JP2003038916A

JP2003038916A - 交換可能なフィルターを有するフィルター要素及びフィルター装置

Info

Publication number: JP2003038916A
Application number: JP2001216452A
Authority: JP
Inventors: Kazunori Sudo; 和徳須藤; Yoshishiro Nomura; 芳城野村
Original assignee: Millipore Corp
Current assignee: EMD Millipore Corp
Priority date: 2001-07-17
Filing date: 2001-07-17
Publication date: 2003-02-12

Abstract

(57)【要約】【課題】下流側フィルターのスループットを大幅に延
ばせる或いは上流側フィルターにイオン除去性能を持た
せるなどの付加価値を持たせることが可能なフィルター
装置を提供すること。【解決手段】一つのハウジング、容器内に装着する同
一或いは異なる材質で上流側、下流側の２種類のフィル
ターからなり、下流側フィルターはハウジングに装着
し、上流側フィルターは下流側フィルターに装着し、そ
れぞれのフィルターが同心状で、且つ下流側の粒子汚染
が無い状態で上流側フィルターの脱着交換が可能であ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は液体及びガスをろ過
するために好適なフィルターカートリッジに関する。よ
り詳しくは、本発明は半導体ウエハや液晶装置製造用の
ガラス基板などの電子部品製造用の基板に用いるアミン
系などの有機剥離液や、液晶装置製造用のガラス基板に
用いられる顔料分散フォトレジスト、化学的機械的研磨
装置に用いられるスラリー、一般産業で用いられる液体
など、多量の異物を含む薬液のろ過をするためのフィ
ルターカートリッジに関する。

【０００２】

【従来の技術】ガス及び液体をろ過するために使用され
る別個の旦つ独特の２つの基本形式のカートリッジは深
さ（ｄｅｐｔｈ）フィルター（代表的には巻型）とメン
ブレンフィルター（通常はプリーツ型）とである。現
在、別個のハウジングに収納した巻型の深さフィルター
やメンブレンフィルターを直列状態にして使用し、所望
の清浄化レベルを得ることが行われている。そこで特開
平７−２１３８１４にて巻型か或は継ぎ目の無い、繊維
質の円筒型の不織の繊維マスを含む深さフィルターの何
れかと、共通ハウジング内部に保持され得るプリーツ付
きのスクリーンフィルター或は表面フィルターとから形
成されたろ過媒体を具備するフィルターカートリッジが
提案されたが、スループットの増大、金属イオンの除去
などフィルターに求められる性能に合わせた組み合わせ
を提供することも望ましい。組み合わせ可能なユニット
にすることで製造コストを抑えることもできる。

【０００３】図１〜２は特開平７−２１３８１４に記載
された従来のフィルターカートリッジを示し、カートリ
ッジ１０は、露出された外側表面１２を有する巻型また
は継ぎ目の無い繊維質の円筒型である深さフィルター１
６と、その内部に同心状に配置されたプリーツ付きの表
面フィルター或はスクリーンフィルター１８と、表面フ
ィルター１８の内面を支持すると共に流体通路となる多
数の穴２３を有するコア２０と、コア２０からろ過流
体（液体または気体）を引き出すための流体出口１４を
有する。深さフィルター１６及び表面フィルター１８の
上面はシールされている。フィルターカートリッジ１０
の上端はキャップ１９により完全に閉鎖される。使用に
当たり、フィルターカートリッジ１０はろ過器のハウ
ジング２１内に挿入されて流体出口１４の周りに施され
たねじ及び／又はＯリングによりハウジング壁に液密に
取り付けられる。清浄化すべき流体（液体または気体）
はハウジング２１とカートリッジ１０との間に導入さ
れ、外側表面１２から深さフィルター１６内方に透過
し、次いで表面フィルター１８を透過し、清浄化された
流体はコア２０の穴２３から中央通路に出て、流体出口
１４から透過流として引き出される。上記の２種類のフ
ィルターは上流側に位置するフィルターの細孔の孔径を
大きく下流側に位置するフィルターの細孔の孔径を小さ
く定めることにより、清浄化の精度と寿命を伸ばしてい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
２種のフィルターは互いに一体に形成されて単一のフィ
ルター要素を構成しているために、使用目的毎に異なっ
た構成のフィルターを組み合わせたものを使用しなけれ
ばならないし、また上流側のフィルターは早く汚染され
るのに対して下流側のフィルターは汚染されていないに
も拘わらず上流側のフィルターの寿命に規定されて、結
果的にフィルター要素の寿命が短くなってしまう。従っ
て、本発明の目的は、上流側フィルターと下流側フィル
ターを組み合わせ可能な別個のユニットからなり、上流
側フィルターを下流側フィルターとハウジング容器の間
に装着し、ひとつのカートリッジとすることにより、寿
命の増大、金属イオンの除去など求められる性能に合わ
せて、ひとつのハウジング内に装着可能なフィルターカ
ートリッジを提供することである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、上流側フィル
ターと下流側フィルターとの組み合わせよりなるフィル
ター要素において、上流側のフィルターを交換可能に構
成することにより、要求清浄度を実現しながら下流側の
フィルターの寿命を十分に延ばすことができ、そのため
従来と同等な透過水量を得るのに必要なフィルター数が
少なくなる。本発明はまた、上流側フィルター及び下流
側フィルターを予想される各種の用途に備えてそれぞれ
複数種用意し、それらから特定の用途に合わせて選択し
た上流側フィルター及び下流側フィルターよりなるフィ
ルター要素を構成する。この場合、上流側フィルターは
交換可能にすべきであるが、場合により一体型として使
い捨て型のフィルター装置を構成しても良い。

【０００６】より具体的に述べると、本発明は、上流側
フィルターと下流側フィルターとよりなるフィルター要
素において、前記下流側フィルターはハウジングへ取り
付けるための装着手段を有し、前記上流側フィルター
は、前記下流側フィルターを前記ハウジングに装着した
状態で、前記下流側フィルターに装着可能に構成されて
いるフィルター要素、及びかかるフィルター要素をハウ
ジングに取り付けたフィルター装置を提供する。１つの
形態では、下流側フィルターは第１のねじ部を有し、ハ
ウジングは前記第１のねじ部を受ける第２のねじ部を有
する。他の形態では、下流側フィルターは、ハウジング
と一体に形成される。別の形態では、上流側フィルター
は下流側フィルターと嵌合により装着される。好ましく
は、上流側フィルター及び下流側フィルターは、それぞ
れ筒状に形成され互いに入れ子式に配置される。上流側
及び下流側フィルターはそれぞれプリーツ型、巻型か或
は継ぎ目の無い、繊維質の円筒型の、不織の繊維マスを
含む深さフィルター、多孔性フォーム、ホロファイバ
ー、プリーツ型メンブレンフィルターより選択された同
一または異なったフィルター膜を備えることができる。
巻型のフィルターには数種のろ過媒体を巻いたものでも
良く、さらに巻型のフィルターでは密度勾配が付けてあ
っても良い。上流側フィルター及び下流側フィルターは
それぞれ異なった一組のフィルターから選択された一つ
から構成することができる。本発明はまた、これらのフ
ィルター要素を収納したフィルター装置を提供する。

【０００７】

【発明の実施の形態】上流側フィルターは内側から順に
多孔の樹脂製内側支持円筒（コア）、及びその外面に巻
いたシート状のろ過媒体を含む。必要ならさらにろ過媒
体の外面に樹脂製外側支持円筒（スリーブ）またはそれ
に代わる樹脂製ネットを使用することができる。これら
の上端縁及び下端縁は樹脂製キャップで封着される。一
方下流側フィルターは内側から順に多孔の内側支持円筒
（コア）、その外周のろ過媒体、及びその外面を支持す
る多孔の外側支持円筒（スリーブ）またはそれに代わる
ネットを有し、さらにこれらの上下端縁に樹脂製キャッ
プが封着される。ろ過媒体の構成は使用目的に応じて適
宜に組み合わせることができる。上流側フィルターはプ
リーツ型、巻型か或は継ぎ目の無い、繊維質の円筒型
の、不織の繊維マスを含む深さフィルター、多孔性フォ
ーム、ホロファイバー、プリーツ型メンブレンフィルタ
ーとから形成されたろ過媒体からなり、ハウジング容器
内で下流側フィルターより上流側に位置し、下流側カー
トリッジと機械的に組み合わされていなくても良いが、
望ましくは下流側カートリッジと機械的にさらには液密
に組み合わすことができるようなキャップで両端をシー
ルされている。下流側フィルターはプリーツ型、巻型か
或は継ぎ目の無い、繊維質の円筒型の、不織の繊維マス
を含む深さフィルター、多孔性フォーム、ホロファイバ
ー、プリーツ型メンブレンフィルターとから形成された
ろ過媒体を具備するフィルターカートリッジで、一端は
キャップでシールされ、他端は流体入口或は流体出口を
具備するキャップでシールされる。それぞれのキャップ
にはツイストロック、Ｏ−リング、ネジ加工のいずれか
或は全てを用いて上流側フィルターと組み合わせ可能と
なるが特に組み合わされていなくてもよい。

【０００８】上流側及び下流側フィルターに使用するろ
過媒体としては従来公知の任意の素材を使用することが
でき、例えばＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＴＦＥ（ポリ
テトラフルオロエチレン）、ＵＨＭＷＰＥ（超高分子量
ポリエチレン）、ＰＥ（ポリエチレン）、ＨＤＰＥ（高
密度ポリエチレン）、ＰＥＳ（ポリエーテルスルホ
ン）、ナイロン、ポリエステル、ＰＶＤＦ（ポリフッ化
ビニリデン）、セルロース、ＳＵＳ（ステンレス鋼）等
が挙げられる。上流側フィルター及び下流側フィルター
の内外支持円筒は剛性の樹脂で形成される。これらに代
わるネットの場合も同様な材料から製作できる。上下キ
ャップは使用個所に応じて環状またはディスク状をな
し、内外円筒（或いは一部ネット）及びろ過媒体の積層
体の上下端縁に一体に加熱融着される。これらの素材も
周知である。

【０００９】

【実施例】以下本発明を実施例について詳述する。ここ
にフィルター要素の語は上流側フィルター及び下流側フ
ィルターを組み合わせたものを指し、フィルター装置と
はハウジングにフィルター要素を組み込んで使用状態に
した装置を指し、上流側とは清浄化すべき気体または液
体流（供給流）の流れに対するものである。なお、以下
に述べるように供給流の一部は用途に依存する必要な清
浄度に応じて直接下流側フィルターに流れることも可能
である。

【００１０】第１実施例図３〜６は本発明の第１の実施例によるフィルター要素
及びフィルター装置を例示する。図において上下の語は
説明の都合であり、軸線を水平その他任意の方向に配向
して使用できる。図３は本発明のフィルター要素３０
（図６参照）を組み込んだ本発明のフィルター装置３２
を示し、図４は上流側フィルター３４の斜視図であり、
図５は下流側フィルター３６の斜視図であり、図６は下
流側フィルター３６に上流側フィルター３４を途中まで
装着した状態のフィルター要素を示す。

【００１１】図３と図４を参照するに、上流側フィルタ
ー３４はプリーツ型、巻型か或は継ぎ目の無い、繊維質
の円筒型の、不織の繊維マスを含む深さフィルター、多
孔性フォーム、フォロファイバー、プリーツ型メンブレ
ンフィルターとから形成されたろ過媒体３８を含む。こ
れらのろ過媒体はいずれも公知であり、例えば上に引用
した文献に記載されている。上流側フィルター３４はハ
ウジング内で下流側フィルター３６より上流側に位置
し、下流側フィルターと液密に組み合わせなくても良い
し（つまり少量のバイパスがあっても良いが）、高い清
浄度が必要なら下流側フィルター３６と液密に組み合わ
すことができる（つまり下流側フィルターへのバイパス
ができないようにする）。図示の例は前者であり、ろ過
媒体３８の上端部は樹脂製の環状キャップ４４で封着さ
れ、また下端部は樹脂製の環状キャップ４２で封着され
る。キャップ４２の内面には下流側フィルター３６に固
定するための突起４６が直径を挟んで対称位置に設けら
れている。下流側フィルター３６への供給流のバイパス
を阻止する必要がある場合には、キャップ４２、４４の
両端面をＯリングでシールすることにより阻止すること
ができる。円筒状のろ過媒体３８にはその内外表面の少
なくとも一方に多孔を有する剛性のある樹脂製の支持円
筒を沿わせその上下端をキャップ４２、４４と一体に固
着することができる。図の例では内面に薄い支持円筒４
３を有する。

【００１２】図３及び図５を参照するに、下流側フィル
ター３６はプリーツ型、巻型か或は継ぎ目の無い、繊維
質の円筒型の、不織の繊維マスを含む深さフィルター、
多孔性フォーム、ホロファイバー、プリーツ型メンブレ
ンフィルターとから形成されたろ過媒体４８を具備する
フィルターカートリッジであり、上端は環状キャップ５
２でシールされ、下端はキャップ５０でシールされる。
それぞれのキャップにはツイストロック、Ｏ−リング、
ネジ加工のいずれか或は全てを用いて上流側フィルター
と組み合わせ可能となるが、用途に応じて特に機械的に
組み合わされていなくて必要な清浄度に応じて単に上流
側フィルター３４を下流側フィルター３６の周りに被せ
るだけでもよい。ろ過媒体４８の内外面の少なくとも内
面、この例では両面に多数の流通孔５６を開口した剛性
の外側支持円筒５４、内側支持円筒６２が設けてありそ
れぞれ上下端でキャップ５２、５０に一体化されてい
る。キャップ５２にはハウジング７０（図３）に固定し
且つ気密または液密封着のためにＯリングを有するろ過
された透過流の出口６０が形成され、その開口は内側支
持円筒６２の内部に通じている。キャップ５０の周部の
二個所には、上流側フィルター３４の突起４６に対応し
たツイストロック溝５８が形成され、その入口は突起４
６を軸線方向から受け入れる拡大部が形成され、それに
続いて上流側フィルターの回転により突起４６を案内係
止する係止溝６４が形成されている。

【００１３】図６は内外フィルター３６及び３４を組み
合わせる途中の状態を示し、両者でフィルター要素３０
を構成する。両者を所定位置に装入し、上流側フィルタ
ー３４の突起４６を下流側フィルター３６のツイストロ
ック溝５８に嵌め、回転して係止溝６４に嵌合させる。
図３は両者を正規の位置で組み合わせた状態を示す。上
流側フィルター３４及び下流側フィルター３６は初期設
定を除き、ろ過作業の現場で交換することになり、上流
側フィルター３４は下流側フィルター３６よりも頻繁に
交換される。

【００１４】図７〜８は上流側フィルター３４と下流側
フィルター３６の構成の一例を示す。この例では上流側
フィルター３４は内側から順に多孔４５を有する内側支
持円筒４３、及びその外面に巻いた多細孔の巻型ろ過媒
体３８よりなり、下流側フィルター３６は内側から順に
多孔５６を有する内側支持円筒６２、その外周に巻いた
プリーツ型ろ過媒体４８及びその外面を支持する多孔５
５を有する外側支持円筒５４よりなる。ろ過媒体の構成
は使用目的に応じて適宜に組み合わせることができる。

【００１５】図３のように、ハウジング７０は下端に排
液口８０を有する下端がほぼ閉じ上端が開放したハウジ
ングボウル７１を有する。上端はＯリングによりハウジ
ングヘッド７４に環状壁に嵌合して気密または液密封止
できるようになっている。ハウジングヘッド７４の周り
には雄ねじが形成され、それに締着リング７２の雌ねじ
が結合するようになっている。締着リング７２を緩め、
ハウジングボウル７１を外すと、上流側及び下流側フィ
ルター３４、３６の取付けと交換が可能となる。

【００１６】動作において、図３を参照するに、供給流
はハウジングヘッド７４の入口７６から上流側フィルタ
ー３４とハウジングのハウジングボウル７１との間の空
間に流れ、次いでろ過媒体３８を透過する。ろ過され
なかった供給流の残りはハウジングボウル７１の下まで
流れ、次いで排液流としてハウジング７０の排液口８０
に流出する。この場合に供給流は一部バイパスして直接
下流側フィルター３４の周りに流れるが使用目的によっ
ては差し支えがない。もし必要なら、環状キャップ４
４、４２とキャップ５２、５０の間にＯリングを設ける
ことでバイパスを防いでも良いことは既に述べた。透過
した半透過流は次いで下流側フィルター３６のろ過媒体
４８を透過してさらに清浄化され、内側多孔支持円筒６
２に流出し、ハウジングヘッド７４の透過流出口７８か
ら出て行く。下流側フィルター３４の目詰まりはなかな
か起きないが、上流側フィルター３６の目詰まりは比較
的早く起きる。従って、透過流の流量を測定しながら適
当な時期に上流側フィルター３４の目詰まりを判定して
流れを止め、ハウジングボウル７１を外して上流側フィ
ルター３４を交換する。交換を容易にするため、ハウジ
ング７０と、ハウジングヘッド７４の衝合部をＯリング
を介して嵌合させ、結合リング７２の内ねじをハウジン
グヘッド７４の外ねじにねじ込みリングの他部の係止線
でハウジングをハウジングヘッド７４の端線へ押しはけ
るようにする。

【００１７】この実施例のフィルター要素及びフィルタ
ー装置を用いて実験を行った。上流側フィルターのろ過
媒体としては膜厚３８０μｍ、目付１１０［ｇ／
ｍ^２］、透気度０．３６［秒］のＰＰ（ポリプロピレ
ン）製不織布を５層巻にしたフィルターを使用し、下流
側フィルターのろ過体としては０．０５μｍＵＨＭＷＰ
Ｅ（超高分子量ポリエチレン）製メンブレンを使用した
マイクロガードPlus １０インチサイズ孔径０．０５μ
ｍ（日本マイクロリス（株）製）を使用し、試験流体と
してはＡＣファインテストダストを５００ｐｐｍ含有す
る水を使用し、試験差圧５５ｋＰａでろ過実験を行っ
た。上流側フィルターの目詰まりによりろ過能率が低下
する時点を検出し、目詰まりになる直前に運転を停止
し、上流側フィルターを交換し、運転を再開した。その
結果図９に示す結果が得られた。上流側フィルターを交
換しながら約８分ずつ４回運転したが、ろ過量は一個の
場合に比して約３．５倍であった。従来の使い捨て型の
フィルター要素では４個のフィルター要素で１個の場合
の４倍であるから、本発明のフィルター要素は、ろ過量
で約８７％（３．５倍／４倍）が達成できるにもかかわ
らず、下流側フィルターは２５％（１個／４個）の個数
で済む。特に下流側フィルターのろ過媒体が高価な精密
メンブレンの場合に本発明は効果的である。また本発明
では、様々な仕様の上流側フィルター３４及び下流側フ
ィルター３６の各セットを用意しておけば、それらの他
種類の組み合わせからなるフィルター要素を実現できる
のでこの点でも有利である。

【００１８】本発明の範囲内で各種の変形が可能であ
る。実施例では上流側フィルター３４を下流側フィルタ
ー３６の外側に配置したが、流路手段の適当な変更を行
って内外逆にしても良い。また、実施例では下流側フィ
ルター３６は前記ハウジングに取り付けるための出口６
０にＯリングを設ける例を示したが、Ｏリングだけで結
合しても良い。この場合には単なる密嵌合である。場合
により下流側フィルターはハウジングに一体に形成して
も良い。この場合は下流側フィルターは使い捨て型にな
る。また実施例では上流側フィルターは下流側フィルタ
ーと遊嵌合により装着されていて僅かではあるが下流側
フィルターへのバイパスが可能であるが、環状キャップ
４２の代わりに上流側フィルター３４の下端を封鎖する
ディスク状キャップで封鎖しても良いし或いは上記のよ
うにキャップ４２、４４の周りにＯリングを設けてキャ
ップ４２と５０、キャップ４４と５２の間を封止しても
良い。これによりバイパスは解消する。

【００１９】他の変形例として、上流側フィルター及び
下流側フィルターを複数個づつの２組を用意しておき、
それらを目的に応じて選択して使用することができる。
この場合両者を共通の封着キャップに固定することも可
能である。但しこの場合には上流側フィルターを交換で
きないので使い捨て（ディスポーザブル）型となる。し
かし本発明のフィルター要素を構成する各一組の上流側
フィルターと下流側フィルターは使用目的に応じた任意
の組み合わせを選択して効率的に且つ他種類の所定のフ
ィルター装置を実現できる利益が得られる。

【００２０】

【発明の効果】以上の構成のフィルター要素及びフィル
ター装置を使用して、１つのハウジングでは従来可能で
はなかった下流側フィルターの長期の使用が可能とな
る。また、それぞれ複数の上流側フィルター及び下流側
フィルターの組を用意しておき、これらを選択的に組み
合わせて使用することにより、製造時はもちろんのこ
と、使用時にはフィルター使用者或は取り付け者が自由
に組み合わせを選択できる。且つ随時交換できる。或い
は上流側フィルターにイオン除去性能を持たせるなどの
付加価値を持たせることが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来のフィルター要素とそれを備えたフィルタ
ー装置の部分断面で示した斜視図である。

【図２】従来のフィルター要素とそれを備えたフィルタ
ー装置の仕様状態図である。

【図３】本発明のフィルター要素とそれを組み込んだフ
ィルター装置の縦断面図である。

【図４】本発明のフィルター要素を構成する上流側フィ
ルターの斜視図である。

【図５】本発明のフィルター要素を構成する下流側フィ
ルターの斜視図である。

【図６】本発明のフィルター要素の組み合わせ状態を示
す斜視図である。

【図７】図３の線ＩＶ−ＩＶに沿った平面断面図であ
る。

【図８】図３の線ＶＩＩＩ−ＶＩＩＩに沿った断面から
見たフィルター要素部分の斜視図である。

【図９】本発明の実施例のフィルター装置を使用して供
給流の流通時間と全ろ過量の関係を示す図である。

【符号の説明】

３０フィルター要素３２フィルター装置３４上流側フィルター３６下流側フィルター３８ろ過媒体４０ハウジング４２、４４キャップ４６突起４８ろ過媒体５０、５２キャップ５４、６２支持円筒５６流通孔６０出口５８ツイストロック溝６４係止溝

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者野村芳城千葉県佐倉市染井野３丁目９番13号Ｆターム(参考） 4D026 AA02 AA06 AB01 AB06 AB11

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】上流側フィルターと下流側フィルターと
よりなるフィルター要素において、前記下流側フィルタ
ーはハウジングへ取り付けるための装着手段を有し、前
記上流側フィルターは、前記下流側フィルターを前記ハ
ウジングに装着した状態で、前記下流側フィルターに装
着可能に構成されている、フィルター要素。
【請求項２】前記下流側フィルターは前記ハウジング
への取付部分がねじ部及び／またはＯリングを有する請
求項１のフィルター要素。
【請求項３】前記下流側フィルターは前記ハウジング
に一体的に取り付けられている請求項１または２のフィ
ルター要素。
【請求項４】上流側フィルターは下流側フィルターに
遊嵌合により装着されていている請求項１〜３のいずれ
かのフィルター要素。
【請求項５】上流側フィルターは下流側フィルターに
液密に装着されている請求項１〜４のいずれかのフィル
ター要素。
【請求項６】上流側フィルターの上端のキャップと下
流側フィルターの上端のキャップとには相互を結合する
ための手段が形成されている請求項１〜５のいずれかの
フィルター要素。
【請求項７】前記結合するための手段がツイストロッ
ク手段である請求項６のフィルター要素。
【請求項８】前記上流側フィルター及び下流側フィル
ターは、それぞれ筒状に形成され互いに入れ子式に配置
される請求項１〜７のいずれかのフィルター要素。
【請求項９】前記上流側及び下流側フィルターは、プ
リーツ型か巻型か或は継ぎ目の無い、繊維質の円筒型
の、不織の繊維マスを含む深さフィルター、多孔性フォ
ーム、ホロファイバー、プリーツ型メンブレンフィルタ
ーより選択された同一または異なったフィルター膜を備
えている請求項１〜８のいずれかのフィルター要素。
【請求項１０】前記上流側フィルター及び下流側フィ
ルターはそれぞれ異なった一組のフィルターから選択さ
れた一つから構成されている請求項１〜９のいずれかの
フィルター要素。
【請求項１１】請求項１〜１０のいずれかのフィルタ
ー要素を収納したフィルター装置において、前記下流側
フィルターは前記ハウジングに装着可能であり、前記上
流側フィルターは、前記下流側フィルターを前記ハウジ
ングに装着した状態で、前記下流側フィルターに装着可
能に構成されている、フィルター装置。
【請求項１２】ハウジング内に上流側フィルターと下
流側フィルターとを収容して一体に固定した使い捨て型
フィルター装置において、前記上流側フィルター及び下
流側フィルターはそれぞれ異なった一組のフィルターか
ら選択された一つから構成されているフィルター装置。