JP2005520225A5 - - Google Patents

Claims (33)

1. 自動化された処理技術に関係する実験を管理するためのコンピュータ実行方法において、
   （Ａ）実験オーダーを受信するステップであって、前記実験オーダーは、自動化された環境において動作することができる基本プロセスからの少なくともある逸脱を含むステップと、
   （Ｂ）前記実験オーダーの承認を取得するステップと、
   （Ｃ）前記実験オーダーの少なくとも一部を、前記自動化された環境による実行のために適した処理データに変換し、格納するステップと、
   （Ｄ）前記実験を、前記処理データに従って、前記自動化された環境によって前記基本プロセスの少なくともある部分と共に実行させるステップと
   を備えることを特徴とする方法。
2. 前記取得するステップは、前記実験オーダーを定義するデータを格納するステップと、前記実験オーダーを複数のユーザに分配するステップと、前記実験オーダーへの変更を前記ユーザの少なくとも１人から取得するステップと、前記実験オーダーについての前記承認を少なくとも１人のユーザから受信するステップとをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
3. 文書を実験オーダーに添付するステップをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の方法。
4. 実験オーダーに添付された文書、または、前記実験オーダーの状態における変更に応答して、実験オーダーの状態変更を示す情報を発行するステップをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の方法。
5. 前記変換するステップは、前記処理データを受信するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
6. 前記実験は少なくとも１つのテスト製品および少なくとも１つの生産製品を生産し、
   前記処理データは、前記基本プロセスの指示、前記基本プロセスへの変更、およびコントロールセットの分割を含み、
   前記コントロールセットの分割は、前記基本プロセスに従って前記少なくとも１つの生産製品を生産し、前記基本プロセスへの変更は前記少なくとも１つのテスト製品を生産することを特徴とする請求項５に記載の方法。
7. 前記実験の前記実行の結果を受信し、格納するステップをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の方法。
8. 前記自動化された環境は半導体技術を形成することを特徴とする請求項１に記載の方法。
9. 自動化された処理技術に関係する実験を管理するためのコンピュータ実行システムであって、
   （Ａ）自動化された環境において動作することができる基本プロセスからの少なくともある逸脱を含む、実験オーダーと、
   （Ｂ）前記実験オーダーの受信に応答して得られた、前記実験オーダーの承認と、
   （Ｃ）前記実験オーダーの少なくとも一部から変換された、前記自動化された環境による実行のために適した処理データと
   を備え、
   （Ｄ）前記自動化された環境は、前記実験を、前記処理データに従って、前記自動化された環境によって前記基本プロセスの少なくともある部分と共に実行させる
   ことを特徴とするシステム。
10. 前記承認は、格納された前記実験オーダーを定義するデータ、複数のユーザへの前記実験オーダーの分配、前記ユーザの少なくとも１人から格納された前記実験オーダーへの変更、および、少なくとも１人のユーザから受信された前記実験オーダーについての承認をさらに含むことを特徴とする請求項９に記載のシステム。
11. 実験オーダーに添付された少なくとも１つの文書をさらに備えることを特徴とする請求項９に記載のシステム。
12. 実験オーダーに添付された文書、または、前記実験オーダーの状態における変更に応答して発行された、実験オーダーの状態変更を示す情報をさらに備えることを特徴とする請求項９に記載のシステム。
13. 前記処理データがユーザから受信されることを特徴とする請求項９に記載のシステム。
14. 前記実験は少なくとも１つのテスト製品および少なくとも１つの生産製品を生産し、
    前記処理データは、前記基本プロセスの指示、前記基本プロセスへの変更、およびコントロールセットの分割を含み、
    前記コントロールセットの分割は、前記基本プロセスに従った前記少なくとも１つの生産製品を生産し、前記基本プロセスへの変更は前記少なくとも１つのテスト製品を生産することを特徴とする請求項１３に記載のシステム。
15. 前記実験の前記実行の結果が受信され、格納されることを特徴とする請求項９に記載のシステム。
16. 前記自動化された環境は半導体技術を形成することを特徴とする請求項９に記載のシステム。
17. コンピュータによって実行される命令を備えるコンピュータ可読媒体であって、前記命令は、自動化された処理技術に関係する実験を管理するためのコンピュータ実行方法を含み、前記命令は、
    （Ａ）実験オーダーを受信するステップであって、前記実験オーダーは、自動化された環境において動作することができる基本プロセスからの少なくともある逸脱を含むステップと、
    （Ｂ）前記実験オーダーの承認を取得するステップと、
    （Ｃ）前記実験オーダーの少なくとも一部を、前記自動化された環境による実行のために適した処理データに変換し、格納するステップと、
    （Ｄ）前記実験を、前記処理データに従って、前記自動化された環境によって前記基本プロセスの少なくともある部分と共に実行させるステップとを実行するための命令であることを特徴とする媒体。
18. 取得するステップは、前記実験オーダーを定義するデータを格納するステップと、前記実験オーダーを複数のユーザに分配するステップと、前記実験オーダーへの変更を前記ユーザの少なくとも１人から取得するステップと、前記実験オーダーについての前記承認を少なくとも１人のユーザから受信するステップとをさらに含むことを特徴とする請求項１７に記載の媒体。
19. 前記コンピュータプログラムは、文書を実験オーダーに添付するステップをさらに備えることを特徴とする請求項１７に記載の媒体。
20. 前記コンピュータプログラムは、実験オーダーに添付された文書、または、前記実験オーダーの状態における変更に応答して、実験オーダーの状態変更を示す情報を発行するステップをさらに備えることを特徴とする請求項１７に記載の媒体。
21. 変換するステップは、前記処理データを受信するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１７に記載の媒体。
22. 前記実験は少なくとも１つのテスト製品および少なくとも１つの生産製品を生産し、
    前記処理データは、前記基本プロセスの指示、前記基本プロセスへの変更、およびコントロールセットの分割を含み、
    前記コントロールセットの分割は、前記基本プロセスに従った前記少なくとも１つの生産製品を生産し、前記基本プロセスへの変更は前記少なくとも１つのテスト製品を生産することを特徴とする請求項２１に記載の媒体。
23. 前記コンピュータプログラムは、前記実験の前記実行の結果を受信し、格納するステップをさらに備えることを特徴とする請求項１７に記載の媒体。
24. 前記自動化された環境は半導体技術を形成することを特徴とする請求項１７に記載の媒体。
25. 半導体技術に関係する実験を管理するためのコンピュータ実行方法であって、
    （Ａ）実験オーダーを受信するステップであって、前記実験オーダーは、自動化された環境において動作することができる基本プロセスからの少なくともある逸脱を含むステップと、
    （Ｂ）前記実験オーダーの承認を取得するステップと、
    （Ｃ）前記実験オーダーの少なくとも一部を、前記自動化された環境による実行のために適した処理データに変換し、格納するステップと、
    （Ｄ）前記実験を、前記処理データに従って、前記自動化された環境によって前記基本プロセスの少なくともある部分と共に実行させるステップとを備え、
    （Ｅ）取得するステップは、前記実験オーダーを定義するデータを格納するステップと、前記実験オーダーを複数のユーザに分配するステップと、前記実験オーダーへの変更を前記ユーザの少なくとも１人から取得するステップと、前記実験オーダーについての前記承認を少なくとも１人のユーザから受信するステップとをさらに含み、
    （Ｆ）前記実験は少なくとも１つのテスト製品および少なくとも１つの生産製品を生産し、前記処理データは、前記基本プロセスの指示、前記基本プロセスへの変更、およびコントロールセットの分割を含み、前記コントロールセットの分割は、前記基本プロセスに従った前記少なくとも１つの生産製品を生産し、前記基本プロセスへの変更は前記少なくとも１つのテスト製品を生産することを特徴とする方法。
26. 半導体技術に関係する実験を管理するためのコンピュータ実行システムであって、
    （Ａ）自動化された環境において動作することができる基本プロセスからの少なくともある逸脱を含む、実験オーダーと、
    （Ｂ）前記実験オーダーの受信に応答して得られた、前記実験オーダーの承認と、
    （Ｃ）前記実験オーダーの少なくとも一部から変換された、前記自動化された環境による実行のために適した処理データとを備え、
    （Ｄ）前記自動化された環境は、前記実験を、前記処理データに従って、前記自動化された環境によって前記基本プロセスの少なくともある部分と共に実行させ、
    （Ｅ）前記承認は、格納された前記実験オーダーを定義するデータ、複数のユーザへの前記実験オーダーの分配、前記ユーザの少なくとも１人から格納された前記実験オーダーへの変更、および、少なくとも１人のユーザから受信された前記実験オーダーについての承認をさらに含み、
    （Ｆ）前記実験は少なくとも１つのテスト製品および少なくとも１つの生産製品を生産し、前記処理データは、前記基本プロセスの指示、前記基本プロセスへの変更、およびコントロールセットの分割を含み、前記コントロールセットの分割は、前記基本プロセスに従った前記少なくとも１つの生産製品を生産し、前記基本プロセスへの変更は前記少なくとも１つのテスト製品を生産することを特徴とするシステム。
27. コンピュータによって実行される命令を備えるコンピュータ可読媒体であって、前記命令は、自動化された処理技術に関係する実験を管理するためのコンピュータ実行方法を含み、前記命令は、
    （Ａ）実験オーダーを受信するステップであって、前記実験オーダーは、自動化された環境において動作することができる基本プロセスからの少なくともある逸脱を含むステップと、
    （Ｂ）前記実験オーダーの承認を取得するステップと、
    （Ｃ）前記実験オーダーの少なくとも一部を、前記自動化された環境による実行のために適した処理データに変換し、格納するステップと、
    （Ｄ）前記実験を、前記処理データに従って、前記自動化された環境によって前記基本プロセスの少なくともある部分と共に実行させるステップとを実行するための命令であり、
    （Ｅ）取得するステップは、前記実験オーダーを定義するデータを格納するステップと、前記実験オーダーを複数のユーザに分配するステップと、前記実験オーダーへの変更を前記ユーザの少なくとも１人から取得するステップと、前記実験オーダーについての前記承認を少なくとも１人のユーザから受信するステップとをさらに含み、
    （Ｆ）前記実験は少なくとも１つのテスト製品および少なくとも１つの生産製品を生産し、前記処理データは、前記基本プロセスの指示、前記基本プロセスへの変更、およびコントロールセットの分割を含み、前記コントロールセットの分割は、前記基本プロセスに従った前記少なくとも１つの生産製品を生産し、前記基本プロセスへの変更は前記少なくとも１つのテスト製品を生産することを特徴とする媒体。
28. コンピュータによって実行される命令を備えるコンピュータ可読媒体であって、前記命令は、自動化された処理技術に関係する実験を管理するためのコンピュータ実行方法を含み、前記命令は、
    （Ａ）実験オーダーを受信するステップであって、前記実験オーダーは、自動化された環境において動作することができる基本プロセスからの少なくともある逸脱を含むステップと、
    （Ｂ）前記実験オーダーの承認を取得するステップと、
    （Ｃ）前記実験オーダーの少なくとも一部を、前記自動化された環境による実行のために適した処理データに変換し、格納するステップと、
    （Ｄ）前記実験を、前記処理データに従って、前記自動化された環境によって前記基本プロセスの少なくともある部分と共に実行させるステップとを有することを特徴とするコンピュータ可読媒体。
29. 請求項１に記載の方法において、前記処理データは少なくとも、前記基本プロセスそれ自身に対する変更、前記基本プロセスに対する付加および前記基本プロセスからの脱落の中の１つに関連することを特徴とする方法。
30. 請求項９に記載のシステムにおいて、前記処理データは少なくとも、前記基本プロセスそれ自身に対する変更、前記基本プロセスに対する付加および前記基本プロセスからの脱落の中の１つに関連することを特徴とするシステム。
31. 請求項１７に記載の媒体において、前記処理データは少なくとも、前記基本プロセスそれ自身に対する変更、前記基本プロセスに対する付加および前記基本プロセスからの脱落の中の１つに関連することを特徴とする媒体。
32. 自動化された処理技術に関係する実験を管理するためのコンピュータ実行方法において、
    （Ａ）実験オーダーを受信するステップであって、前記実験オーダーは、自動化された環境において動作することができる基本プロセスからの少なくともある逸脱を含むステップと、
    （Ｂ）前記実験オーダーの少なくとも一部を、前記自動化された環境による実行のために適した処理データに変換し、格納するステップと、
    （Ｃ）前記実験を、前記処理データに従って、前記自動化された環境によって前記基本プロセスの少なくともある部分と共に実行させるステップとを有することを特徴とする方法。
33. 請求項３２に記載の方法において、前記実験オーダーに添付された文書または前記実験オーダーの状態の変更に応答して、前記実験オーダーの変更状態を示す情報を発行するステップを更に備えたことを特徴とする方法。