JPH0722033Y2

JPH0722033Y2 - 電子線照射窓

Info

Publication number: JPH0722033Y2
Application number: JP1989064976U
Authority: JP
Inventors: 寿男木村
Original assignee: 日新ハイボルテージ株式会社
Priority date: 1989-06-02
Filing date: 1989-06-02
Publication date: 1995-05-17
Anticipated expiration: 2004-06-02
Also published as: JPH034647U

Description

【考案の詳細な説明】（産業上の利用分野）この考案は電子線照射装置に使用される電子線照射窓に
関する。

（従来の技術）第３図は従来の電子線照射窓を示し、１は内部に電子線
源を備えた真空チャンバー、２は真空チャンバー１の開
口端に取り付けられる窓枠、３は窓枠２に設られけてあ
る、互いに並設された複数の冷却桟で、これは真空チャ
ンバー１の開口端を、その幅方向に沿って横切るように
設けられてある。４は窓箔、５は固定板、８は冷却孔で
ある。

窓箔４は冷却桟３の外端31にその全長にわたって当てが
われる。そしてその周囲を固定板５で抑え、これを図示
しない固定ボルト７によって窓枠２に固定する。このよ
うにして窓箔４は固定されるようになる。

（考案が解決しようとする課題）ところで従来では冷却桟３の外端31は、図のように平坦
に形成されるのを普通としていた。一方窓箔４を通過し
た電子線が大気中を通過するとき、その大気の雰囲気ガ
スを加熱する。この加熱されたガスは上昇して滞留し、
窓箔４を加熱する。通常窓箔４は冷却桟３によって冷却
されているが、前記した大気の雰囲気ガスの加熱に基づ
く加熱により、窓箔４は過加熱されて、熱破壊を起こす
ことがある。

この考案は、加熱ガスの滞留を防止し、もって窓箔の熱
破壊を極力防止することを目的とする。

またこの考案は、被照射物に対する照射線量の増大化を
図ることを目的とする。

（課題を解決するための手段）この考案は、冷却桟の、窓箔が当てがわれる外端の形状
を、下に向かって凸となる曲面形状としたことを特徴と
する。

（作用）冷却桟の外端に窓箔を当てがって固定すると、その窓箔
も下に向かって凸となる曲面形状となる。そのため大気
の雰囲気ガスが加熱されて上昇してきたとき、窓箔の曲
面にしたがってその裾部分に向かって自然対流が発生す
る。これによって前記雰囲気ガスは、窓箔の下面で滞留
することがなくなり、加熱されるのが回避されるように
なる。

また窓箔と被照射物との間の距離が、窓箔を平坦とした
従来構成に比較して短くなる。そのため被照射物までの
空気層が短くなるから、この空気層による電子線の減衰
量が少なくなる。これによって照射線量が増大するよう
になる。

（実施例）この考案の実施例を第１図、第２図によって説明する。
なお第３図は同じ符号を付した部分は、同一または対応
する部分を示す。この考案にしたがい、冷却桟３の外端
31を、下に向かって凸となるような曲面形状に形成す
る。

以上の構成において、窓箔４を冷却桟３の外端31にあて
がい、窓枠２で抑えてから、固定ボルト７で固定するこ
とによって、窓箔４は窓枠２にＯリング６を介して固定
する。このあと真空チャンバー１の内部を真空にする
と、大気圧によって窓箔４は冷却桟４の外端31に抑えつ
けられるようになる。

なお固定ボルト７で固定した状態にあるとき、外端31の
裾部32と窓箔４との間に、空間９が形成されるようにし
ておくとよい。

するとそのあと真空チャンバー１の内部を真空にしたと
き、空間９に作用する大気圧によって、窓箔４は裾部32
側に、すなわち左右両側に強く引っ張られる。

そのため窓箔４を固定ボルト７によって固定した状態
で、仮りに少々のしわが発生していたとしても、そのし
わは解消されるようになる。

もししわが残っていたとすると、そこに大きな内部応力
が残留することになるため、ここる電子線が通過する
と、容易に劣化し、真空洩れの発生原因となる。そのた
めしわの存在は極力無くすことが望まれる。

以上の構成において、冷却桟３の外端31に窓箔４が当て
がわれると、その窓箔４も下に向かって凸となる曲面形
状となる。

ここで電子線が窓箔４を通過すると、大気の雰囲気ガス
が加熱されて上昇する。そして上昇した雰囲気ガスは、
窓箔４の曲面に沿ってその裾部分に向かって、すなわち
左右両側に向かう自然対流が発生する。これによって前
記雰囲気ガスは、窓箔４の下面で滞留することがなくな
り、窓箔４が加熱されるのが回避されるようになる。

また窓箔４が下に向かって凸となる曲面形状となるの
で、窓箔４と被照射物との間の距離が、第３図に示す従
来構成に比較して短くなる。そのため被照射物までの空
気層が短くなるから、この空気層による電子線の減衰量
が少なくなる。これによって照射線量が増大するように
なる。

（考案の効果）以上詳述したようにこの考案によれば、加熱された雰囲
気ガスによる窓箔の加熱は回避され、かつ照射線量の増
大化が可能となるといった効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の実施例を示す断面図、第２図は第１
図の一部拡大断面図、第３図は従来例の断面図である。１…真空チャンバー、２…窓枠、３…冷却桟、４…窓
箔、５…固定板、31…外端、

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】真空チャンバーの開口端に、前記開口端の
幅方向に沿って横切る複数の並設した冷却桟を備えてな
る窓枠を設け、前記冷却桟の外端の全長にわたって窓箔
を当てがって取り付けるとともに、前記窓箔の周囲を前
記窓枠に対して固定板で固定してなる電子線照射窓にお
いて、前記冷却桟の、前記窓箔が当てがわれる外端の形状を、
下に向かって凸となる曲面形状としてなる電子線照射
窓。