JP2007242556A - 電子銃、エネルギー線発生装置、電子線発生装置、及びx線発生装置 - Google Patents
電子銃、エネルギー線発生装置、電子線発生装置、及びx線発生装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007242556A JP2007242556A JP2006066491A JP2006066491A JP2007242556A JP 2007242556 A JP2007242556 A JP 2007242556A JP 2006066491 A JP2006066491 A JP 2006066491A JP 2006066491 A JP2006066491 A JP 2006066491A JP 2007242556 A JP2007242556 A JP 2007242556A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron gun
- electron
- container
- connector
- insulating block
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J3/00—Details of electron-optical or ion-optical arrangements or of ion traps common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J3/02—Electron guns
- H01J3/027—Construction of the gun or parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J33/00—Discharge tubes with provision for emergence of electrons or ions from the vessel; Lenard tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J33/00—Discharge tubes with provision for emergence of electrons or ions from the vessel; Lenard tubes
- H01J33/02—Details
- H01J33/04—Windows
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/06—Sources
- H01J2237/061—Construction
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/06—Sources
- H01J2237/063—Electron sources
- H01J2237/06308—Thermionic sources
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/16—Vessels
- H01J2237/164—Particle-permeable windows
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
- H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
- H01J35/112—Non-rotating anodes
- H01J35/116—Transmissive anodes
Landscapes
- X-Ray Techniques (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
【解決手段】エネルギー線発生装置1aは、電子銃2、真空容器3、及び出射窓構成部10aまたは10bを備える。電子銃2は、樹脂部材4、ケース5、コネクタ6、フィラメント7、及び内部配線9a,9bを有する。ケース5は、Z軸方向に互いに対向する内面5a及び5bと、X軸方向に互いに対向する内面5c及び5dとを有し、内面5aから外面へ貫通する開口5gを有する。樹脂部材4は、ケース5の内面5a及び5cに接するとともに、他の内面5b,5d〜5fとの間に隙間をあけて配置されている。樹脂部材4は開口5gから突出した凸部4bを有しており、凸部4bの先端にフィラメント7が配置される。コネクタ6は、内面5cに配置される。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明による電子銃を備え、電子線やX線を発生するためのエネルギー線発生装置の第1実施形態の構成を示す側面断面図である。また、図2は、図1に示すI−I線に沿った断面を示す側面断面図である。また、図3は、図1に示すII−II線に沿った断面を示す平面断面図である。また、図1〜図3には説明の便宜のためにXYZ直交座標系が示されている。
図5は、本発明による電子銃を備え、電子線やX線を発生するためのエネルギー線発生装置の第2実施形態の構成を示す側面断面図である。なお、図5には説明の便宜のためにXYZ直交座標系が示されている。
Claims (9)
- 第1の方向に互いに対向する第1及び第2の内面、及び前記第1の方向と交差する第2の方向に互いに対向する第3及び第4の内面を有し、前記第1の内面から外面へ貫通する開口を有する容器と、
前記容器の前記第1及び第3の内面に接するとともに、前記第2及び第4の内面との間に隙間をあけて配置された絶縁ブロックと、
前記容器の前記開口から露出した前記絶縁ブロックの部分上に設けられた電子放出部材と
を備えることを特徴とする、電子銃。 - 前記容器が導電性を有し、
前記絶縁ブロックの表面のうち、前記容器との間に隙間が設けられた前記表面を覆う導電性部材を更に備えることを特徴とする、請求項1に記載の電子銃。 - 前記容器が、前記第3の内面に凹凸形状を有することを特徴とする、請求項1または2に記載の電子銃。
- 前記容器の外側から前記第3の内面へ貫通配置されたコネクタと、
前記絶縁ブロック内に埋め込まれ、前記コネクタから前記電子放出部材へ延びる内部配線と
を更に備えることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の電子銃。 - 前記コネクタの一部が前記絶縁ブロック内に埋め込まれており、
前記コネクタが前記容器に固定されていることを特徴とする、請求項4に記載の電子銃。 - 前記絶縁ブロックが、前記第1及び第3の内面を除く全ての内面との間に隙間をあけて配置されていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の電子銃。
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載の電子銃を備え、
前記電子銃から放出された電子、または該電子によって発生した放射線を出射することを特徴とする、エネルギー線発生装置。 - 請求項1〜6のいずれか一項に記載の電子銃と、
前記電子銃の前記電子放出部材を収容する真空容器と、
前記真空容器に設けられ、前記電子銃から放出された電子を透過して前記真空容器の外部へ出射するための窓材と
を備えることを特徴とする、電子線発生装置。 - 請求項1〜6のいずれか一項に記載の電子銃と、
前記電子銃の前記電子放出部材を収容する真空容器と、
前記電子銃から放出された電子を受けてX線を放出するターゲットと、
前記真空容器に設けられ、前記ターゲットから放出された前記X線を透過して前記真空容器の外部へ出射するための窓材と
を備えることを特徴とする、X線発生装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006066491A JP4850542B2 (ja) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | 電子銃、エネルギー線発生装置、電子線発生装置、及びx線発生装置 |
PCT/JP2007/052201 WO2007105389A1 (ja) | 2006-03-10 | 2007-02-08 | 電子銃、エネルギー線発生装置、電子線発生装置、及びx線発生装置 |
TW096107670A TW200809903A (en) | 2006-03-10 | 2007-03-06 | Electron gun, energy beam generating device, electron beam generating device, and X-ray generating device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006066491A JP4850542B2 (ja) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | 電子銃、エネルギー線発生装置、電子線発生装置、及びx線発生装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007242556A true JP2007242556A (ja) | 2007-09-20 |
JP4850542B2 JP4850542B2 (ja) | 2012-01-11 |
Family
ID=38509227
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006066491A Active JP4850542B2 (ja) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | 電子銃、エネルギー線発生装置、電子線発生装置、及びx線発生装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4850542B2 (ja) |
TW (1) | TW200809903A (ja) |
WO (1) | WO2007105389A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6068693B1 (ja) * | 2016-01-08 | 2017-01-25 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子線照射装置 |
JP2022098027A (ja) * | 2020-12-21 | 2022-07-01 | キヤノン電子管デバイス株式会社 | X線管 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI815745B (zh) * | 2022-01-06 | 2023-09-11 | 相弘科技股份有限公司 | 非接觸式半導體製程設備零配件量測裝置的操作方法 |
TWI790086B (zh) * | 2022-01-06 | 2023-01-11 | 相弘科技股份有限公司 | 非接觸式半導體製程設備零配件量測裝置及其操作方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5387661A (en) * | 1977-01-12 | 1978-08-02 | Shiakii Sa | Electron gun |
JPH02159909A (ja) * | 1988-12-09 | 1990-06-20 | Fuji Electric Co Ltd | ガス絶縁開閉装置の絶縁スペーサ |
JPH04252829A (ja) * | 1991-01-29 | 1992-09-08 | Hitachi Ltd | 絞り弁組立体 |
JPH07254384A (ja) * | 1994-03-16 | 1995-10-03 | Mitsubishi Electric Corp | 電子ビーム加工装置 |
JP2001124899A (ja) * | 1999-10-29 | 2001-05-11 | Hamamatsu Photonics Kk | 開放型x線発生装置 |
JP2003100243A (ja) * | 2001-09-19 | 2003-04-04 | Aet Japan:Kk | 超小形マイクロ波電子源 |
WO2004050511A1 (ja) * | 2002-11-29 | 2004-06-17 | Fujitsu Limited | プラズマディスプレイユニット搬送用樹脂製プロテクタ |
-
2006
- 2006-03-10 JP JP2006066491A patent/JP4850542B2/ja active Active
-
2007
- 2007-02-08 WO PCT/JP2007/052201 patent/WO2007105389A1/ja active Application Filing
- 2007-03-06 TW TW096107670A patent/TW200809903A/zh unknown
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5387661A (en) * | 1977-01-12 | 1978-08-02 | Shiakii Sa | Electron gun |
JPH02159909A (ja) * | 1988-12-09 | 1990-06-20 | Fuji Electric Co Ltd | ガス絶縁開閉装置の絶縁スペーサ |
JPH04252829A (ja) * | 1991-01-29 | 1992-09-08 | Hitachi Ltd | 絞り弁組立体 |
JPH07254384A (ja) * | 1994-03-16 | 1995-10-03 | Mitsubishi Electric Corp | 電子ビーム加工装置 |
JP2001124899A (ja) * | 1999-10-29 | 2001-05-11 | Hamamatsu Photonics Kk | 開放型x線発生装置 |
JP2003100243A (ja) * | 2001-09-19 | 2003-04-04 | Aet Japan:Kk | 超小形マイクロ波電子源 |
WO2004050511A1 (ja) * | 2002-11-29 | 2004-06-17 | Fujitsu Limited | プラズマディスプレイユニット搬送用樹脂製プロテクタ |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6068693B1 (ja) * | 2016-01-08 | 2017-01-25 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子線照射装置 |
WO2017119180A1 (ja) * | 2016-01-08 | 2017-07-13 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子線照射装置及び電子線照射方法 |
US10916402B2 (en) | 2016-01-08 | 2021-02-09 | Hamamatsu Photonics K.K. | Electron beam irradiation device and electron beam irradiation method |
JP2022098027A (ja) * | 2020-12-21 | 2022-07-01 | キヤノン電子管デバイス株式会社 | X線管 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4850542B2 (ja) | 2012-01-11 |
TW200809903A (en) | 2008-02-16 |
WO2007105389A1 (ja) | 2007-09-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI425527B (zh) | Electronic wire generating device | |
US20120207279A1 (en) | X-ray tube | |
EP1950788B1 (en) | X-ray tube and x-ray source including same | |
KR101240779B1 (ko) | X선관 및 이를 포함하는 x선원 | |
JP4850542B2 (ja) | 電子銃、エネルギー線発生装置、電子線発生装置、及びx線発生装置 | |
JP6889619B2 (ja) | X線発生装置 | |
US11147148B2 (en) | X-ray generator | |
US20210050174A1 (en) | Cathode assembly for electron gun | |
TW201338000A (zh) | 電子線照射裝置及電子線透過單元 | |
JP2008128977A (ja) | 電子線照射装置 | |
JP5801161B2 (ja) | X線管及びx線管の製造方法 | |
US20230147125A1 (en) | Electron beam generator, electron beam emission device and x-ray emission device | |
US20230148363A1 (en) | Electron beam generation source, electron beam emission device, and x-ray emission device | |
JP7434041B2 (ja) | エネルギー線照射装置 | |
JP6339821B2 (ja) | 電子線照射装置 | |
JP2011033396A (ja) | 窓構造体、電子線出射装置及びx線出射装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110705 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110815 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111018 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111019 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4850542 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141028 Year of fee payment: 3 |