JP5006589B2 - 光学的伝達関数の測定方法及び測定装置並びにテストチャート - Google Patents
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- レンズ系の光学的伝達関数の測定方法であって、
複数の空間周波数の正弦波を複数の方向に重畳させたテストパターンを有するテストチャートを、前記レンズ系を用いて撮像して撮像テストパターンを生成するステップと、
前記撮像テストパターンの少なくとも1つの特性を前記テストパターンの対応する特性と比較して前記レンズ系の前記光学的伝達関数を決定するステップと、
を含むことを特徴とする光学的伝達関数の測定方法。 - 前記複数の空間周波数の正弦波のそれぞれの振幅は独立して調整されることを特徴とする請求項1に記載の光学的伝達関数の測定方法。
- 前記光学的伝達関数を決定するステップが前記撮像テストパターンの離散フーリエ変換を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の光学的伝達関数の測定方法。
- レンズ系の光学的伝達関数の測定装置であって、
複数の空間周波数の正弦波を複数の方向に重畳させたテストパターンを有するテストチャートと、
前記レンズ系を用いて前記テストチャートを撮像して撮像テストパターンを生成する撮像手段と、
前記撮像テストパターンの少なくとも1つの特性を前記テストパターンの対応する特性と比較して前記レンズ系の前記光学的伝達関数を決定する演算手段と、
を有することを特徴とする光学的伝達関数の測定装置。 - レンズ系の光学的伝達関数の測定に用いられるテストチャートであって、複数の空間周波数の正弦波を複数の方向に重畳させたテストパターンを有することを特徴とするテストチャート。
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