JP2005532908A - レーザースポットを拡大するワークピースのレーザー加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
従って本発明の目的は、集束したレーザースポットを高速に空間的に広げる方法と装置を提供すること、それ故高い繰り返し速度のレーザーパルスのエネルギー密度を提供することにある。
図1を参照すれば、本発明の1実施例のレーザーシステム10はQスイッチ付きの(Q-switched)、ダイオード−ポンピングされる(pumped)(DP)の、個体(solid-state)(SS)のレーザー12を含み、このレーザーは好適には個体のレーザント(lasant)を含む。しかし、当業者には、クリプトンアークランプの如きダイオード以外のポンピング源も利用できることは認められるだろう。ポンピングダイオード、アークランプ、又は他の通常のポンピング手段はレーザー12の一部を形成することができるか又は別々に置かれることができる電力供給源(別に示さず)から電力を受ける。
Claims (22)
- レーザー出力パルスでワークピース上に有効切り口幅をレーザー加工する方法であって、各レーザーパルスがワークピース上に有効切り口幅より小さいレーザースポット直径をもって成るレーザー加工方法において、該加工方法は、
一次的ビーム位置決めシステムから、レーザースポット位置の一次的相対的移動を第1セットの制限された速度と加速度でワークピースに与えることを含み、上記一次的ビーム位置決めシステムはレーザーからワークピース上のレーザースポット位置にビーム位置決め経路を提供し、上記一次的相対的移動は一次的加工進路を限定し、更に該加工方法は、
ビーム位置決め経路に沿って置かれた二次的ビーム位置決めシステムから、レーザースポット位置の二次的相対的移動を第1セットの速度と加速度より実質上高い第2セットの速度と加速度でワークピースに与えることを含み、上記二次的相対的移動は一次的相対的移動に重ねられそして、レーザースポット直径の約15倍より小さいか又はそれに等しい一次的加工進路に対して直角をなす或るパターン寸法をもつパターンを含み、上記一次的と二次的の相対的移動はパターン寸法プラススポット直径にほヾ等しい一次的加工進路に沿った有効切り口幅を提供するために協働すること含むことを特徴とする加工方法。 - 上記第2セットは 1,000 mm/sec より大きい速度と、1,000 G より大きい加速度を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 上記第2セットは 1,000 乃至 4,000 mm/secの速度と、1,000乃至 30,000 G の加速度を含むことを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 第1セットは 500 mm/secより小さい速度と 500 G より小さい加速度を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- パターン寸法はレーザースポット直径の約 10 倍より小さいか又はそれに等しいことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 二次的ビーム位置決めシステムは、約 5 kHz より大きい大信号帯域と、約 8 kHzより大きい小信号帯域幅をもつことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 二次的ビーム位置決めシステムは高速ステアリングミラーを含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 上記高速ステアリングミラーはPMN又はPZT作動ミラーを含むことを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 一次的ビーム位置決めシステムは少なくとも1つの並進と高速位置決め器を含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 高速位置決め器は少なくとも1つの検流計−被動のミラーを含むことを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 高速位置決め器は並進ステージ上に取り付けられていることを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 一次的位置決めシステムはスプリット−軸位置決めシステムを含むことを特徴とする請求項11に記載の方法。
- レーザー出力パルスでのバイアドリリングの適用をなすことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- レーザー出力パルスでのレーザートリミングの適用をなすことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- レーザー出力パルスでワークピース上に有効切り口幅をレーザー加工する方法であって、各レーザーパルスがワークピース上に有効切り口幅より小さいレーザースポット直径をもって成るレーザー加工方法において、該加工方法は、
並進ステージ位置決めシステムから、レーザースポット位置のステージ−関連の相対的移動を並進ステージ−制限された速度と加速度でワークピースに与え、
高速位置決めシステムから、レーザースポット位置の高速相対的移動を高速−制限された速度と加速度でワークピースに与えることを含み、上記高速位置決めシステムは並進ステージ位置決めシステムより高い加速度能力をもち、更に該加工方法は、
第1セットの制限された速度と加速度でワークピースにレーザースポット位置の一次的相対的移動を与えるために、並進ステージ位置決めシステムと高速位置決めシステムを集積することを含み、一次的ビーム位置決めシステムはビーム位置決め経路をレーザーからワークピース上のレーザースポット位置へ提供し、一次的相対的移動は一次的加工進路を限定し、そして更に該加工方法は、
ビーム位置決め経路に沿って置かれた高速ステアリングミラーから、レーザースポット位置の二次的相対的移動を第1セットの速度と加速度より実質的に高い第2セットの速度と加速度でワークピースに与えることを含み、二次的相対的移動は一次的相対的移動上に重ねられているが、その一次的相対的移動とは集積されておらず、かつレーザースポット直径の約15倍より小さいか又はそれに等しい一次的加工進路に対して直角をなす或るパターン寸法をもつパターンを含み、上記一次的と二次的の相対的移動はパターン寸法プラススポット直径にほヾ等しい一次的加工進路に沿って有効切り口幅を提供するために協働すること含むことを特徴とする加工方法。 - 上記第2セットは 1,000 mm/sec より大きい速度と、1,000 G より大きい加速度を含むことを特徴とする請求項15に記載の方法。
- 上記第2セットは 1,000 乃至 4,000 mm/secの速度と、1,000乃至 30,000 G の加速度を含むことを特徴とする請求項16に記載の方法。
- 高速−制限された速度と加速度は 500 mm/sec より小さい速度と、 500 G より小さい加速度を含むことを特徴とする請求項15に記載の方法。
- 高速ステアリングミラーはPMN又はPZT作動ミラーを含むことを特徴とする請求項15に記載の方法。
- 高速位置決め器は少なくとも1つの検流計−被動のミラーを含むことを特徴とする請求項15に記載の方法。
- 一次的位置決めシステムはスプリット−軸位置決めシステムを含むことを特徴とする請求項15に記載の方法。
- レーザー出力パルスでのバイアドリリングの適用をなすことを特徴とする更に含むことを特徴とする請求項15に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US34861302P | 2002-01-11 | 2002-01-11 | |
PCT/US2003/000686 WO2003059568A1 (en) | 2002-01-11 | 2003-01-10 | Method for laser machining a workpiece with laser spot enlargement |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005532908A true JP2005532908A (ja) | 2005-11-04 |
JP2005532908A5 JP2005532908A5 (ja) | 2008-04-17 |
JP4340745B2 JP4340745B2 (ja) | 2009-10-07 |
Family
ID=23368777
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003559716A Expired - Lifetime JP4340745B2 (ja) | 2002-01-11 | 2003-01-10 | レーザースポットを拡大するワークピースのレーザー加工方法 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4340745B2 (ja) |
KR (1) | KR100982677B1 (ja) |
CN (1) | CN1299873C (ja) |
AU (1) | AU2003214818A1 (ja) |
CA (1) | CA2469520A1 (ja) |
DE (1) | DE10392185T5 (ja) |
GB (1) | GB2397545B (ja) |
TW (1) | TW564196B (ja) |
WO (1) | WO2003059568A1 (ja) |
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- 2003-01-10 CA CA002469520A patent/CA2469520A1/en not_active Abandoned
- 2003-01-10 JP JP2003559716A patent/JP4340745B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2003-01-10 DE DE10392185T patent/DE10392185T5/de not_active Ceased
- 2003-01-10 GB GB0412827A patent/GB2397545B/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-01-10 KR KR1020047010540A patent/KR100982677B1/ko active IP Right Grant
- 2003-01-10 AU AU2003214818A patent/AU2003214818A1/en not_active Abandoned
- 2003-01-10 CN CNB038019914A patent/CN1299873C/zh not_active Expired - Lifetime
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GB2397545A (en) | 2004-07-28 |
KR100982677B1 (ko) | 2010-09-17 |
WO2003059568A1 (en) | 2003-07-24 |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A524 | Written submission of copy of amendment under article 19 pct |
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A601 | Written request for extension of time |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120717 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120717 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130717 Year of fee payment: 4 |
|
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