JP2007024889A5 -

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レンズ系の光学的伝達関数（ＯＴＦ）を決定する方法であって、
複数の離散的な方向をもつ、複数の重畳した正弦波形状パターンを有し、かつ、複数の階調を持ち、各測定位置で１つのテストパターンを有するテストチャートを、前記レンズ系を備えた装置を用いて撮像して撮像テストパターンを生成するステップと、
前記撮像テストパターンの少なくとも１つの特性を前記テストチャートの前記テストパターンの対応する特性と比較して前記レンズ系の前記光学的伝達関数（ＯＴＦ）を決定するステップと、
を含むことを特徴とする方法。
前記複数の正弦波形状パターンは複数の離散的な空間周波数を持つことを特徴とする請求項１記載の方法。
前記正弦波形状パターンのそれぞれの振幅は前記テストチャートを形成するときに独立して調整されることを特徴とする請求項１記載の方法。
前記特性が測定される前記レンズ系の領域に対応する前記テストチャートの領域を前記テストパターンが埋めていることを特徴とする請求項１記載の方法。
前記決定するステップが前記撮像テストパターンの離散フーリエ変換を含むことを特徴とする請求項１記載の方法。