JP2005350304A - 六面体構造を有するシラザン化合物およびその製造法とそれを用いたコーティング組成物 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 Si8N12で表され、6面体の頂点の位置にSi原子が配置され、隣接するSi原子同士がN原子を介して結合されているSi8N12構造単位を有するシラザン化合物。この化合物は、一般式(RSi(NH)1.5)n(R’2SiNH)m を有するシラザンポリマーをアンモニアまたは無機アンモニウム塩の存在下に改質処理することで製造される。このシラザン化合物を含む被膜を焼成することによって、膜厚の厚いシリカ質材料を形成することができる。
【選択図】 図1
Description
(RSi(NH)1.5)n (R’2SiNH)m (II)
(式中、RおよびR’は水素、炭素数1〜6のアルキル基、およびフェニル基から選ばれる基であり、それぞれのRおよびR’は、同一であっても、異なっていてもよく、nは1〜1500であり、mは0〜1500である)で表されるシラザンポリマーを、アンモニアまたは無機アンモニウム塩の存在下、60〜200℃の温度で改質処理すること、を特徴とするものである。
本発明によるシラザン化合物(シルセスキアザン化合物)は、Si8N12で表され、6面体の頂点の位置にSi原子が配置され、隣接するSi原子同士がN原子を介して結合されているSi8N12構造単位を有するものである。この化合物の主要な構造単位は図1に示されるような6面体構造である。この図において、各ケイ素原子に結合する水素またはアルキルなどの置換基、および窒素原子に結合する水素などの置換基は省略されている。図1において、Si−N−Si結合は、便宜的に直線として記載されているが、実際にはある特定の結合角を有するものと思われる。ここで、ひとつのSi原子は3つのN原子および一つの置換基と結合しているが、この置換基は水素、炭素数1〜6のアルキル基、およびフェニル基から選ばれる基であることが好ましく、炭素数1〜3のアルキル基であることが好ましく、特にメチル基であることが好ましい。そして、8個のケイ素原子に結合している8個の置換基が同一であり、12個の窒素原子に結合している12個の置換基が同一である場合には、この8個のケイ素原子は立方体の頂点に位置する。ひとつのSi8N12構造に複数種類の置換基が結合している場合には、分子構造が歪むこともある。
(RSi(NH)1.5)8 (I)
(式中、それぞれのRは同一であっても異なっていてもよく、水素、炭素数1〜6のアルキル基、およびフェニル基から選ばれる基である)
で表されるものが好ましいもののひとつである。R基が炭素数1〜3のアルキル基であることがより好ましく、特にすべてのR基がメチル基であるものが最も好ましい。すべてのR基がメチル基であるシラザン化合物は等方的であり、結晶性が高い。この化合物の構造式は下記の通りである。
前記一般式(I)で示されるシラザン化合物は、一般式
(RSi(NH)1.5)n (R’2SiNH)m (II)
(式中、RおよびR’は水素、炭素数1〜6のアルキル基、およびフェニル基から選ばれる基であり、それぞれのRおよびR’は、同一であっても、異なっていてもよく、nは1〜1500であり、mは0〜1500である)
で表されるシラザンポリマーを、アンモニアまたは無機アンモニウム塩の存在下、改質処理することによって製造することができる。ここで、RおよびR’は炭素数1〜3のアルキル基であることが好ましく、特にメチル基であることが好ましい。
本発明は前記の特定のSi8N12構造を有するシラザン化合物に関するものであるが、その特定のSi8N12構造を有するシラザン化合物と、Si8N12構造を有していないシラザン化合物との混合物にも関するものである。このような混合物は、後述するコーティング組成物やシリカ質材料の製造法において本発明による特定のSi8N12構造を有するシラザン化合物と同様に用いることができる。
(イ)主鎖中にS−N結合を有するもの、例えば一般式(II)で示されるシラザンポリマー、ペルヒドロポリシラザンポリマー、あるいは(R’HSiNH)mで表されるシラザンポリマー(ここで、R’およびmは前記したとおりである)、ヘキサメチルジシラザン、ポリカルボシラザンなど、および
(ロ)主鎖中にS−O結合を有するもの、例えばシロキサンポリマー、より具体的にはペンタメチルシクロテトラシロキサン、ヘキサメチルシクロトリシロキサンポリマー、ジメチルポリシロキサン、ジフェニルシロキサン、フェニルラダーシリコーンなど
が挙げられる。これらの構造は特に限定されず、ランダムな線状あるいは網目状構造を有しているものであってもよい。
(イ)アクリル酸エステルのホモポリマー、例えば、ポリアクリル酸メチル、ポリアクリル酸エチル、
(ロ)メタクリル酸エステルのホモポリマー、例えば、ポリメタクリル酸メチル、ポリメタクリル酸エチル
(ハ)アクリル酸エステルのコポリマー、例えば、ポリ(アクリル酸メチル−コ−アクリル酸エチル)、
(ニ)メタクリル酸エステルのコポリマー、例えば、ポリ(メタクリル酸メチル−コ−メタクリル酸エチル)
(ホ)アクリル酸エステルとメタクリル酸エステルとのコポリマー、例えば、ポリ(アクリル酸メチル−コ−メタクリル酸エチル)、
(ヘ)その他のポリマー、例えばボロンナイトライドポリマー、フォスフォリックポリマー、など
が挙げられる。
本発明によるコーティング組成物は、前記のシラザン化合物またはシラザン単位を含んでなるポリマー、および必要に応じて後述するその他の添加物、を有機溶媒中に溶解または分散させたものである。ここで、シラザン化合物に代えて、前記のシラザン化合物の混合物を用いることもできる。
本発明によるシリカ質材料の製造法は、前記のコーティング組成物を基板上に塗布し、焼成するものである。加熱によって、コーティング組成物中の溶媒は除去され、さらに組成物の成分が酸化して、シリカ質材料が形成される。このようにして得られるシリカ質材料は、オルガノシロキサンと総称され半導体装置の低誘電率絶縁膜として有効である。また、出発材料に含まれる置換基がすべてメチル基の場合は、メチルシロキサン(MSQと略称する)が形成され、特に有用である。
メチルトリクロロシラン(MeSiCl3)149.5g(1モル)を5リットルのステンレス製反応容器に採取し、反応溶媒としてピリジン2000gを注入した。
反応開始物質を、メチルトリクロロシラン(MeSiCl3)149.5g(1モル)およびジメチルジクロロシラン(Me2SiCl2)25.8g(0.2モル)に換えた他は、調製例1と同様にしてポリマー2を得た。このポリマー2の分子量は、数平均分子量Mn=780、重量平均分子量Mw=1356であった。
反応開始物質をフェニルトリクロロシラン(PhSiCl3)211.5g(1モル)に換えた他は、調製例1と同様の操作によりポリマー3を得た。このポリマー3の分子量は、数平均分子量Mn=1200、重量平均分子量Mw=2450であった。
3リットルスケールのオートクレーブにポリマー1の5重量%ピリジン溶液1000gを注入し、触媒として硫酸アンモニウムをポリマーの重量を基準として3重量%(1.5g)添加した。オートクレーブ内部を窒素でパージした後、170℃に設定したオイルバス中にオートクレーブを投入し、攪拌しながら4時間反応させた。反応終了後、混合物の温度を室温まで冷却し、溶媒であるピリジンをキシレンに置換した。
実施例1得られたポリマーAに、感光剤として1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸フェニルエステルを20重量%、増感剤とp−ビス(o−メチルスチリル)−ベンゼンを5重量%添加したコーティング組成物を得た。この組成物は、例えば特許文献1に記載されているポジ型感光性組成物と同様に使用できることがわかった。
特許文献1に記載されているメチルシラザンを用いて、実施例2と同様にコーティング組成物を調製し、MSQへの転換を行った。このときの膜厚限界は5μmではクラックが発生していた。
実施例1に対して下記の表の通りに条件を変えた他は、実施例1と同様にしてシラザン化合物を調製した。
実施例4および5で得られたポリマーを用いて、それぞれ実施例2と同様にしてポジ型のコーティング組成物を調製した。
実施例2に対して、ポリマーAをポリマー2に変えた他は、同様にしてコーティング組成物を調製し、膜厚限界を評価した。このとき膜厚5μmではクラックが発生していた。
実施例1、3〜5、および比較例2で得られた化合物の分子量安定性を調べた。角化合物を酢酸ブチルに溶解させ50重量%の溶液とした。この溶液をそれぞれ100ccのガラスビンに入れ、40℃の環境に1ヶ月放置し、分子量の変化を比較した。
Claims (10)
- 式Si8N12で表され、6面体の頂点の位置にSi原子が配置され、隣接するSi原子同士がN原子を介して結合されているSi8N12構造単位を有することを特徴とする、シラザン化合物。
- Si原子に、水素、炭素数1〜6のアルキル基、およびフェニル基からなる群から選ばれる基がさらに結合している、請求項1に記載のシラザン化合物。
- 一般式
(RSi(NH)1.5)8 (I)
(式中、それぞれのRは同一であっても異なっていてもよく、水素、炭素数1〜6のアルキル基、およびフェニル基から選ばれる基である)
で表される、請求項1または2に記載のシラザン化合物。 - 連結基で結合された複数の前記構造単位を含んでなる、請求項1に記載のシラザン化合物。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載のシラザン化合物と前記Si8N12構造を有していないシラザン化合物との混合物。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載のシラザン化合物、または請求項5に記載の混合物および有機溶媒を含んでなることを特徴とする、コーティング組成物。
- 感光剤をさらに含んでなり、感光性を有するものである、請求項6に記載のコーティング組成物。
- 請求項6または7に記載のコーティング組成物を、基板上に塗布し、150〜1100℃の温度で焼成することを特徴とする、シリカ質材料の製造法。
- 焼成に先立って、コーティング組成物を水蒸気分圧が1kPa以上存在する雰囲気中で加湿処理を行う、請求項8に記載のシリカ質材料の製造法。
- 一般式
(RSi(NH)1.5)n (R’2SiNH)m (II)
(式中、RおよびR’は水素、炭素数1〜6のアルキル基、およびフェニル基から選ばれる基であり、それぞれのRおよびR’は、同一であっても、異なっていてもよく、nは1〜1500であり、mは0〜1500である)で表されるシラザンポリマーを、アンモニアまたは無機アンモニウム塩の存在下、60〜200℃の温度で改質処理する、シラザン化合物の製造法。
Priority Applications (1)
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Country | Link |
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JP (1) | JP4574238B2 (ja) |
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