JP2005536633A - 電気分解を監視するための装置および方法 - Google Patents
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Abstract
Description
1. 陰極1と電解質流体22との間の不十分な電気的接触、
2. 管29の破断、
3. 陽極5と電解質流体22との間の不十分な接触または
4. 管29を通した不十分な電解液フロー。
2 開始層(シード層、めっきベース)
3 誘電体層
4 誘電体層3における構造部
5 陽極
6 電流源(電圧源)
7 クランプ電圧Uのための電圧計
8 第1の基準電極
9 第2の基準電極
10 電位差
11 陽極5における電圧降下
12 電解液22における電圧降下
13 陰極1における電圧降下
14、15、16 電圧計
20 タンク
21 流体レベル
22 電解質流体
23、24 毛細管
25、26 基準電極容器
27 電気線
28 シールド(事実上の陽極)
29 管
U クランプ電圧
Claims (12)
- 少なくとも1つの陽極と少なくとも1つの陰極とを有する、電解プロセスを監視するための装置であって、少なくとも1つの基準電極が、前記少なくとも1つの陽極の表面かまたは前記少なくとも1つの陰極の表面に配置され、少なくとも1つの電圧計が、前記少なくとも1つの陽極と前記少なくとも1つの基準電極との間および前記少なくとも1つの基準電極と前記少なくとも1つの陰極との間で、電圧を検出するためにそれぞれ設けられている、装置。
- 少なくとも1つの第1基準電極が、前記少なくとも1つの陽極の表面に配置され、少なくとも1つの第2基準電極が、前記少なくとも1つの陰極の表面に配置され、電圧計が、前記少なくとも1つの陽極と前記少なくとも1つの第1基準電極の間、前記少なくとも1つの第1基準電極と前記少なくとも1つの第2基準電極の間、および前記少なくとも1つの第2基準電極と前記少なくとも1つの陰極の間で、電圧を検出するためにそれぞれ設けられている、請求項1に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの基準電極が、毛細管を通して、前記少なくとも1つの陽極の表面かまたは前記少なくとも1つの陰極の表面と通じている、請求項1または2に記載の装置。
- 電解質流体を、前記毛細管を通して、前記少なくとも1つ基準電極に送出可能とするための手段が設けられている、請求項3に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの陽極と前記少なくとも1つの陰極が平行にされ、かつ水平に向けられているかまたは水平から傾けられている、請求項1〜4のいずれか一項に記載の装置。
- 前記陰極がウエハまたはチップキャリア基板であり、前記陽極が金属板である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の装置。
- 少なくとも1つの陽極と少なくとも1つの陰極とを有する電解槽における電解プロセスを監視するための方法であって、少なくとも1つの基準電極が、前記少なくとも1つの陽極の表面かまたは前記少なくとも1つの陰極の表面に配置され、少なくとも1つの電圧計が、前記少なくとも1つの陽極と前記少なくとも1つの基準電極の間および前記少なくとも1つの基準電極と前記少なくとも1つの陰極の間で電圧を検出するために、それぞれ設けられており、
前記方法が、以下の方法ステップ、すなわち、
a)前記少なくとも1つの陽極と前記少なくとも1つの陰極の間に、電流フローを供給するステップと、
b)前記少なくとも1つの陽極と前記少なくとも1つの基準電極の間および前記少なくとも1つの基準電極と前記少なくとも1つの陰極の間でそれぞれの電圧を同時に検出するステップと、
を含む方法。 - 前記少なくとも1つの陽極の表面に配置された少なくとも1つの第1基準電極と、前記少なくとも1つの陰極の表面に配置された少なくとも1つの第2基準電極とが設けられており、
方法ステップb)が、以下の部分的方法ステップ、すなわち、
b1)前記少なくとも1つの陽極と前記少なくとも1つの第1基準電極の間で電圧を検出するステップと、
b2)前記少なくとも1つの第1基準電極と前記少なくとも1つの第2基準電極の間で電圧を検出するステップと、
b3)前記少なくとも1つの第2基準電極と前記少なくとも1つの陰極の間で電圧を検出するステップと、
を含む、請求項7に記載の方法。 - 前記少なくとも1つの基準電極が、毛細管を介して、前記少なくとも1つの陽極の表面か、または前記少なくとも1つの陰極の表面と接触させられる、請求項7または8に記載の方法。
- 電解質流体が、前記毛細管を通して、前記少なくとも1つの基準電極に送出される、請求項9に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの陽極と前記少なくとも1つの陰極が平行にされ、かつ水平に向けられているかまたは水平から傾けられている、請求項7〜10のいずれか一項に記載の方法。
- 前記陰極がウエハかまたはチップキャリア基板であり、前記陽極が金属板であり、前記金属が、電解により前記ウエハに析出される、請求項7〜11のいずれか一項に記載の方法。
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