JP2005504625A

JP2005504625A - 交換可能なフィルタを有するフィルタ要素およびフィルタ装置

Info

Publication number: JP2005504625A
Application number: JP2003532165A
Authority: JP
Inventors: 和徳須藤; 芳城野村
Original assignee: マイクロリス・コーポレイシヨン
Priority date: 2001-10-01
Filing date: 2002-09-26
Publication date: 2005-02-17
Also published as: CN1561253A; WO2003028845A1; KR20040045038A; EP1436063A1; CN100333818C; EP1436063A4; US7087166B1; US20060231475A1

Abstract

フィルタ装置３２が本明細書で開示されている。フィルタ装置３２は、同じまたは異なる材料製の上流側フィルタ３４および下流側フィルタ３６を備える。フィルタ３４、３６は、同軸に配置され、ハウジング７０内に設置されている。下流側フィルタ３６は、下流側フィルタ３６が汚染されていないときに、上流側フィルタ３４のみを新しいものと交換することができるように、ハウジング７０と、および上流側フィルタ３４と解放可能に固定されている。

Description

【技術分野】
【０００１】
本出願は、「ＦｉｌｔｅｒＥｌｅｍｅｎｔＡｎｄＦｉｌｔｅｒＤｅｖｉｃｅＨａｖｉｎｇＲｅｐｌａｃｅａｂｌｅＦｉｌｔｅｒ」という題名の２００１年１０月１日に提出された米国特許出願番号０９／９６８，２２５号の利益を請求する。本出願は、出願者番号２００１００２８７（以前は（ｆｏｒｍｅｒｌｙ）ＭＹＫＰ−６１５）の下で、２００１年７月１７日に提出された同時係属の特願（ＪａｐａｎｅｓｅＳｅｒｉａｌＮｏ）２００１−２１６４５２に関連する。
【０００２】
本発明は、液体および気体を濾過するのに適したフィルタカートリッジに関する。より具体的には、本発明は、電子部品用の基板（たとえば、半導体ウェハおよび液晶デバイス用のガラス基板）上で使用されるアミンタイプの有機剥離剤、液晶デバイスのガラス基板用のペースト顔料フォトレジスト、化学的および機械的剥離デバイス用のスラリー、および一般的な産業で使用されるその他の液体などの大量の様々な異質の物質を含む液体物質を濾過するためのフィルタカートリッジに関する。
【背景技術】
【０００３】
気体および液体を濾過するために通常使用される２つの異なる特定の基本カートリッジは、深さフィルタ（代表的にはロールタイプのフィルタ）およびメンブレンフィルタ（通常プリーツフィルタ）である。今日、それぞれ別個のハウジング内に収容されたロールタイプの深さフィルタおよびメンブレンフィルタが、所望の清浄度レベルを得るためにともに使用されている。特開平７−２１３８１４では、ロール状のまたは継ぎ目のない繊維円筒のいずれかの形態の不織繊維の塊を含む深さフィルタと、深さフィルタとともに同じハウジング内に収容することができるプリーツスクリーンフィルタまたは表面フィルタとを備えるフィルタ本体を有する、フィルタカートリッジが提案されている。しかし、スループットの増加および金属イオンの除去などの特定の特性を得ることができるフィルタの組合せに対する要望がまだある。フィルタを、互いに結合することができるユニットとしてそれぞれ別個に提供することによって、製造コストもまた低減することができる。
【０００４】
図１および２は、特開平７−２１３８１４で開示された従来型のフィルタカートリッジを示している。カートリッジ１０は、ロール状のまたは継ぎ目のない繊維円筒の形態の、露出した外側表面１２を有する深さフィルタ１６と、深さフィルタ内に同心状に配置されたプリーツ表面フィルタまたはスクリーンフィルタ１８と、表面フィルタ１８の内部表面を支持すると同時に流体通路としていくつかの孔２３を有するコア２０と、濾過流体（液体または気体）をコア２０から引き出すための流体排出口１４とを有する。深さフィルタ１６の上端部と表面フィルタ１８の上端部は、密封されている。フィルタカートリッジ１０の上端部は、キャップ１９で完全に密封されている。フィルタカートリッジ１０は、その使用の際、フィルタ装置のハウジング２１内に挿入され、流体排出口１４の周囲に設けられたねじ手段および／またはＯリングを介してハウジングの壁面に液密に固定される。
【０００５】
浄化される流体（液体または気体）が、ハウジング２１とカートリッジ１０の間に導入され、流体が、外側表面１２から深さフィルタ１６の内側に向かって通過し、次に表面フィルタ１８を通過する。浄化された流体は、コア２０の孔２３を通って中央通路へ流出し、流体排出口１４から濾過流体として引き出される。
【０００６】
２つの異なるフィルタが使用される上述の場合では、浄化のレベルを向上し、フィルタの寿命を延長するために、上流側に配置されたフィルタは、比較的大きな孔径を有するが、下流側に配置されたフィルタは、比較的小さな孔径を有する。
【０００７】
しかし、上述の２つのフィルタは、単一のフィルタ要素であるように一体に形成されており、様々な目的を満たす考えられる様々なフィルタの組合せを準備しなければならないという不利点を有する。また、上流側フィルタは、下流側フィルタと比べてより速く汚染され、したがって、下流側フィルタが汚染されていないときでさえも、上流側フィルタのより短い寿命のため、フィルタ要素をそれ以上使用できなくなる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
したがって、本発明の目的は、上流側フィルタユニットと下流側フィルタユニットを備えるフィルタカートリッジであって、カートリッジを形成するために、上流側フィルタが下流側フィルタとハウジングの間に位置するように両ユニットを互いに結合することができ、金属イオンの除去などの目的に応じて組合せを適切に選択可能で、フィルタ寿命を延長することができるフィルタカートリッジを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、上流側フィルタと下流側フィルタの組合せを備えるフィルタ要素であって、上流側フィルタが交換可能であるフィルタ要素を提供する。結果として、所要の浄化レベルを得ながら下流側フィルタの寿命が延長される。また、従来型のフィルタの場合の濾過量と同じ濾過量を得るために必要なフィルタ数が、より少ない。
【００１０】
本発明はまた、上流側フィルタと下流側フィルタを備えるフィルタ要素であって、そのそれぞれが、様々な用途で使用されることを予想された、様々なフィルタのストックから特定の目的に応じて適切に選択されるフィルタ要素を提供する。上流側フィルタは、交換可能であるべきであるが、必要に応じて使い捨て可能なフィルタ装置の一部として一体に形成されてもよい。
【００１１】
具体的に言うと、本発明は、上流側フィルタと下流側フィルタを備えるフィルタ要素であって、前記下流側フィルタが、ハウジングに固定するための手段を有し、前記上流側フィルタが、前記ハウジングに固定された前記下流側フィルタに固定可能であるフィルタ要素と、前記ハウジングに固定された前記フィルタ要素を含むフィルタ装置とを提供する。
【００１２】
一実施形態では、下流側フィルタは、第１のねじ部品を有し、前記ハウジングは、前記第１のねじ部品と係合された第２のねじ部品を有する。
【００１３】
別の実施形態では、下流側フィルタはハウジングと一体に形成される。
【００１４】
さらに別の実施形態では、上流側フィルタは、固定具を介して下流側フィルタに固定される。
【００１５】
好ましくは、上流側フィルタおよび下流側フィルタは、円筒の形態であり、一方が他方の中に入るように配置されている。
【００１６】
上流側フィルタおよび下流側フィルタは、プリーツタイプ、ロールタイプまたは不織繊維の塊を含む継ぎ目のない繊維円筒タイプの深さフィルタと、多孔質フォーム、中空繊維またはプリーツメンブレンフィルタとから成るグループから選択された同じまたは異なるフィルタ膜を有してもよい。ロールタイプのフィルタは、互いに巻き付けられた様々な種類のフィルタ本体を備えてもよい。また、ロールタイプのフィルタは、密度勾配を有してもよい。
【００１７】
上流側フィルタは、部材が下流側フィルタとして選択される組とは異なるフィルタの組から選択された部材であってもよい。
【００１８】
本発明はまた、上述のフィルタ要素を含むフィルタ装置を提供する。
【００１９】
上流側フィルタは、内側から順番に、樹脂製の多孔質の内側支持円筒（コア）と、コアの周囲に巻かれたシートの形態のフィルタ本体とを備える。必要に応じて、上流側フィルタは、フィルタ本体を取り囲む樹脂製の外側支持円筒（スリーブ）または別法として樹脂ネットを備える。上流側フィルタの上縁部および下縁部は、樹脂キャップで密封されている。
【００２０】
他方、下流側フィルタは、内側から順番に、多孔質の内側支持円筒（コア）と、コアを取り囲むフィルタ本体と、フィルタ本体の外側表面を支持している多孔質の外側支持円筒（スリーブ）または別法としてネットとを備える。下流側フィルタの上縁部および底縁部は、樹脂キャップで密封されている。
【００２１】
フィルタ本体を備えるフィルタの組合せは、目的に応じて適切に選択することができる。上流側フィルタは、プリーツタイプ、ロールタイプまたは不織繊維の塊を含む継ぎ目のない繊維円筒タイプの深さフィルタと、多孔質フォーム、中空繊維またはプリーツメンブレンフィルタとを備えるフィルタ本体を有する。上流側フィルタは、ハウジング内の下流側フィルタの上流側に位置しており、下流側カートリッジと機械的に結合されなくてもよいが、上流側フィルタの両端が、下流側カートリッジと機械的にかつ液密に結合することができる構造を有するキャップで密封されることが好ましい。
【００２２】
下流側フィルタは、プリーツタイプ、ロールタイプまたは不織繊維の塊を含む継ぎ目のない繊維円筒タイプの深さフィルタと、多孔質フォーム、中空繊維またはプリーツメンブレンフィルタとを備えるフィルタ本体を有するフィルタカートリッジである。下流側のフィルタの一方の端部は、キャップで密封されるが、他方の端部は、流体取入口または流体排出口を有するキャップで密封される。キャップのそれぞれは、ツイストロック、Ｏリング、および／またはねじを介して上流側フィルタと結合されてもよい。しかし、必ずしも結合されなくてもよい。
【００２３】
上流側フィルタおよび下流側フィルタ用に使用されるフィルタ本体のための材料は、当技術分野で知られているものから選択することができる。例には、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）、ＵＨＭＷＰＥ（超高分子量ポリエチレン）、ＰＥ（ポリエチレン）、ＨＤＰＥ（高密度ポリエチレン）、ＰＥＳ（ポリエーテルスルホン）、ナイロン、ポリエステル、ＰＶＤＦ（フッ化ポリビニリデン）、セルロースおよびＳＵＳ（ステンレス鋼）が含まれる。上流側フィルタおよび下流側フィルタの内側および外側支持円筒は、剛性の樹脂製である。支持円筒の代わりにネットが使用されるときも、同じ材料製にすることができる。上部および底部キャップは、使用される位置に応じてリングまたはディスクの形態であってもよい。これらは、内側および外側円筒（またはネットの一部）およびフィルタ本体から成る層状構造の上縁部および下縁部と熱によって融着される。キャップ用の材料もまた、当技術分野で知られているものから選択される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明を以下で詳細に説明する。「フィルタ要素」という用語は、上流側フィルタと下流側フィルタの組合せを意味している。「フィルタ装置」という用語は、使用可能な装置を形成するためにフィルタ要素がハウジング内に設置されている装置を意味している。「上流側」という用語は、浄化される気体または液体の流れ（供給流）に対する相対的な位置を意味している。以下で説明するように、目的のために必要な清浄度に応じて、供給流の一部を下流側フィルタ内に直接導くことができる。
【実施例１】
【００２５】
図３〜６は、本発明の実施例１によるフィルタ要素およびフィルタ装置を図示している。図の説明では、「上部」および「底部」は、簡便のために使用されており、軸線は、水平方向などの任意の方向に設定することができる。
【００２６】
図３は、本発明のフィルタ要素３０（図６参照）がその中に設置されている本発明のフィルタ装置３２を示している。図４は、上流側フィルタ３４の透視図を示しており、図５は、下流側フィルタ３６の透視図を示しており、図６は、上流側フィルタ３４が下流側フィルタ３６内に一部挿入されたフィルタ要素を示している。
【００２７】
図３および４を参照すると、上流側フィルタ３４は、不織繊維の塊を含むプリーツタイプ、ロールタイプ、または継ぎ目のない繊維円筒タイプの深さフィルタと、多孔質フォーム、中空繊維またはプリーツメンブレンフィルタを備えるフィルタ本体３８を有する。これらのフィルタ本体タイプはすべて、当技術分野で知られており、その説明は、たとえば上述の参考文献で見出すことができる。上流側フィルタ３４は、ハウジング内の下流側フィルタの上流側に配置されており、下流側フィルタと液密に結合されてはいない（すなわち、少量の流れを許すバイパス流が生じる）、またはより高い清浄度が必要とされる場合、下流側フィルタ３６と液密に結合することができる（すなわち、下流側フィルタへのバイパス流はない）。前者を示す図では、フィルタ本体３８の上端部が、樹脂製の環状のキャップ４４で密封されており、底端部が、樹脂製の環状キャップ４２で密封されている。キャップ４２の内部表面は、上流側フィルタ３４を下流側フィルタ３６と固定するために直径方向反対側の位置に２つの突起４６を有する。下流側フィルタ３６への供給流のバイパス流を遮蔽することが必要な場合、キャップ４２および４４の上端部および底端部は、Ｏリングを使用して密封される。
【００２８】
円筒の形状のフィルタ本体３８の内側および／または外側に沿って、剛性の樹脂製の多孔質の支持円筒または円筒群を配置することができ、上端部および底端部は、キャップ４２および４４とそれぞれ一体に結合することができる。図は、上流側フィルタの内側に配置された薄肉の支持円筒４３を含んでいる。
【００２９】
図３から５を参照すると、下流側フィルタ３６は、プリーツタイプ、ロールタイプまたは不織繊維の塊を含む継ぎ目のない繊維円筒タイプの深さフィルタと、多孔質フォーム、中空繊維またはプリーツメンブレンフィルタとを備えるフィルタ本体４８を有するフィルタカートリッジである。その上端部は、環状のキャップ５２で密封され、底端部は、キャップ５０で密封されている。キャップのそれぞれは、ツイストロック、Ｏリング、および／またはねじを用いて上流側フィルタと結合することができる。しかし、清浄度の必要度に応じて、フィルタを互いに機械的に結合せず、上流側フィルタ３４が単に下流側フィルタ３６をカバーすることもできる。内側と外側の間にフィルタ本体４８の少なくとも内側に沿って、いくつかの循環孔５６を有する剛性の支持円筒が、設けられている。この実施形態では、フィルタ本体４８の両面に沿って、剛性の外側支持円筒５４および剛性の内側支持円筒６２が設けられ、円筒の上端部および底端部は、キャップ５２および５０と、それぞれ一体に結合されている。キャップ５２上に、濾過流排出口６０が、下流側フィルタをハウジング７０に、気密または液密に固定するためのＯリングを有して形成されている。排出口は、内側支持円筒６２の内側面と接続されている。
【００３０】
キャップ５０の円周は、２つのツイストロック溝５８を有し、そのそれぞれが、上流側フィルタ３４の突起４６を収容している。ツイストロック溝のそれぞれの導入部分は、突起４６を軸方向に受ける広い開口部を有し、その開口部に連結してロッキング溝６４が形成され、上流側フィルタが回転されるとロッキング溝が突起４６をロックする。図６では、内側の下流側フィルタ３６は、外側の上流側フィルタ３４への挿入の途中である。これら２つのフィルタは、フィルタ要素３０を構成している。これらは、所定の位置に設置され、上流側フィルタ３４の突起４６が、下流側フィルタ３６のツイストロック溝５８内に挿入され、上流側フィルタ３４が回転されると、それによって突起４６がロッキング溝６４と係合する。図３は、両フィルタが所定の位置で結合されている状態を示している。初期設置を除いて、上流側フィルタ３４および下流側フィルタ３６は、濾過の作業場所で新しいものと交換される。上流側フィルタ３４が、下流側フィルタ３６と比べて、より頻繁に交換される傾向がある。
【００３１】
図７および８は、上流側フィルタ３４および下流側フィルタ３６の一実施形態を示している。この実施形態では、上流側フィルタ３４は、内側から順番に、孔群４５を有する内側支持円筒４３と、内側支持円筒４３の周囲に巻かれた精細な孔群を有するロールタイプのフィルタ本体３８とを備える。下流側フィルタ３６は、内側から順番に、孔群５６を有する内側支持円筒６２と、内側支持円筒６２を取り囲むプリーツタイプのフィルタ本体４８と、プリーツタイプのフィルタ本体４８の外側表面を支持している、孔群５５を有する外側支持円筒５４とを備える。フィルタ本体の様々な構造が、目的に応じて適切に選択される。
【００３２】
図３に示すように、ハウジング７０は、その上端部が開いており、その下端部が排液口８０を除いて閉じているハウジングボウル７１を備える。ハウジングの上端部は、Ｏリングを介してハウジングヘッド７４の丸い壁と気密にまたは液密に係合される。ハウジングヘッド７４の丸い壁の外側表面は、外側ねじ山を有し、それに、固定リング７２の内側ねじ山が係合される。固定リングが緩められて、ハウジングボウル７１が取り外されるとき、上流側フィルタ３４および下流側フィルタ３６は、新しいものと交換するためにアクセス可能になる。
【００３３】
図３を参照すると、供給流は、ハウジングヘッド７４の取入口７６から上流側フィルタ３４とハウジングボウル７１の間の空間へ流れ、その後、フィルタ本体３８を通過する。供給流の濾過されない部分は、ハウジングボウル７１の底部へ流れ、排液流として排液口８０から排出される。この場合、供給流の一部が、バイパスされて、下流側フィルタ３４の周囲を直接流れる。このことは目的によっては許容可能である。必要に応じて、上述したように、バイパスの形成を防止するために、Ｏリングを、環状のキャップ４４と５２の間、および環状のキャップ４２と５０の間に配置することができる。フィルタ本体３８を通過した半濾過流は、次に、下流側フィルタ３６のフィルタ本体４８を通過して、さらに浄化される。濾過流は、内側の多孔質の支持円筒６２内へ流入し、ハウジングヘッド７４の濾過流排出口７８から出る。下流側フィルタ３４の目詰まりは起こりにくいが、上流側フィルタ３６の目詰まりは起こりやすい。このため、上流側フィルタ３４の目詰まりを監視しながら濾過流の流速が測定され、上流側フィルタ３４が詰まったと見なされると、流れが停止され、ハウジングボウル７１が取り外されて、上流側フィルタが新しいものと交換される。フィルタの交換を容易にするために、ハウジング７０およびハウジングヘッド７４はＯリングを介して互いに係合されて、固定リング７２の内側ねじ山が、ハウジングヘッド７４の外側ねじ山にねじ込まれ、それによって、固定リングの反対側端部に、ハウジングをハウジングヘッド７４の縁部に押圧する。
【００３４】
本実施形態のフィルタ要素およびフィルタ装置を使用して実験が行われた。上流側フィルタのフィルタ本体として、フィルム厚３８０μｍ、重さ１１０ｇ／ｍ^２および通気性０．３６ｓｅｃのＰＰ（ポリプロピレン）製の不織シートを巻くことによって得られた５層のロールフィルタが使用され、下流側フィルタのフィルタ本体として、０．０５μｍのＵＨＭＷＰＥ（超高分子量ポリエチレン）製の膜が使用されているＭｉｃｒｏｇａｒｄＰｌｕｓ（１０インチ、孔径０．０５μｍ、ＭｙｋｒｏｌｉｓＣｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ製）が使用されている。試験流体として、５００ｐｐｍのＡＣファインテストダストを含む水が使用された、濾過は、５５ｋＰａの圧力差で行われた。目詰まりによる上流側フィルタの濾過性能の低下が測定され、目詰まりの直前に操作が停止された。上流側フィルタが新しいものと交換され、操作が再開された。結果を図９に示す。濾過は、３回の交換および４回の８分間操作で行われた。濾過流の全体量は、１つのフィルタのみを使用したときの３．５倍の量であった。従来型の使い捨てのフィルタ要素が使用され、濾過が４回行われたとき、４つのフィルタ要素が必要である。すなわち、濾過される量は、１つのフィルタでの量の４倍であることになる。したがって、濾過が４回行われるとき、本発明のフィルタ要素は、従来型のフィルタ要素使用の濾過量の約８７％（３．５回／４回）を得ることができるが、下流側フィルタの数に関しては、従来型のフィルタの２５％しか必要ない（１つの下流側フィルタ／４つのフィルタ要素）。フィルタ本体として高価な精細膜が使用される下流側フィルタの場合、特に、本発明は効果的である。
【００３５】
また、本発明は、様々な種類の上流側フィルタ３４および下流側フィルタ３６を用意してそれらを組み合わせることによって、目的に応じて様々なフィルタ要素を得ることができるという利点を有する。本発明の範囲内で様々な修正を行うことができる。本発明の実施形態では、上流側フィルタ３４が、下流側フィルタ３６の外側に配置されている。しかし、流れの経路を適切に変更することによって修正を行うことができる。下流側フィルタを、上流側フィルタの外側に配置することもできる。
【００３６】
本発明の実施形態では、下流側フィルタをハウジングに固定するために、Ｏリングが下流側フィルタ３６の排出口６０上に設けられている。しかし、Ｏリングのみを使用して下流側フィルタを接続することができる。この場合、これは単に締まり嵌めである。状況に応じて、下流側フィルタを、ハウジングと一体に形成することができる。この場合、下流側フィルタは使い捨て可能である。
【００３７】
さらに、ある実施形態では、上流側フィルタが、下流側フィルタと緩く接続され、少量であるが下流側フィルタへのバイパス流が生じることがある。バイパス流を遮蔽するために、上流側フィルタ３４の底端部を密封するために、環状のキャップ４２の代わりにディスク形状のキャップを使用することができる。またはＯリングを、上述したようにキャップ４２および４４の周囲に配置することができ、したがって、キャップ４２と５０の間、およびキャップ４４と５２の間の空間が密封的に閉鎖される。別の修正された実施形態では、複数の上流側フィルタから成るグループと、複数の下流側フィルタから成るグループが用意され、上流側フィルタと下流側フィルタの組合せを、目的に応じて適切に選択することができる。両フィルタは、同じ密封キャップに固定することができる。この場合、上流側フィルタは交換することができず、使い捨て可能なタイプである。しかし、本発明のフィルタ要素を構成している上流側フィルタと下流側フィルタの組合せは、目的に応じて適切に選択されており、指定された目的を有する様々な種類のフィルタ装置を効果的に得ることができるという利点を提供する。
【００３８】
上述の特徴を有するフィルタ要素およびフィルタ装置を使用することによって、ある従来型のハウジングでは不可能であった、下流側フィルタの長期の使用が可能になる。また、上流側フィルタのグループと下流側フィルタのグループを用意し、異なるグループからそれぞれ選択された２つのフィルタを組み合わせて使用する。結果として、フィルタの使用者または設置者は、フィルタの組合せを適切に選択することができ、フィルタをいつでも交換することができる。
【００３９】
イオン除去能力などの、付加的な特性を上流側フィルタに与えることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】従来型のフィルタ要素を有するフィルタ装置を示す部分断面図である。
【図２】従来型のフィルタ要素を有する従来型のフィルタ装置を示す特定の段階を示す図である。
【図３】本発明のフィルタ要素がその中に固定されたフィルタ装置を示す長手方向断面図である。
【図４】本発明のフィルタ要素の構成要素である上流側フィルタを示す透視図である。
【図５】本発明のフィルタ要素の構成要素である下流側フィルタを示す透視図である。
【図６】フィルタ要素が組み合わされている本発明の一実施形態を示す透視図である。
【図７】図３の線ＩＶ−ＩＶに沿った平面断面を示す図である。
【図８】図３の線ＶＩＩＩ−ＶＩＩＩに沿ったフィルタ要素を示す断面透視図である。
【図９】本発明のフィルタ装置の場合の供給流の流れ時間と濾過流の全体量との間の関係を示すグラフである。

Claims

上流側フィルタと下流側フィルタを備えるフィルタ要素であって、前記下流側フィルタが、ハウジングに固定するための手段を有し、前記上流側フィルタが、前記ハウジングに固定された前記下流側フィルタに脱着自在に取付け可能であるフィルタ要素。
前記下流側フィルタを前記ハウジングに固定するための前記手段が、ねじおよび／またはＯリングを有する請求項１に記載のフィルタ要素。
前記下流側フィルタが、前記ハウジングに一体に取り付けられている請求項１または２に記載のフィルタ要素。
前記上流側フィルタが、前記下流側フィルタと互いに緩く嵌合されている請求項１から３のいずれか一項に記載のフィルタ要素。
前記上流側フィルタが、前記下流側フィルタと液密に固定されている請求項１から４のいずれか一項に記載のフィルタ要素。
前記上流側フィルタの上部キャップと、前記下流側フィルタの上部キャップが、互いに接続するための手段を有する請求項１から５のいずれか一項に記載のフィルタ要素。
前記接続するための手段が、ツイストロック手段である請求項６に記載のフィルタ要素。
前記上流側フィルタおよび前記下流側フィルタが、円筒の形態であり、一方が他方の中に入るように配置されている請求項１から７のいずれか一項に記載のフィルタ要素。
前記上流側フィルタおよび下流側フィルタが、プリーツタイプ、ロールタイプまたは不織繊維の塊を含む継ぎ目のない繊維円筒タイプの深さフィルタと、多孔質フォーム、中空繊維またはプリーツメンブレンフィルタとから成るグループから選択された同じまたは異なるフィルタ膜を有する請求項１から８のいずれか一項に記載のフィルタ要素。
前記上流側フィルタと下流側フィルタのそれぞれが、異なるフィルタの組からそれぞれ選択される請求項１から９のいずれか一項に記載のフィルタ要素。
前記下流側フィルタが前記ハウジングに固定可能であり、前記上流側フィルタが前記ハウジングに固定された前記下流側フィルタに固定可能である請求項１から１０のいずれか一項によるフィルタ要素を含むフィルタ装置。
上流側フィルタと、ハウジング内に一体に固定された下流側フィルタとを有する使い捨て可能なフィルタ装置であって、前記上流側フィルタと下流側フィルタのそれぞれが、異なる組のフィルタからそれぞれ選択されるフィルタ装置。