JP2005520142A5

JP2005520142A5 -

Info

Publication number: JP2005520142A5
Application number: JP2003576887A
Authority: JP
Filing date: 2003-03-19
Publication date: 2005-08-18

Claims

投影格子（２）を通して物体（１）に光（３）を当て、
上記物体（１）により反射した光（４）がセンサ（５）に記録され、該センサ（５）に撮影された画像が測定される、物体の絶対座標測定方法であって、
上記投影格子（２）は、第１の格子ベクトル（Ｇ₁）を有する第１の格子と、上記第１の格子ベクトルとは異なる第２の格子ベクトル（Ｇ₂）を有する第２の格子とを備えており、
上記センサ（５）は、上記第１および第２の格子から上記センサ（５）に達する基底ベクトル（ｂ）の該基底ベクトルに対応する上記両格子ベクトル（Ｇ₁，Ｇ₂）上への射影（ｂ_x，ｂ_y）の大きさが異なるように、上記投影格子（２）から距離（ｂ）を置いて配置されることを特徴とする方法。
上記センサ（５）と上記第１および第２の格子との間の距離（ｂ）は、上記物体（１）または上記物体の本質的な領域または上記物体の不連続部分が低感度側で測定される格子の１周期によって覆われるように選択されることを特徴とする請求項１記載の方法。
上記センサ（５）と上記第１および第２の格子との間の距離（ｂ）は、高感度側で測定される格子の測定が適切な測定精度または最大限の測定精度で行われるように選択されることを特徴とする請求項１または２記載の方法。
上記センサ（５）と上記第１および第２の格子との間の距離（ｂ）は、上記物体（１）または上記物体の本質的な領域または上記物体の不連続部分が上記第１の格子の第１の数の周期および上記第２の格子の上記第１の数とは異なる第２の数の周期によって覆われるように選択されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の方法。
上記第１の数と上記第２の数は互いに素であることを特徴とする請求項４記載の方法。
上記第１の数の上記第２の数に対する比は、非再帰的な数に相当することを特徴とする請求項４または５記載の方法。
上記センサ（５）と上記第１および第２の格子との間の距離（ｂ）は、低感度側で測定される格子および／または高感度側で測定される格子の１周期が上記センサ（５）上の４個の画素を覆うように選択されることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１つに記載の方法。
上記格子ベクトル（Ｇ₁，Ｇ₂）は、互いに直角に配置されることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１つに記載の方法。
上記第１および第２の格子は、１個の交差格子によって形成されることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１つに記載の方法。
上記第１および第２の格子は別体であることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１つに記載の方法。
複数のセンサ、好ましくは２個のセンサ（１０，１１，１２；１３，１４）が設けられることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれか１つに記載の方法。
複数の投影格子（８，９）が設けられることを特徴とする請求項１ないし１１のいずれか１つに記載の方法。
上記センサによって作成された画像が位相シフトによって測定されることを特徴とする請求項１ないし１２のいずれか１つに記載の方法。
色付きの投影格子が使用されることを特徴とする請求項１ないし１３のいずれか１つに記載の方法。
上記投影格子を回転させることを特徴とする請求項１ないし１４のいずれか１つに記載の方法。
複数の画像が作成されることを特徴とする請求項１ないし１５のいずれか１つに記載の方法。
物体（１）上に投影格子（２）を投影させる投影光学系と、
上記物体（１）が反射した光を記録するセンサ（５）を有するセンサ光学系とを備えた、物体の絶対座標測定装置であって、
上記投影格子（２）は、第１の格子ベクトル（Ｇ₁）を有する第１の格子と、上記第１の格子ベクトルとは異なる第２の格子ベクトル（Ｇ₂）を有する第２の格子とを備えており、
上記センサ（５）は、上記第１および第２の格子から上記センサ（５）に達する基底ベクトル（ｂ）の該基底ベクトルに対応する上記両格子ベクトル（Ｇ₁，Ｇ₂）上への射影（ｂ_x，ｂ_y）の大きさが異なるように、上記投影格子（２）から距離（ｂ）を置いて配置されていることを特徴とする装置。
上記センサ（５）と上記第１および第２の格子との間の距離（ｂ）は、上記物体（１）または上記物体の本質的な領域または上記物体の不連続部分が低感度側で測定される格子の１周期によって覆われるように選択されていることを特徴とする請求項１７記載の装置。
上記センサ（５）と上記第１および第２の格子との間の距離（ｂ）は、高感度側で測定される格子の測定が適切な測定精度または最大限の測定精度で行われるように選択されていることを特徴とする請求項１７または１８記載の装置。
上記センサ（５）と上記第１および第２の格子との間の距離（ｂ）は、上記物体（１）または上記物体の本質的な領域または上記物体の不連続部分が上記第１の格子の第１の数の周期および上記第２の格子の上記第１の数とは異なる第２の数の周期によって覆われるように選択されていることを特徴とする請求項１７ないし１９のいずれか１つに記載の装置。
上記第１の数と上記第２の数は互いに素であることを特徴とする請求項２０記載の装置。
上記第１の数の上記第２の数に対する比は、非再帰的な数に相当することを特徴とする請求項２０または２１記載の装置。
上記センサ（５）と上記第１および第２の格子との間の距離（ｂ）は、低感度側で測定される格子および／または高感度側で測定される格子の１周期が上記センサ（５）上の４個の画素を覆うように選択されていることを特徴とする請求項１７ないし２２のいずれか１つに記載の装置。
上記格子ベクトル（Ｇ ₁ ，Ｇ ₂ ）は、互いに直角に配置されていることを特徴とする請求項１７ないし２３のいずれか１つに記載の装置。
上記第１および第２の格子は、１個の交差格子によって形成されていることを特徴とする請求項１７ないし２４のいずれか１つに記載の装置。
上記第１および第２の格子は別体であることを特徴とする請求項１７ないし２４のいずれか１つに記載の装置。
複数のセンサ（１０，１１，１２；１３，１４）が設けられていることを特徴とする請求項１７ないし２６のいずれか１つに記載の装置。
複数の投影格子（８，９）が設けられていることを特徴とする請求項１７ないし２７のいずれか１つに記載の装置。
上記センサによって作成された画像を位相シフトによって測定するように構成されていることを特徴とする請求項１７ないし２８のいずれか１つに記載の装置。
上記投影格子は、色付きの投影格子よりなることを特徴とする請求項１７ないし２９のいずれか１つに記載の装置。
上記投影格子は回転可能に構成されていることを特徴とする請求項１７ないし３０のいずれか１つに記載の装置。
２個のセンサ（１３，１４）が設けられていることを特徴とする請求項２５記載の装置。