JP2005352030A - 走査型レーザ観察装置、観察方法及び観察プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光源からの光ビームを試料に照射し走査機構によって試料を光ビームで走査する観察装置であって、波長の異なる複数種類の励起光を出射する複数の光源手段と、光源手段から試料に至る光路上で、複数種類の波長の中から所定の波長の励起光を選択する波長選択手段と、複数種類の波長でそれぞれ励起される複数種類の蛍光をそれぞれ検出する複数の検出手段と、走査機構による走査に同期して1フレーム走査、1ライン走査または1画素受光中に波長選択手段により選択される励起光を切り換えるゲート手段とを備える。
【選択図】 図2
Description
図16は、従来の走査型レーザ観察装置の全体構成を示す図であり、図17は、図16中に示したターレット104の105矢視図である。
このような状態でクリプトンアルゴンレーザ101を発振した波長のうち568nmの波長は、励起フィルタ104dにより選択され励起ダイクロイックミラー106を反射し試料112上にビームスポットとして結像する。そして、試料112上のTEXAS RED(商標)により発せられた蛍光が励起ダイクロイックミラー108を透過し、結像レンズ114およびミラー115を介して共焦点ピンホール116を通過する。このとき、蛍光の光路上にはターレット104上の空穴104bが配置されているので、ターレット104上の空穴104bを透過し、バリアフィルタ120で568nmの反射光をカットされ光検出器118で検出される。
本発明は、上記従来技術の欠点に鑑みてなされたもので、1画素毎の受光サンプリングレートを高速化することが可能で、走査機構による走査に同期して1フレーム走査、1ライン走査または1画素受光中に波長選択手段による選択励起波長を切り換える場合の波長別の時間差を極力抑え、同時に多波長を観察する場合でも画像取得の時間を短縮することが可能な走査型レーザ観察装置、観察方法及び観察プログラムを提供することを目的とする。
すなわち、本発明の一態様によれば、本発明の走査型レーザ観察装置は、光源からの光ビームを試料に照射し走査機構によって上記試料を上記光ビームで走査する走査型レーザ観察装置であって、波長の異なる複数種類の励起光を出射する複数の光源手段と、上記複数種類の波長の中から所定の波長の励起光を選択する波長選択手段と、上記複数種類の波長でそれぞれ励起される複数種類の蛍光をそれぞれ検出する複数の検出手段と、上記走査機構による走査に同期して1フレーム走査、1ライン走査または1画素受光中に上記波長選択手段により選択される励起光を切り換えるゲート手段とを備えることを特徴とする。
また、本発明の走査型レーザ観察装置は、上記波長選択手段が、1次元X、Y、Z、2次元XY、XZ、YZまたは3次元XYZ画像を時間T経過毎に取得する場合に、予め次元XYZTのいずれかに重み付けを行って励起光を選択することが望ましい。
まず、図1乃至図4を用いて、本発明の第1の実施の形態について説明する。
図1は、本発明を適用した走査型レーザ観察装置の光学系の構成を示す図である。
図2において、システム制御手段16は、走査型レーザ観察装置1全体の制御を行う他、備向素子6x、6yにより1画素移動したことを示すサンプリングクロックの生成を行う。レーザ制御手段17は、各波長のレーザ光源1a、1b、1c、1dのパワーやON/OFF等を制御する。パワー設定手段18a、18b、18c、18dは、レーザ光のパワーを設定する。波長選択手段19は、サンプリングクロックに同期して波長の選択を行う。レーザON/OFF手段20a、20b、20c、20dは、波長選択手段19により選択された波長のレーザ光が出力されるように、あるいは波長選択手段19に選択されない波長のレーザ光が出力されないように、レーザ光源1a、1b、1c、1dから出射されるレーザ光のオンオフを制御しする。
図3は、第1の実施の形態に係る走査型レーザ観察装置で試料に励起するレーザ光の波長を画素毎に示した図であり、図4は、図3内の先頭2ライン分の励起するレーザ光の波長の時間変化を示した図である。
図3に示す様に、励起するレーザ光を画素毎に、波長λaと波長λbの組合せ、波長λaと波長λcの組合せ、波長λaと波長λdの組合せ、といった順番で繰り返す様にする。図3では説明の簡素化のために、XY平面上で9画素×9画素としているが、実際の観察では512画素×512画素の様な、広い領域を詳細に観察する。
この照射位置がX2画素目、Y1画素目へ到達した時、システム制御手段16はレーザ制御手段17、検出処理手段21a、21b、21c、21d、表示手段22等へ(X2画素目・Y1画素目・画素内1番目)であることをサンプリングクロック等の出力を用いて伝達する。レーザ制御手段17経由で(X2画素目・Y1画素目・画素内1番目)を知らされた波長選択手段19は、予め設定されている2番目の画素で励起する波長λaと波長λcのうち、1番目の波長λaのレーザを選択する。この選択により、レーザON/OFF手段20aはレーザ光源1aをONとし、レーザON/OFF手段20b・20c・20dはレーザ光源1b、1c、1dをOFFとする。これにより、レーザ光源1aから波長λaのレーザ光が出力されるが、レーザ光源1b、1c、1dからレーザ光は出力されない。
この照射位置がX3画素目、Y1画素目へ到達した時、同様に処理され、メモリ22へ(X3画素目・Y1画素目・画素内1番目)の蛍光データと(X3画素目・Y1画素目・画素内2番目)の蛍光データとして蓄積される。
この様にして、1画面分の蛍光データがメモリ22へ蓄積されると、システム制御手段16はメモリ22から蛍光データを読出し、表示手段23へ表示させる。ここでは、1画面分蓄積してからメモリ22の蛍光データを表示させているが、システム制御手段16の処理負荷に応じて、任意数ライン分や任意数画素分であっても構わない。
なお、ここで、レーザ光源とシャッタは、半導体レーザであるレーザ光源1a、1b、1c、1dとシャッタ2a、2b、2c、2dから構成されたものに限らず、シングルラインレーザ光を発振する複数のガスレーザとAOTF(Acousto−Optic Tunable Filter)との組み合わせ、あるいはマルチラインレーザ光を発振するガスレーザとAOTFとの組み合わせのような構成でも構わず、レーザ光のON/OFF制御と光量制御が可能な構成をとっていればよい。
第2の実施の形態では、どの波長でもZの変化がそれ程大きくないが、XYの分解能を高くして観察したい場合の例を示す。
Z方向の蛍光が2画素に1回励起されることは、画像取得のシーケンスを1/2に間引いていることになるが、Z1面を波長λa、Z2面を波長λb、Z3面を波長λc、Z4面を波長λdの様に、Z方向を1/4に間引けば画像取得の時間は1/4に短縮され、プレビュー等の用途に適する。
第3の実施の形態では、どの波長でもXYの変化がそれ程大きくないが、Zの分解能を高くして観察したい場合の例を示す。
どの波長でもXYの変化がそれ程大きくないが、Zの分解能を高くして観察したい場合には、図4に示すように、全Z面において、奇数ライン目は波長λaで励起した後に波長λbで励起することを1画素毎に切り換えて、その後でY1ライン分移動して、偶数ライン目は波長λcで励起した後に波長λdで励起することを1画素毎に切り換えて、その後でY1ライン分移動して、再度奇数ライン目に移行し、同様の動作を繰り返す様にする。
ここで、大まかに観察したいXY面の蛍光は、各波長共均等に4画素に1回励起されており、1画素毎に1回励起される場合と比較して、検出の時間を1/4に短縮しており、且つメモリ22の容量も1/4で済む。また、詳細に観察したいZ方向の蛍光は、各波長共均等に1画素毎に1回励起されており、1画素分の分解能をもち、詳細にZ分解能良く観察できる。これにより、多波長の画像取得が高速化され、Zの変化を観察しやすくなる。
第4の実施の形態では、波長λa´の蛍光状態を詳しく観察し、波長λc´、λd´は大まかに観察し、波長λb´は中程度に観察したい場合の例を示す。
波長λa´の蛍光状態を詳しく観察し、波長λc´・λd´は大まかに観察し、波長λb´は中程度に観察したい場合には、図9に示すように、励起するレーザを画素毎に、奇数ライン目では波長λaと波長λbの組合せ、波長λaと波長λcの組合せ、といった順番で繰り返し、偶数ライン目では波長λaと波長λdの組合せ、波長λaと波長λbの組合せ、といった順番で繰り返す様にする。
図10は、第5の実施の形態に係る走査型レーザ観察装置で試料に励起するレーザの波長を画素毎に示した図である。
次に、図11乃至図15を用いて、本発明の第6の実施の形態について説明する。
第1の実施の形態の説明に用いた図2に示した機能と同一の機能を有する構成には、同一の符号を付し、その説明を省略する。
そして、設定手段31は、プレビュー時モード設定手段32、プレビュー有スキャン操作手段33およびプレビュー無スキャン操作手段34を備え、自動間引き手段35は、プレビューデータ格納メモリ36、モード別データ処理手段37および間引き自動設定手段38を備える。
図12は、XY走査、8画素×8画素での画素毎に励起する波長を示した図(プレビュー時)であり、図13は、XY走査、8画素×8画素での画素毎に励起する波長を示した図(X軸を均等に間引いた時)であり、図14は、XY走査、8画素×8画素での画素毎に励起する波長を示した図(Y軸を均等に間引いた時)であり、図15は、XY走査、8画素×8画素での画素毎に励起する波長を示した図(モードCで波長λaを高分解能に抽出した時)である。
1a レーザ光源
1b レーザ光源
1c レーザ光源
1d レーザ光源
2a シャッタ
2b シャッタ
2c シャッタ
2d シャッタ
3 ミラー
4b 波長合成ダイクロイックミラー
4c 波長合成ダイクロイックミラー
4d 波長合成ダイクロイックミラー
5 励起ダイクロイックミラー
6x 偏向素子
6y 偏向素子
7 対物レンズ
8 試料
9 フィルタ
10a 分光ダイクロイックミラー
10b 分光ダイクロイックミラー
10c 分光ダイクロイックミラー
11 ミラー
12a 集光レンズ
12b 集光レンズ
12c 集光レンズ
12d 集光レンズ
13a 共焦点開口
13b 共焦点開口
13c 共焦点開口
13d 共焦点開口
14a バリアフィルタ
14b バリアフィルタ
14c バリアフィルタ
14d バリアフィルタ
15a 光検出器(PMT)
15b 光検出器(PMT)
15c 光検出器(PMT)
15d 光検出器(PMT)
16 システム制御手段
17 レーザ制御手段
18a パワー設定手段
18b パワー設定手段
18c パワー設定手段
18d パワー設定手段
19 波長選択手段
20a レーザON/OFF手段
20b レーザON/OFF手段
20c レーザON/OFF手段
20d レーザON/OFF手段
21a 検出処理手段
21b 検出処理手段
21c 検出処理手段
21d 検出処理手段
22 メモリ
23 表示手段
30 走査型レーザ観察装置
31 設定手段
32 プレビュー時モード設定手段
33 プレビュー有スキャン操作手段
34 プレビュー無スキャン操作手段
35 自動間引き手段
36 プレビューデータ格納メモリ
37 モード別データ処理手段
38 間引き自動設定手段
101 クリプトンアルゴンレーザ
102 ビームエクスパンダ
103 反射ミラー
104 ターレット
104a 励起フィルタ
104b 空穴
104c 反射ミラー
104d 励起フィルタ
106 励起ダイクロイックミラー
107 走査光学系
108 励起ダイクロイックミラー
109 瞳投影レンズ
110 結像レンズ
111 対物レンズ
112 試料
114 結像レンズ
115 ミラー
116 共焦点ピンホール
117 光検出器
118 光検出器
119 バリアフィルタ
120 バリアフィルタ
200 コンピュータ
201 モニタ
202 モータ(M)
Claims (10)
- 光源からの光ビームを試料に照射し走査機構によって前記試料を前記光ビームで走査する走査型レーザ観察装置において、
波長の異なる複数種類の励起光を出射する複数の光源手段と、
前記複数種類の波長の中から所定の波長の励起光を選択する波長選択手段と、
前記複数種類の波長でそれぞれ励起される複数種類の蛍光をそれぞれ検出する複数の検出手段と、
前記走査機構による走査に同期して1フレーム走査、1ライン走査または1画素受光中に前記波長選択手段により選択される励起光を切り換えるゲート手段と、
を備えることを特徴とする走査型レーザ観察装置。 - 前記波長選択手段は、波長の種類および検出の順序に関しての予め定められた規則に基づいて励起光を選択することを特徴とする請求項1に記載の走査型レーザ観察装置。
- 前記波長選択手段は、1次元X、Y、Z、2次元XY、XZ、YZまたは3次元XYZ画像を時間T経過毎に取得する場合に、予め次元XYZTのいずれかに重み付けを行って励起光を選択することを特徴とする請求項1または2に記載の走査型レーザ観察装置。
- 前記波長選択手段は、1次元X、Y、Z、2次元XY、XZ、YZまたは3次元XYZ画像を時間T経過毎に取得する場合に、観察する分解能の粗細に応じて次元XYZTのいずれかに重み付けを行って励起光を選択することを特徴とする請求項1または2に記載の走査型レーザ観察装置。
- 前記波長選択手段は、1次元X、Y、Z、2次元XY、XZ、YZまたは3次元XYZ画像を時間T経過毎に取得する場合に、レーザ光の励起による蛍光反応の時間が異なる波長に応じて重み付けを行って励起光を選択することを特徴とする請求項1または2に記載の走査型レーザ観察装置。
- 前記波長選択手段は、1次元X、Y、Z、2次元XY、XZ、YZまたは3次元XYZ画像を時間T経過毎に取得する場合に、蛍光反応の強弱が異なる波長に応じて重み付けを行って励起光を選択することを特徴とする請求項1または2に記載の走査型レーザ観察装置。
- 前記ゲート手段によって1フレーム走査、1ライン走査または1画素受光中に切り換えて得られる各蛍光波長を合成して表示する表示手段をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載の走査型レーザ観察装置。
- 各次元均等で各波長均等に間引いたプレビューでの輝度データに基づいて、次元や波長の間引き方を設定する設定手段をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項に記載の走査型レーザ観察装置。
- 光源からの光ビームを試料に照射し走査機構によって前記試料を前記光ビームで走査する走査型レーザ観察装置が実行する観察方法であって、
複数の光源手段から出射する波長の異なる複数種類の励起光の中から所定の波長の励起光を選択し、
前記複数種類の波長でそれぞれ励起される複数種類の蛍光をそれぞれ検出し、
前記走査機構による走査に同期して1フレーム走査、1ライン走査または1画素受光中に前記選択される励起光を切り換えることを特徴とする観察方法。 - 光源からの光ビームを試料に照射し走査機構によって前記試料を前記光ビームで走査する走査型レーザ観察装置に実行させるための観察プログラムであって、
複数の光源手段から出射する波長の異なる複数種類の励起光の中から所定の波長の励起光を選択する手順と、
前記複数種類の波長でそれぞれ励起される複数種類の蛍光をそれぞれ検出する手順と、
前記走査機構による走査に同期して1フレーム走査、1ライン走査または1画素受光中に前記選択される励起光を切り換える手順と、
を実行させるためのコンピュータ実行可能な観察プログラム。
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