JPS63183598U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63183598U JPS63183598U JP7418787U JP7418787U JPS63183598U JP S63183598 U JPS63183598 U JP S63183598U JP 7418787 U JP7418787 U JP 7418787U JP 7418787 U JP7418787 U JP 7418787U JP S63183598 U JPS63183598 U JP S63183598U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- window
- electron beam
- flange
- window foil
- opening
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 8
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
Landscapes
- Particle Accelerators (AREA)
Description
第１図は本考案の電子線照射装置照射窓構造の
縦断面図。第２図は従来例に係る電子線照射装置
照射窓構造の縦断面図。第３図は走査型電子線照
射装置の概略正面図。第４図は照射窓の概略平面
図。 １……走査管、２……走査管中央桟、３……窓
押えフランジ、４……窓押えフランジ中央桟、５
……窓箔、６……冷却風、７……被処理物、８…
…反射電子、９……水冷パイプ、１０……水冷パ
イプ、１１……走査管フランジ、Σ……電子線。
縦断面図。第２図は従来例に係る電子線照射装置
照射窓構造の縦断面図。第３図は走査型電子線照
射装置の概略正面図。第４図は照射窓の概略平面
図。 １……走査管、２……走査管中央桟、３……窓
押えフランジ、４……窓押えフランジ中央桟、５
……窓箔、６……冷却風、７……被処理物、８…
…反射電子、９……水冷パイプ、１０……水冷パ
イプ、１１……走査管フランジ、Σ……電子線。
Claims (1)
- 真空中で電子線を発生し、加速し、照射窓を通
して大気中に置かれた被処理物に電子線を照射す
るようにした電子線照射装置に於て、水平二方向
に走査された電子線Σを通し、下端にフランジ１
１を有する走査管１と、走査管１下端のフランジ
１１で囲まれる開口を覆うように設けられる窓箔
５と、窓箔５の四周を走査管フランジ１１との間
に挟持する窓押えフランジ３と走査管１の開口端
中央に於て開口の長手方向にそつて設けられた走
査管中央桟２と、走査管中央桟２の上端に設けら
れた水冷パイプ１０と、走査管中央桟２の下端に
設けられ窓箔５の長手方向中央部を支持する水冷
パイプ９とよりなる事を特徴とする電子線照射装
置の照射窓構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7418787U JPS63183598U (ja) | 1987-05-18 | 1987-05-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7418787U JPS63183598U (ja) | 1987-05-18 | 1987-05-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63183598U true JPS63183598U (ja) | 1988-11-25 |
Family
ID=30919174
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7418787U Pending JPS63183598U (ja) | 1987-05-18 | 1987-05-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63183598U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH034647U (ja) * | 1989-06-02 | 1991-01-17 |
-
1987
- 1987-05-18 JP JP7418787U patent/JPS63183598U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH034647U (ja) * | 1989-06-02 | 1991-01-17 |