すように、記録信号34の記録及び/又は再生開始位置の直前の所定位置にピット31Aを案内トラック31に配置して、信号の再生状態を図53に示すように、第2のビームによるピット信号SPの再生後Δt時間後に第1のビームによる記録再生信号SRWの記録及び/又は再生が開始されるように制御する。
図54〜図57においては、図54に示すように、ビーム間隔x12がピット開始間隔y12より小である場合について説明する。この場合は、図55にピット再生信号を模式的に示すように、第1のビームによるピットの再生信号が第2のビームによる再生信号よりもΔt早く開始する。ビーム間隔x12は、ピット開始間隔y12からずれて、ビームの線速をaとすると、y12−a×Δtで求められる。
この場合も、図56に示すように、記録信号34の記録及び/又は再生開始位置の直前の所定位置にピット31Aを案内トラック31に配置して、信号の再生状態を図57に示すように、第1のビームによるピット信号SPの再生後Δt時間後に第2のビームによる記録再生信号SRWの記録及び/又は再生を開始するように制御する。
次に、案内トラックの間に3本のビームスポットを配置する場合について説明する。図58は、案内トラック31の間に第1〜第3のビームスポット32A、32B及び32Cを配置する場合を示す。第1及び第2のビームスポットの間隔をx12、第2及び第3のビームスポットの間隔をx23、第1と第3のビームスポットの間隔をx13とし、両側の案内トラック31におけるピット31Aの開始間隔をy13とする。また、第1及び第2のビームによる記録マークの開始間隔をz12、第2及び第3のビームによる記録マークの開始間隔をz23とする。
この場合、図59にピット及び記録マークの記録再生信号を模式的に示すように、第1と第3のビームスポットの間隔x13がピット開始間隔y12と略等しく、また第2のビームスポットが第1及び第3のビームスポットの略中央に位置する場合、第1及び第3のビームによるピットの再生信号SPは略同時に開始し、その後第1〜第3のビームによる記録再生信号SRWが略同時に開始する。すなわち、x12=x23となる。
第2のビームスポットが第1及び第3のビームスポットの中央位置からずれている場合は、第2のビームによる記録再生信号の開始時刻がずれる。例えば、第2のビームスポットが第1及び第3のビームスポットの中央位置より第1のビームスポット側、すなわち進行方向とは反対側にずれている場合は、図60に示すように、第2のビームによる記録再生信号開始時刻は第1及び第3のビームによる開始時刻からΔt23遅れる。この場合、第2及び第3のビームスポットの間隔x23、すなわち第2及び第3のビームによる記録マークの開始間隔z23は、第1及び第3のビーム配置間隔x13の半分よりずれて、ビームの線速をaとすると、x13/2+a×Δt23で求められる。同様に、第1及び第2のビームスポットの間隔x12、すなわち第1及び第2のビームによる記録マークの開始間隔z12は、x13/2−a×Δt23となる。
逆に、第2のビームスポットと第1及び第3のビームスポットの中央位置から進行方向にずれている場合は、図61に示すように、第2のビームスポットによる記録再生信号SRWの開始時刻がΔt23早くなり、第2及び第3のビーム間隔x23はx13/2−a×Δt23、第1及び第2のビーム間隔x12はx13/2+a×Δt23で求められる
なお、図60及び図61においては、第1及び第3のビーム間隔x13がピット開始間隔y12と略同位置とされる場合であるが、これらの大小関係がずれる場合においては、前述の図50〜図57において説明した方法によって、ビーム間隔を調整することができる。
また、ビームスポットが4本以上となる場合も、同様の方法によりビーム間隔をピット開始位置から算出することができる。図62においては、第1〜第4のビームスポットを配置する場合のピット信号及び記録再生信号を模式的に示す。第2及び第3のビームスポットを、第1及び第4のビームスポットの間に等間隔に配置した場合の位置からの第2及び第3のビームスポットのずれ量は、それぞれ線速をaとし、第1及び第2のビームスポットの記録再生開始時刻の差をΔ12、第3及び第4のビームスポットの記録再生開始時刻の差をΔt34とすると、それぞれa×Δt12、a×Δt34となり、これらと第1と第4のビームスポットの間隔x14の1/3との和(又は差)からそれぞれビームスポット間隔を算出することができる。
同様に、図63に示すように、ビームスポットを5本配置する場合においても図63に示すように、それぞれビームスポットの記録再生開始時刻の差Δt12、Δt23、Δt34、Δt45からそれぞれずれ量を求め、これらからビーム配置間隔を算出することができることは同様である。
このように4本以上のビームを配置する場合においても、ピット開始位置から各スポットの配置位置を算出することができるものであるが、両端のビーム配置間隔とピット開始間隔が異なる場合についても、前述の図50〜57において説明した例と同様の方法をもって、各ビームスポットの配置位置を算出することができる。
このように、複数のビームスポットを案内トラックに沿う位置以外に設ける場合においても、そのビームスポット配置位置を精度良く算出することができて、記録再生信号の同期を容易にとることができて、高転送レートで安定したニアフィールド記録再生が可能となる。
次に、本発明を適用し得るニアフィールド記録再生用の光ピックアップ装置の例について図64及び図65を参照して説明する。
図64は、本発明による光ピックアップ装置の一例の要部の概略構成図であり、この例においては、近接場光照射手段2としてソリッドイマージョンレンズ(SIL)を用いた場合を示す。光記録媒体1に対し、ソリッドイマージョンレンズより成る近接場光照射手段2、光学レンズ3をこの順に光軸を合致させて配置して集光レンズ70を構成する。ソリッドイマージョンレンズ2は、例えば半径rの超半球状とされ、その光軸に沿う厚さは、r(1+1/n)とされる。このような構成とすることによって、光学レンズ3の開口数NAを超える高開口数の集光レンズ70を提供することができる。
なお、実際にはソリッドイマージョンレンズより成る近接場光照射手段2と光記録媒体1とは互いに接触してはいないが、これら近接場光照射手段2及び光記録媒体1の間隔は近接場光照射手段2のソリッドイマージョンレンズの厚さと比較して十分に小さいため図64〜図66においてはその間隔を省略して示す。
そして、図示しない光源及びフォトディテクタと、これら集光レンズ70との間に、例えば第1及び第2のビームスプリッタ71及び72が配置される。光記録媒体1は、例えばディスク状であれば、図示を省略するスピンドルモータに装着され、所定の回転数で回転される。
また、集光レンズ70はトラッキング方向及びフォーカシング方向に制御駆動する手段が設けられる。この手段としては、例えば一般的な光学ピックアップに用いられる2軸アクチュエータや、磁気ヘッド装置等に用いられるスライダ等が挙げられる。
これら集光レンズ13の制御駆動手段の形態を次に示す。
図65は、制御駆動手段として2軸アクチュエータを用いた光学ピックアップ装置の一例の概略構成図である。図65に示すように、集光レンズ70は、そのソリッドイマージョンレンズ等より成る近接場光照射手段2及び光学レンズ3の光軸を合致させて保持部73に固定され、この保持部73がフォーカシング方向及び/又はトラッキング方向に制御駆動される2軸ピックアップ76に固着されている。2軸ピックアップ76は、集光レンズ70をトラッキング方向に制御駆動させるトラッキング用コイル75と、フォーカシング方向に制御駆動させるフォーカシング用コイル74とより構成される。
そしてこの2軸ピックアップ76により、光記録媒体1と近接場光照射手段2との距離(ギャップ)を、例えばギャップ検出用ビームスポットからの全反射戻り光量をモニタし、その距離情報をフィードバックすることにより制御可能とし、近接場光照射手段2と光記録媒体1との距離をほぼ一定に保つようになされ、かつこの近接場光照射手段2と光記録媒体1との衝突を避けるように制御される。
また、この2軸ピックアップ76において、トラッキング方向に戻り光量をモニタし、その位置情報をフィードバックすることにより、集光スポットを所望の記録トラックに移動させることが可能である。
以下、光学ピックアップ装置の概略構成について、再び図64を参照して説明する。光源、例えば半導体レーザから出射された往路光はコリメータレンズ(図示せず)により平行光に変換され(Li)、第1のビームスプリッタ71を透過し、集光レンズ70を介して光記録媒体1の情報記録面に集光される。情報記録面で反射された復路光は集光レンズ70を透過し、第1のビームスプリッタ71で反射され(L2)、第2のビームスプリッタ72に入射する。そしてこの第2のビームスプリッタ72により分離された復路光(Lo)は、フォーカシング用光検出器及び信号用光検出器(図示せず)に集光され、フォーカスシングエラー信号および再生ピット信号等が検出される。
また、第2のビームスプリッタで反射された復路光は、トラッキング用光検出器にも集光され、トラッキングエラー信号が検出される。なお、必要に応じてこの光学ピックアップ装置には、光記録媒体1の面振れに対して、集光レンズ70を固着する2軸ピックアップが追従した残りのギャップエラー成分および集光レンズの組み立て工程時に発生した誤差成分を、2枚のレンズの間隔を変えることで補正することができるリレーレンズを、第1のビームスプリッタ71と光学レンズ3との間に挿入し構成してもよい。
なお、上記した光学ピックアップ装置は、再生のみを行う再生専用、記録のみを行う記録専用、記録と再生の両方を行うことができる記録再生用を含むものである。また、上述した各光学ピックアップ装置は、光磁気記録方式と、ニアフィールド光再生方式を組み合わせることにより、その光ピックアップ装置の一部に磁気コイル等を組み込んだものを含む構成とすることもできる。また、光記録再生装置は、再生のみを行う再生専用装置、記録のみを行う記録専用装置、記録と再生の両方を行うことができる記録再生用装置を含むものである。
次に、近接場光照射手段2としてソリッドイマージョンレンズ(SIL)を用いる場合のレンズ形状について説明する。ソリッドイマージョンレンズを用いる場合、その概略断面図は、図64に示したように、例えば超半球状とされ、光記録媒体と対向面である対物面は例えば平面であり、この対物面の反対面は凸球面とされる。また周側面は2軸ピックアップ、もしくはスライダとの固着面となる。
また、このソリッドイマージョンレンズと、光記録媒体のギャップ間隔は前述したように数十nm程度とされるので、レンズと光記録媒体の機械的な傾きマージンを確保するために、図66Aに概略側面図、図66Bに先端側の概略平面図を示すように、レンズのレーザ入射角度に対してこれを遮らない範囲で、円錐形状等に加工されていると好適である。図中一点鎖線eは光軸を示す。図66の例においては、球状部81とは反対側の先端側を円錐形状とし、その先端部82を平面状とした場合を示す。
また、図67A及びBに側面図及び平面図を示すように、先端部82を、一点鎖線fで示す半径r/nの球に略外接する形状としても良い。図67A及びBにおいて、図66A及びBと対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。この場合、その先端部の拡大断面構成を図68に示すように、入射光の光軸が矢印Li1〜Li3で示すようにレンズの光軸からずれた場合においても、レンズ内を通過する光の光路長が略変わらないため、先端部82において光を略集光することができる。したがって、記録再生を安定して行うことができ、また光記録媒体1との間隔gを検出するにあたっても光軸調整のばらつきによる変動を抑えることができ、組立精度を緩和することができるという利点を有する。
また、図69A及びBに概略側面図及び平面図を示すように、先端部を一曲面より成る曲面状とすることもできる。図69A及びBにおいて、図66A及びBと対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。この場合においても、図70にその先端部の拡大断面構成を示すように、先端部をr/nの球に略外接する形状とすることによって、同様の効果を得ることができる。
なお、光磁気記録媒体に対するニアフィールド光記録再生方式においては、記録時もしくは/且つ再生時に磁界が必要になることから、ソリッドイマージョンレンズの対物面の一部に磁気コイル等を取り付けて構成してもよい。
以上説明したソリッドイマージョンレンズを近接場光照射手段として用いる場合、その材料としては、用いる光学ピックアップ装置、光記録再生装置の装備するレーザ光源の波長に対して、屈折率が大きく、透過率が大きく、光吸収が小さい材料が好適である。例えば、高屈折率ガラスであるオハラ株式会社製のS−LAH79や、高屈折率セラミックス、高屈折率単結晶材料であるBiGe12,SrTiO,KTaO、ZrO,HfO,SiC,ダイヤモンド、GaPなどが好適である。
また、これら光学レンズ材料は、アモルファス構造、もしくは単結晶の場合には立方晶構造であることが、望ましい。光学レンズ材料がアモルファス構造、もしくは立方晶構造である場合、従来のボール研磨方法や装置が利用可能である。更に、材料の方位を気にすることなく、光学レンズ作製のためのエッチングプロセスやポリッシングプロセスを容易に適用することができる。
次に、実施例について述べる。
(1)実施例1
実施例1として、図71に示すように、ビームスポット32を案内トラック31の間に2本配置してニアフィールド光記録再生を行った。光源として用いたレーザの波長を410nm、案内トラック31の延在する方向に沿うタンジェンシャル方向のビーム間隔を140nm、ラジアル方向のビーム間隔を3.5μmとし、案内トラックを溝状として、この記録案内溝の間隔を280nm、案内溝幅を49nm、記録面幅を231nmとした。また、この場合の光記録媒体1の拡大斜視図を図72に示す。
実施例1による光記録媒体及び光ピックアップ装置は、図71に示すように、その2つのビームスポットが、案内トラック31の間隔に対して略対称に配置され、且つ案内トラック31に隣接して配置されているため、安定して案内トラックを追従でき、また案内トラックの溝以外にもピットやウォブルなどからの安定した信号も得ることができる。また、2つの記録再生信号を、ひとつのスパイラル状の記録面に記録できるので、ディスクを高速に回転させなくても、記録再生の高転送レート化が可能となる。すなわち、従来困難であった高転送の記録再生信号の記録再生が可能となる。
このような光ピックアップ装置によって、図73に示す相変化記録構成の光記録媒体1を用いて高転送レートで安定した記録再生を行うことができた。この例においては、ポリカーボネート基板90上に、Ag合金層91、SiN層92、ZnS−SiO2 層93、GeSbTe層94、ZnS−SiO2 層95、SiN層96を順次積層して光記録媒体を構成し、良好な記録再生特性を得ることができた。
(2)実施例2
次に、実施例2として、ビーム本数を3本とし、記録再生用、及びトラッキング用の2本のレーザの波長を410nm、タンジェンシャル方向のビーム間隔を140nm、ラジアル方向のビーム間隔を3.5μmとし、またギャップサーボ用の1本のレーザ波長を650nmとし、そのビームスポットを案内トラックの溝間の中央に配置してニアフィールド光記録再生を行った。この場合の光ピックアップ装置のビーム配置態様を図74に示す。この例においても、案内トラックの間隔を280nm、案内溝幅を49nm、記録面幅を231nmとして、図73に示す積層構成として光記録媒体を構成した。
この場合においても、その2つの記録再生用のビームスポットが、案内トラックの間隔に対して対称に配置され、且つ案内トラックに隣接して配置されているため、安定して記録トラックを追従でき、またピットやウォブルなどからの安定した信号も得ることができる。また、2つの記録再生信号を、ひとつのスパイラル状の記録面に記録できるので、ディスクを高速に回転させなくても、記録再生の高転送レート化が可能となる。また、実施例2では、記録再生用、及びトラッキング用の2本のレーザとは別に、ギャップサーボ用の1本のレーザを同じ記録再生領域の略中央位置に配置しているので、特に記録中でも安定してギャップサーボの制御が可能となる。すなわち、従来困難であった高転送の記録再生信号の安定した記録再生が可能となり、良好な記録再生特性を得ることができた。
なお、本発明は、以上説明した各例に限定されることなく、その他種々の変形、変更が可能である。例えば、光ピックアップ装置、光記録再生装置に用いる光源として、例えば780nm帯、680nm帯、660nm帯、650nm帯、635nm帯、400nm帯、415nm帯等の例えば半導体レーザを用いることができる。
また、近接場光照射手段としては、上述のソリッドイマージョンレンズの他、多角形状のミラーを利用したソリッドイマージョンミラー(SIM)を用いるなど、種々の手段を用いることが可能である。
また、複数のビームを出射する光源としてマルチビーム半導体レーザを用いる例について説明したが、その他回折格子等の光分離手段を用いて一つの光源から出射された光を分離して複数のビームスポットを配置することも可能である。
以上説明したように、本発明の光記録再生方法、光ピックアップ装置、光記録再生装置、光記録媒体によれば、2以上のビームスポットを案内トラックに挟まれた記録再生領域に配置することによって、ディスクを従来に比して高速回転させることなく、従来のニアフィールド光ピックアップ装置では限界であった記録再生信号の高転送レート化を図ることが可能となる。
また、複数のビームスポットを、上述したように記録再生用とギャップ検出用とに分離することにより、ソリッドイマージョンレンズ等の近接場光照射手段と光記録媒体とのギャップ間隔制御が優れており、光記録媒体に対する記録再生の安定性を高めることが可能となる。すなわち、本発明によるニアフィールド光記録媒体、ニアフィールド光ピックアップ装置、ニアフィールド光記録再生装置を用いれば、開口数が大なる集光レンズを用いるニアフィールド記録再生において、高転送レート化を容易に得ることが可能となる。したがって、今後の光記録媒体の高密度化大容量化に対応し得る高転送レートが可能で且つ記録再生特性に優れた光記録再生方法、光ピックアップ装置、光記録再生装置、光記録媒体の提供が可能となる。
本発明による光ピックアップ装置の一例の要部の概略構成図である。 本発明による光ピックアップ装置の一例の概略構成図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 Aは本発明による半導体レーザ装置の一例の要部の概略断面構成図である。Bは本発明による半導体レーザ装置の一例の要部の概略断面構成図である。 ギャップに対する全反射戻り光量の変化を示す図である。 本発明による光ピックアップ装置の一例の概略構成図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 本発明による半導体レーザ装置の一例の要部の概略断面構成図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 本発明による半導体レーザ装置の一例の要部の概略断面構成図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 光記録媒体の一例の要部の概略断面構成図である。 ギャップと全反射戻り光量の関係を示す図である。 光記録媒体の一例の要部の概略断面構成図である。 ギャップと全反射戻り光量の関係を示す図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 本発明による光記録媒体の製造方法の一例により作製した光記録媒体の要部の概略構成図である。 本発明による光記録媒体の製造方法の一例により作製した光記録媒体の要部の概略構成図である。 本発明による光記録媒体の製造方法の一例により作製した光記録媒体の要部の概略構成図である。 本発明による光記録媒体の製造方法の一例により作製した光記録媒体の要部の概略構成図である。 Aは光記録媒体の一例の要部の概略斜視図である。Bは光記録媒体の一例の要部の概略斜視図である。 Aは光記録媒体の一例の要部の概略断面図である。Bは光記録媒体の一例の要部の概略断面図である。 Aは光記録媒体の一例の要部の概略断面図である。Bは光記録媒体の一例の要部の概略断面図である。 Aは光記録媒体の一例の要部の概略断面図である。Bは光記録媒体の一例の要部の概略断面図である。 Aは光記録媒体の一例の要部の概略断面図である。Bは光記録媒体の一例の要部の概略断面図である。 Aは光記録媒体の一例の要部の概略断面図である。Bは光記録媒体の一例の要部の概略断面図である。 Aは光記録媒体の一例の要部の概略断面図である。Bは光記録媒体の一例の要部の概略断面図である。Cは光記録媒体の一例の要部の概略断面図である。Dは光記録媒体の一例の要部の概略断面図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 ピット再生信号の一例の波形を示す図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 ピット及び記録再生信号の一例を模式的に示す図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 ピット再生信号の一例の波形を示す図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 ピット及び記録再生信号の一例を模式的に示す図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 ピット再生信号の一例の波形を示す図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 ピット及び記録再生信号の一例を模式的に示す図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 ピット及び記録再生信号の一例を模式的に示す図である。 ピット及び記録再生信号の一例を模式的に示す図である。 ピット及び記録再生信号の一例を模式的に示す図である。 ピット及び記録再生信号の一例を模式的に示す図である。 ピット及び記録再生信号の一例を模式的に示す図である。 光ピックアップ装置の一例の要部の概略構成図である。 光ピックアップ装置の一例の要部の概略構成図である。 Aはソリッドイマージョンレンズの一例の概略側面図である。Bはソリッドイマージョンレンズの一例の概略平面図である。 Aはソリッドイマージョンレンズの一例の概略側面図である。Bはソリッドイマージョンレンズの一例の概略平面図である。 ソリッドイマージョンレンズの先端部の概略断面構成図である。 Aはソリッドイマージョンレンズの一例の概略側面図である。Bはソリッドイマージョンレンズの一例の概略平面図である。 ソリッドイマージョンレンズの先端部の概略断面構成図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。 光記録媒体の一例の要部の概略斜視図である。 光記録媒体の一例の要部の概略断面図である。 本発明による光記録再生方法の一例のビーム配置態様を示す概略構成図である。
符号の説明
1.光記録媒体、1A.相変化記録媒体、1B.光磁気記録媒体、1C.色素記録媒体、1D.再生専用記録媒体、2.近接場光照射手段、3.光学レンズ、10.光源、11.コリメートレンズ、12.無偏光ビームスプリッタ、13.偏光ビームスプリッタ、14.1/4波長板、15.ビームエキスパンダー、16.ミラー、17.アクチュエータ、18.レンズ、19.受光手段、20.レンズ、21.受光手段、30N.記録再生領域、31.案内トラック、31A.ピット、31B.ウォブル、31Ai.高速ブランキング部、31Ao.高速ブランキング部、32.ビームスポット、33.ギャップ検出用ビームスポット、34.記録信号、40.光源、41.コリメートレンズ、42.ビームスプリッタ、43、偏光ビームスプリッタ、44.1/4波長板、45.ダイクロイックプリズム、51.半導体レーザ、51S.発光端、52.半導体レーザ、52S.発光端、53.半導体レーザ、53S.発光端、60.媒体表面、61.記録面、63.端面、65.基板、66.平坦化層、70.集光レンズ、71.反射層、72.誘電体層、73.相変化記録層、74.誘電体層、75.保護層、76.光磁気記録層、77.色素記録層、81.球状部、82.先端部

Claims (50)

  1. 光記録媒体に近接場光を照射して記録及び/又は再生を行う光記録再生方法であって、
    上記光記録媒体の案内トラックに挟まれた記録再生領域に、2以上の記録再生用のビームスポットを配置して記録及び/又は再生を行う
    ことを特徴とする光記録再生方法。
  2. 上記ビームスポットのうち少なくとも1つ、又はこれとは別に設けるビームスポットを、近接場光照射手段と上記光記録媒体の表面との間隔を検出するギャップ検出用ビームスポットとする
    ことを特徴とする請求項1記載の光記録再生方法。
  3. 上記記録再生用のビームスポットと、上記ギャップ検出用ビームスポットとを、少なくとも異なる波長の光を用いて照射する
    ことを特徴とする請求項2記載の光記録再生方法。
  4. 上記案内トラックの間の記録再生領域に、略等間隔に少なくとも上記記録再生用のビームスポットを配置する
    ことを特徴とする請求項1記載の光記録再生方法。
  5. 上記案内トラックの間の記録再生領域の略中央位置、もしくは該中央位置から対称な位置に、上記ギャップ検出用ビームスポットを配置する
    ことを特徴とする請求項2記載の光記録再生方法。
  6. 上記案内トラックの間の記録再生領域の略中央位置、もしくは該中央位置から対称な位置に、上記ギャップ検出用ビームスポットを配置する
    ことを特徴とする請求項3記載の光記録再生方法。
  7. 上記案内トラックの間の記録再生領域の略中央位置、もしくは該中央位置から対称な位置に、上記ギャップ検出用ビームスポットを配置する
    ことを特徴とする請求項4記載の光記録再生方法。
  8. 上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔を算出する
    ことを特徴とする請求項1記載の光記録再生方法。
  9. 上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔を算出する
    ことを特徴とする請求項2記載の光記録再生方法。
  10. 上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔を算出する
    ことを特徴とする請求項3記載の光記録再生方法。
  11. 上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔を算出する
    ことを特徴とする請求項4記載の光記録再生方法。
  12. 上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔を算出する
    ことを特徴とする請求項5記載の光記録再生方法。
  13. 上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔を算出する
    ことを特徴とする請求項6記載の光記録再生方法。
  14. 上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔を算出する
    ことを特徴とする請求項7記載の光記録再生方法。
  15. 光源からの光を少なくとも近接場光照射手段を用いて光記録媒体に照射する光ピックアップ装置であって、
    上記光記録媒体の案内トラックに挟まれた記録再生領域に、2以上の記録再生用のビームスポットを配置する
    ことを特徴とする光ピックアップ装置。
  16. 上記ビームスポットのうち少なくとも1つ、又はこれとは別に設けられるビームスポットが、近接場光照射手段と上記光記録媒体の表面との間隔を検出するギャップ検出用ビームスポットとされる
    ことを特徴とする請求項15記載の光ピックアップ装置。
  17. 上記記録再生用のビームスポットと、上記ギャップ検出用ビームスポットとを、少なくとも異なる波長の光を用いて照射する
    ことを特徴とする請求項16記載の光ピックアップ装置。
  18. 上記案内トラックの間の記録再生領域に、略等間隔に少なくとも上記記録再生用のビームスポットを配置する
    ことを特徴とする請求項15記載の光ピックアップ装置。
  19. 上記案内トラックの間の記録再生領域の略中央位置、もしくは該中央位置から対称な位置に、上記ギャップ検出用ビームスポットを配置する
    ことを特徴とする請求項16記載の光ピックアップ装置。
  20. 上記案内トラックの間の記録再生領域の略中央位置、もしくは該中央位置から対称な位置に、上記ギャップ検出用ビームスポットを配置する
    ことを特徴とする請求項17記載の光ピックアップ装置。
  21. 上記案内トラックの間の記録再生領域の略中央位置、もしくは該中央位置から対称な位置に、上記ギャップ検出用ビームスポットを配置する
    ことを特徴とする請求項18記載の光ピックアップ装置。
  22. 上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔が算出される
    ことを特徴とする請求項15記載の光ピックアップ装置。
  23. 上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔が算出される
    ことを特徴とする請求項16記載の光ピックアップ装置。
  24. 上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔が算出される
    ことを特徴とする請求項17記載の光ピックアップ装置。
  25. 上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔が算出される
    ことを特徴とする請求項18記載の光ピックアップ装置。
  26. 上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔が算出される
    ことを特徴とする請求項19記載の光ピックアップ装置。
  27. 上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔が算出される
    ことを特徴とする請求項20記載の光ピックアップ装置。
  28. 上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔が算出される
    ことを特徴とする請求項21記載の光ピックアップ装置。
  29. 光源からの光を少なくとも近接場光照射手段を用いて光記録媒体に照射して記録及び/又は再生がなされる光記録再生装置において、
    上記光記録媒体の案内トラックに挟まれた記録再生領域に、2以上の記録再生用のビームスポットが配置される
    ことを特徴とする光記録再生装置。
  30. 近接場光が照射されて記録及び/又は再生がなされる光記録媒体であって、
    案内トラックに挟まれた領域に、同期して記録及び/又は再生がなされる2以上の記録トラックが設けられて成る
    ことを特徴とする光記録媒体。
  31. 光記録媒体に近接場光を照射して記録及び/又は再生を行う光記録再生方法であって、
    上記光記録媒体の案内トラックを挟んだ両側の記録再生領域に、2以上の記録再生用のビームスポットを配置して記録及び/又は再生を行うとともに、
    上記案内トラック上に、近接場光照射手段と上記光記録媒体の表面との間隔を検出するギャップ検出用ビームスポットを配置する
    ことを特徴とする光記録再生方法。
  32. 上記記録再生用のビームスポットと、上記ギャップ検出用ビームスポットとを、少なくとも異なる波長の光を用いて照射する
    ことを特徴とする請求項31記載の光記録再生方法。
  33. 上記案内トラックを挟んだ両側の記録再生領域に、略等間隔に少なくとも上記記録再生用のビームスポットを配置する
    ことを特徴とする請求項31記載の光記録再生方法。
  34. 上記案内トラックを挟んだ両側の記録再生領域に、略等間隔に少なくとも上記記録再生用のビームスポットを配置する
    ことを特徴とする請求項32記載の光記録再生方法。
  35. 上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔を算出する
    ことを特徴とする請求項31記載の光記録再生方法。
  36. 上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔を算出する
    ことを特徴とする請求項32記載の光記録再生方法。
  37. 上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔を算出する
    ことを特徴とする請求項33記載の光記録再生方法。
  38. 上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔を算出する
    ことを特徴とする請求項34記載の光記録再生方法。
  39. 光源からの光を少なくとも近接場光照射手段を用いて光記録媒体に照射する光ピックアップ装置であって、
    上記光記録媒体の案内トラックを挟んだ両側の記録再生領域に、2以上の記録再生用のビームスポットを配置して記録及び/又は再生が行われるとともに、
    上記案内トラック上に、近接場光照射手段と上記光記録媒体の表面との間隔を検出するギャップ検出用ビームスポットが配置される
    ことを特徴とする光ピックアップ装置。
  40. 上記記録再生用のビームスポットと、上記ギャップ検出用ビームスポットとが、少なくとも異なる波長の光を用いて照射される
    ことを特徴とする請求項39記載の光ピックアップ装置。
  41. 上記案内トラックを挟んだ両側の記録再生領域に、略等間隔に少なくとも上記記録再生用のビームスポットが配置される
    ことを特徴とする請求項39記載の光ピックアップ装置。
  42. 上記案内トラックを挟んだ両側の記録再生領域に、略等間隔に少なくとも上記記録再生用のビームスポットが配置される
    ことを特徴とする請求項40記載の光ピックアップ装置。
  43. 上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔が算出される
    ことを特徴とする請求項39記載の光ピックアップ装置。
  44. 上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔を算出する
    ことを特徴とする請求項40記載の光ピックアップ装置。
  45. 上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔を算出する
    ことを特徴とする請求項41記載の光ピックアップ装置。
  46. 上記光記録媒体に配置された案内トラック、ピット、ウォブル、記録マークのいずれかの開始間隔距離を利用して、上記2以上の記録再生用のビームスポットのビーム配置間隔を算出する
    ことを特徴とする請求項42記載の光ピックアップ装置。
  47. 光源からの光を少なくとも近接場光照射手段を用いて光記録媒体に照射して記録及び/又は再生がなされる光記録再生装置において、
    上記光記録媒体の案内トラックを挟んだ両側の記録再生領域に、2以上の記録再生用のビームスポットを配置して記録及び/又は再生が行われるとともに、
    上記案内トラック上に、近接場光照射手段と上記光記録媒体の表面との間隔を検出するギャップ検出用ビームスポットが配置される
    ことを特徴とする光記録再生装置。
  48. 近接場光による記録及び/又は再生がなされる光記録媒体の製造方法であって、
    上記光記録媒体の作製に用いる光記録媒体用原盤の案内トラック、ピット、ウォブルの少なくとも一部を、電子線描画装置による高速ブランキング描画を用いて形成する
    ことを特徴とする光記録媒体の製造方法。
  49. 半導体レーザが2以上積層され、
    少なくともその1つの半導体レーザが2以上の発光端を有し、
    上記各半導体レーザの全発光端のうち少なくとも1つの発光端が、他の発光端の配列の両端を結ぶ線の略中央位置に配置されるか、もしくは2以上の発光端が、該中央位置から対称な位置に配置されて成る
    ことを特徴とする半導体レーザ装置。
  50. 上記略中央位置に配置される発光端、もしくは該中央位置から対称な位置に配置されて成る発光端を有する半導体レーザは、他の発光端を有する半導体レーザとは異なる波長のレーザ光を発振する
    ことを特徴とする請求項49記載の半導体レーザ装置。
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