JP2006003180A

JP2006003180A - 電子線照射装置

Info

Publication number: JP2006003180A
Application number: JP2004179044A
Authority: JP
Inventors: Kenji Okamoto; 健二岡本
Original assignee: NHV Corp
Current assignee: NHV Corp
Priority date: 2004-06-17
Filing date: 2004-06-17
Publication date: 2006-01-05

Abstract

【課題】電子線源における電子加速電極板をシールド電極開口へ、従来より簡単に、精度よく取り付けることができる電子線照射装置を提供する。
【解決手段】熱電子放出用のフィラメント１と、これに臨設された電子引出し電極２と、これらを囲むとともに電子取り出し開口３３を有するシールド電極３と、シールド電極開口３３に取り付けられた電子加速電極板４とを有する電子線源１０を減圧用容器２０内に設置し、容器２０には電子線照射窓２０１を形成した電子線照射装置Ａ。加速電極板４は外縁部４１が環状枠部材５に保持され、枠部材５がシールド電極開口内周部に沿って設けた部材３５に電極３外側から当てがわれて電極３外側からネジＳ１で留められる。
【選択図】図１

Description

本発明は電子線照射装置に関する。

電子線照射装置には幾つかのタイプのものがあるが、その中に、熱電子放出用のフィラメントと、該フィラメントに臨設された電子引出し電極と、該フィラメント及び電子引出し電極を囲むとともに該電子引出し電極に対向する位置に電子取り出し用の開口を有するシールド電極と、該シールド電極開口に取り付けられた電子加速電極板とを有する電子線源を減圧用容器内に設置し、該減圧用容器の、前記電子加速電極板に対向する部位に電子線照射窓を形成した電子線照射装置がある。

このタイプの電子線照射装置は例えば特開２００２−２４３８９９号公報に開示されている。このタイプの装置例Ａ’の概略構成を説明すると、図３に一部を示すように、熱電子放出用のフィラメント１に対し電子引出し電極２を対向配置し、これらをシールド電極３で囲み、シールド電極３の前記電極２に対向する位置にある電子取り出し開口３３に電子加速電極板４を設けて電子線源１０を構成し、さらにこの電子線源１０を減圧用容器２０に内蔵させ、電子線源１０の電子加速電極板４に臨む容器部分に電子線照射窓２０１を形成し、そこに電子線照射用の窓箔Ｆを張設したものである。

図３に例示する装置Ａ’では、フィラメント１は、図４に示すようにシールド電極３内にその奥行き方向に左右２列に配設されている。各列のフィラメント１は互い平行であるとともに両列のフィラメント１も互いに平行であり、且つ、両列のフィラメントは同じ面内に配設されている。電子引出し電極２も２列のフィラメント群に対応させて２枚設けてある。

図３に例示する装置Ａ’では、シールド電極３は、電子加速電極板４を設けた部分が開口３３となっている全体がボックス形状のもので、奥行き方向に延びるトンネル状部分３１の両端を側板３２、３２で閉じた形態のものである。
電子引出し電極２、電子加速電極板４には、電子ｅを通過させる多数の貫通孔を形成してある。

なお、このタイプの電子線照射装置は以上の構成部材の他、図示を省略しているが、フィラメント１等へ通電する電源装置、容器２０内を減圧する排気装置等も含んでいる。
この装置Ａ’によると、フィラメント１から放出された電子ｅは引出し電極２で引き出され、加速電極板４で加速されて電子線源１０から照射窓２０１へ向かい、窓箔Ｆから容器２０外へ照射される。

特開２００２−２４３８９９号公報

ところで、このタイプの電子線照射装置では、前記の電子加速電極板４のシールド電極３への取付けは、構造の簡素化等のために概ね次のように行われている。
すなわち、図３に示すように、通常板金加工により形成されるシールド電極３のトンネル状部分３１の、前記開口３３に対応する内周部３３１に沿って電極取付け部材３４を設け、且つ、該内周部３３１と該部材３４との間に隙間を設け、この隙間に電極板４の左右縁部を差し込み、次いで、シールド電極３の内側に作業者が腕を差し入れてネジＳで該電極板４を取付け部材３４へ固定するのである。シールド電極側板３２はその後にトンネル状部分３１に装着される。

しかしこのような電極板４の取付けでは、電極板４の前記隙間への差し込み挿入において、隙間各部の大きさの不均一等による差し込み挿入に対する抵抗や、電極板４の差し込み作業時の撓み等により電極板４の前記隙間への差し込み作業が困難であるとともに、差し込まれた電極板４が撓むなど変形したり、さらに、装置使用により電極板４へ電子が衝突することで電極板４が昇温すると、さらに変形が大きく、複雑化したりして、設計時の電子線引出し、加速性能を達成できないことがある。また、シールド電極３内へ腕を差し入れてのネジ留め作業も困難で煩わしい。

そこで本発明は、熱電子放出用のフィラメントと、該フィラメントに臨設された電子引出し電極と、該フィラメント及び電子引出し電極を囲むとともに該電子引出し電極に対向する位置に電子取り出し用の開口を有するシールド電極と、該シールド電極開口に取り付けられた電子加速電極板とを有する電子線源を減圧用容器内に設置し、該減圧用容器の、前記電子加速電極板に対向する部位に電子線照射窓を形成した電子線照射装置であって、電子線源における電子加速電極板をシールド電極開口へ、従来より簡単に、精度よく取り付けることができる電子線照射装置を提供することを課題とする。

本発明は前記課題を解決するため、
熱電子放出用のフィラメントと、該フィラメントに臨設された電子引出し電極と、該フィラメント及び電子引出し電極を囲むとともに該電子引出し電極に対向する位置に電子取り出し用の開口を有するシールド電極と、該シールド電極開口に取り付けられた電子加速電極板とを有する電子線源を減圧用容器内に設置し、該減圧用容器の、前記電子加速電極板に対向する部位に電子線照射窓を形成した電子線照射装置であって、前記電子加速電極板は、その外縁部が環状枠部材に保持され、該枠部材が前記シールド電極開口の内周部に沿って設けられた電極取付け用部材にシールド電極外側から当てがわれてシールド電極外側からネジ留めされることで該シールド電極開口に設置される電子線照射装置を提供する。

この電子線照射装置によると、電子線源における電子加速電極板は、シールド電極へ取り付けるに先立って環状枠部材に保持させることができる。電子加速電極板の環状枠部材による保持は、電子加速を妨げない電極板外縁部を利用して行うことができ、シールド電極に拘束されない余裕のある場所で、従来より簡単容易に、且つ、精度よく行うことができる。

このように加速電極板を保持した環状枠部材がシールド電極開口に設置されることで該加速電極板が該シールド開口に設置される。該設置は、環状枠部材を、シールド電極開口の内周部に沿って設けられた電極取付け用部材にシールド電極外側から当てがい、シールド電極外側からネジ留めすることで行えるので、シールド電極内に手腕を差し込む必要がなく、それだけ従来より簡単容易に行え、また、電子加速電極板は既に環状枠部材に保持されているので、電子加速電極板の異常変形やストレスを招くことなく、精度よく設置できる。

前記環状枠部材としては、これへの電子加速電極板の取付けを容易にできるものとして、片方の面の内周部に沿って電子加速電極板の外縁部を嵌め込む段差部を有するものを例示できる。この環状枠部材を採用する場合、電子加速電極板は、その外縁部を該段差部に嵌め込むとともに、例えば、該段差部に対向する押さえ部材を該加速電極板外縁部と枠部材とに跨がり配置して該枠部材にネジ留めすればよい。

以上説明したように本発明によると、熱電子放出用のフィラメントと、該フィラメントに臨設された電子引出し電極と、該フィラメント及び電子引出し電極を囲むとともに該電子引出し電極に対向する位置に電子取り出し用の開口を有するシールド電極と、該シールド電極開口に取り付けられた電子加速電極板とを有する電子線源を減圧用容器内に設置し、該減圧用容器の、前記電子加速電極板に対向する部位に電子線照射窓を形成した電子線照射装置であって、電子線源における電子加速電極板をシールド電極開口へ、従来より簡単に、精度よく取り付けることができる電子線照射装置を提供することができる。

図１は本発明に係る電子線照射装置Ａの要部の構造を示す図である。この装置Ａは図３に示す従来装置Ａ’と電子加速電極板４の取付け構造の点を除けば同構造のものである。装置Ａ’の図３に示された部分と実質上同じ部分には図３と同じ参照符号を付してある。

装置Ａでは、矩形の電子加速電極板４はその外縁部４１が環状枠部材５に保持されている。環状枠部材５は矩形を呈しており、図２に示すように上面の内周に沿って段差部５１を有している。加速電極板４はその外縁部４１がこの段差部５１に上方から嵌められており、且つ、電子衝突時の昇温による板面方向への熱膨張に支障がないように段差部立ち上がり壁５１ａに対し若干の隙間をあけて嵌め込んである。

さらに、段差部５１に対向する押さえ部材５２を該加速電極板外縁部４１と枠部材５とに跨がり配置して枠部材５にネジＳ２で固定してある。
このように加速電極板４を保持した枠部材５が、図１に示すように、シールド電極開口３３の内周部に沿って設けられ、開口中へ若干突出した電極取付け用部材３５にシールド電極外側から当てがわれてシールド電極外側からネジＳ１で留められ、かくして電極板４がシールド電極開口３３に設置されている。

この電子線照射装置Ａによると、電子線源１１における電子加速電極板４は、シールド電極１へ取り付けるに先立って環状枠部材５に保持させることができる。電極板４の環状枠部材５による保持は、電子加速を妨げない電極板外縁部４１を利用して行うことができ、シールド電極１に拘束されない余裕のある場所で、それだけ従来より簡単容易に、且つ、精度よく行うことができる。

そして、このように加速電極板４を保持した環状枠部材５がシールド電極開口３３に設置されることで加速電極板４がシールド開口３３に設置される。しかも、該設置は、環状枠部材５をシールド電極開口３３の内周部に沿って設けられた電極取付け用部材３５にシールド電極外側から当てがい、シールド電極外側からネジＳ１で留めることで行えるので、シールド電極内に手腕を差し込む必要がなく、それだけ従来より簡単容易に行える。また、加速電極板４１は既に環状枠部材５に保持されているので、電極板４の異常変形やストレスを招くことなく、精度よく設置できる。

本発明に係る電子線照射装置は、電線被覆材料等の高分子材料の架橋、塗膜等のキュアング、医療品の殺菌等に利用できる。

本発明に係る電子線照射装置の１例の要部を示す図である。電子加速電極板を保持する環状枠部材の平面図である。従来の電子線照射装置例の一部を示す図である。図４の電子線照射装置におけるシールド電極等の概略斜視図である。

符号の説明

Ａ、Ａ’ 電子線照射装置
１０電子線源
１フィラメント
２電子引出し電極
３シールド電極
３１電極３のトンネル状部分
３２電極３の側板部
３３シールド電極開口部
３４、３５加速電極板取り付け用部材
４電子加速電極板
４１電極板４の外縁部
５環状枠部材
５１段差部
５１ａ段差部の立ち上がり壁
Ｓ、Ｓ１、Ｓ２ネジ
２０容器
２０１照射窓
Ｆ窓箔
ｅ電子

Claims

熱電子放出用のフィラメントと、該フィラメントに臨設された電子引出し電極と、該フィラメント及び電子引出し電極を囲むとともに該電子引出し電極に対向する位置に電子取り出し用の開口を有するシールド電極と、該シールド電極開口に取り付けられた電子加速電極板とを有する電子線源を減圧用容器内に設置し、該減圧用容器の、前記電子加速電極板に対向する部位に電子線照射窓を形成した電子線照射装置であって、前記電子加速電極板は、その外縁部が環状枠部材に保持され、該枠部材が前記シールド電極開口の内周部に沿って設けられた電極取付け用部材にシールド電極外側から当てがわれてシールド電極外側からネジ留めされることで該シールド電極開口に設置されることを特徴とする電子線照射装置。
前記環状枠部材は片方の面の内周部に沿って前記電子加速電極板の外縁部を嵌め込む段差部を有しており、該電子加速電極板は、その外縁部が該段差部に嵌め込まれるとともに該段差部に対向する押さえ部材が該加速電極板外縁部と枠部材とに跨がり配置されて該枠部材にネジ留めされることで該枠部材に保持されている請求項１記載の電子線照射装置。