JP2006002170A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006002170A5 JP2006002170A5 JP2004176539A JP2004176539A JP2006002170A5 JP 2006002170 A5 JP2006002170 A5 JP 2006002170A5 JP 2004176539 A JP2004176539 A JP 2004176539A JP 2004176539 A JP2004176539 A JP 2004176539A JP 2006002170 A5 JP2006002170 A5 JP 2006002170A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- thickness
- fluorinated
- anodized film
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Description
そして、図２に示すように、陽極酸化皮膜２の上に約１μｍの厚みでフッ化層３を形成した。なお、フッ化層３の厚みとしては、陽極酸化皮膜の細孔を塞ぐ目的から約０．０１μｍ〜５μｍ程度が好ましい。なお、フッ化層３の厚みは陽極酸化皮膜２の膜厚よりも小さくなるようにする。また、封孔処理をしない場合にフッ化を行うと、フッ素が陽極酸化皮膜内部に入り込み細孔内もフッ化されるが、本発明のフッ化層厚さは、細孔内がフッ化された部分は含まないものとする。
次に、本発明のように陽極酸化皮膜上にフッ化層を形成したことによる耐食性を調べるために、図３に示した試料３−１、及び比較用として図５に示した試料１−１（陽極酸化処理を施していない）と試料１−３（膜厚１５μｍの陽極酸化皮膜を形成）に３５％塩酸を滴下し、目視で上記各試料の表面が変色するまでの時間を計測した。図４にこの計測結果を示す。なお、本発明の処理方法で作製された他の試料（試料３−２〜試料３−１９）においても図４同様の結果が得られた。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004176539A JP4744099B2 (ja) | 2004-06-15 | 2004-06-15 | 真空容器の内壁用のアルミニウム材の表面処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004176539A JP4744099B2 (ja) | 2004-06-15 | 2004-06-15 | 真空容器の内壁用のアルミニウム材の表面処理方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006002170A JP2006002170A (ja) | 2006-01-05 |
| JP2006002170A5 true JP2006002170A5 (ja) | 2007-05-31 |
| JP4744099B2 JP4744099B2 (ja) | 2011-08-10 |
Family
ID=35770815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004176539A Expired - Lifetime JP4744099B2 (ja) | 2004-06-15 | 2004-06-15 | 真空容器の内壁用のアルミニウム材の表面処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4744099B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5058548B2 (ja) * | 2006-10-02 | 2012-10-24 | 株式会社アルバック | アルミニウム材の表面処理方法 |
| JP5069137B2 (ja) * | 2008-01-21 | 2012-11-07 | 株式会社アルバック | プラズマ処理装置、プラズマ処理装置の製造方法 |
| SG155111A1 (en) * | 2008-02-26 | 2009-09-30 | Kobe Steel Ltd | Surface treatment material for semiconductor manufacturing system and method for producing same |
| GB2509335A (en) * | 2012-12-31 | 2014-07-02 | Univ Tartu | Double-structured corrosion resistant coatings and methods of application |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH051365A (ja) * | 1991-06-25 | 1993-01-08 | Kokusai Electric Co Ltd | 金属表面処理方法 |
| JPH09302499A (ja) * | 1996-05-09 | 1997-11-25 | Mitsubishi Alum Co Ltd | アルミニウム材 |
| JP3608707B2 (ja) * | 1997-06-09 | 2005-01-12 | 株式会社神戸製鋼所 | 真空チャンバ部材及びその製造方法 |
| JP2000005886A (ja) * | 1998-06-19 | 2000-01-11 | Seiko Epson Corp | 固体接合方法およびその装置 |
| JP2002268426A (ja) * | 2001-03-07 | 2002-09-18 | Ricoh Co Ltd | 加熱定着ローラ、その製造方法及び製造装置 |
| CN1575404A (zh) * | 2001-10-25 | 2005-02-02 | 昭和电工株式会社 | 热交换器、热交换器或其构成部件的氟化处理方法以及热交换器的制造方法 |
| JP3871560B2 (ja) * | 2001-12-03 | 2007-01-24 | 昭和電工株式会社 | 皮膜形成処理用アルミニウム合金、ならびに耐食性に優れたアルミニウム合金材およびその製造方法 |
| JP2003229099A (ja) * | 2002-02-05 | 2003-08-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電池缶およびこの電池缶を用いた電池 |
-
2004
- 2004-06-15 JP JP2004176539A patent/JP4744099B2/ja not_active Expired - Lifetime
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Gin et al. | Revealed architectures of adsorbed polymer chains at solid-polymer melt interfaces | |
| Härkönen et al. | Corrosion protection of steel with oxide nanolaminates grown by atomic layer deposition | |
| TWI345916B (en) | Motion estimation method | |
| TW200710279A (en) | Method for anticorrosion-treating aluminum or aluminum alloy | |
| JP2015158008A5 (ja) | ||
| CN106289613B (zh) | 一种对称涂层残余应力的测定方法 | |
| Haselberg et al. | Thickness and morphology of polyelectrolyte coatings on silica surfaces before and after protein exposure studied by atomic force microscopy | |
| Van Put et al. | Potentiodynamic anodizing of aluminum alloys in Cr (VI)‐free electrolytes | |
| Zhang et al. | Anodizing of aluminum in sulfuric acid/boric acid mixed electrolyte | |
| JP2018030193A5 (ja) | ||
| JP2006002170A5 (ja) | ||
| JP2012522135A5 (ja) | ||
| JP2008532043A5 (ja) | ||
| JP2010025560A (ja) | 金属材料の耐食性評価方法 | |
| JP2006299016A (ja) | コーティング剤 | |
| JP2004325441A5 (ja) | ||
| US20170009364A1 (en) | Process for reducing nickel leach rates for nickel acetate sealed anodic oxide coatings | |
| Holme et al. | Preferential grain etching of AlMgSi (Zn) model alloys | |
| JP3608707B2 (ja) | 真空チャンバ部材及びその製造方法 | |
| JP2007113994A (ja) | アルミニウムの寿命評価方法及び寿命評価装置 | |
| JPH09316693A (ja) | フッ素樹脂塗装アルミニウム合金部材およびその製造方法 | |
| JP5937937B2 (ja) | アルミニウム陽極酸化皮膜 | |
| JP5452034B2 (ja) | 半導体製造装置用表面処理部材、および、その製造方法 | |
| JP4744099B2 (ja) | 真空容器の内壁用のアルミニウム材の表面処理方法 | |
| JP4790563B2 (ja) | アルミニウム材またはアルミニウム合金材、及びそれを使用した建材製品 |