JPH11250764A - 抵抗膜型透明タッチパネル - Google Patents

抵抗膜型透明タッチパネル

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JPH11250764A
JPH11250764A JP6475298A JP6475298A JPH11250764A JP H11250764 A JPH11250764 A JP H11250764A JP 6475298 A JP6475298 A JP 6475298A JP 6475298 A JP6475298 A JP 6475298A JP H11250764 A JPH11250764 A JP H11250764A
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JP
Japan
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transparent
touch panel
thin film
film
touch
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Application number
JP6475298A
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Kazuhiro Noda
和裕 野田
Hirotoshi Satou
博十志 佐藤
Yukio Murakami
雪雄 村上
Koutarou Tanimura
功太郎 谷村
Shuji Furukawa
修二 古川
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Gunze Ltd
Original Assignee
Gunze Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H2209/00Layers
    • H01H2209/024Properties of the substrate
    • H01H2209/038Properties of the substrate transparent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H2209/00Layers
    • H01H2209/068Properties of the membrane
    • H01H2209/082Properties of the membrane transparent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H2231/00Applications
    • H01H2231/004CRT

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  • Silicon Polymers (AREA)
  • Position Input By Displaying (AREA)
  • Manufacture Of Switches (AREA)
  • Push-Button Switches (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、より高い透明性と視認性及び耐摩
耗性をもって、更にニュートンリングの発生しない抵抗
膜型透明タッチパネルを提供する。 【解決手段】 膜厚20〜55nmの酸化ケイ素薄膜層
(2)を中間層として介在するタッチ側透明電極(T)
とディスプレイ側透明電極(D)とが、絶縁スペーサ
(6)を介して対向配置してなる抵抗膜型透明タッチパ
ネルにおいて、該タッチ側又は/及びディスプレイ側の
上面に積層されているITO等による透明薄膜電極
(3、5)の表面が、Ra=0.05〜2μm、Rma
x=0.6〜2.5μmの無数の微細凹凸による粗面
(7)を有している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、高い透明性と視認
性を維持し、より高い耐摩耗性(ペン摺動に対する)と
共に、ニュートンリングの発生しない高度に改良された
抵抗膜型透明タッチパネルに関する。
【0002】
【従来の技術】一般に抵抗膜型透明タッチパネル(以
下、単にタッチパネルと呼ぶ。)は、ディスプレイ側に
ITO(Indium Tin Oxide)等の透明電極を設けたガラ
ス板を、そして、タッチ側には同様に薄膜透明電極を設
けたフレキシブルな透明樹脂フィルム(例えば、ポリエ
チレンテレフタレートフィルム)を用いて、該電極面を
絶縁スペーサを介して対向配置して作られた一つのフラ
ットパネルデバイスであり、これは液晶ディスプレイ、
CRTディスプレイ等と組み合わされて使用されてい
る。
【0003】ところで、タッチパネルの用途拡大と共
に、品質、性能面における要求も厳しくなり、特に透明
性、視認性、耐摩耗性の一層の改良が求められるように
なった。そこで、本発明者らは、先に、これらの課題を
解決するための新たな手段を見出し、例えば特開平8−
64067号公報又は特開平9−237159号公報で
公開されている。
【0004】前記各号公報は、従来のタッチパネルを構
成するタッチ側又はディスプレイ側のITO等による薄
膜透明電極に関し、膜厚を特定した酸化ケイ素層を中間
介在せしめることによって達成しようとするものであ
る。つまり、特開平8−64067号公報では、透明フ
ィルム上に、まず100〜600Åの酸化ケイ素薄膜層
を設け、その上にITO薄膜層を設けるものであり、一
方、特開平9−237159号公報は、前記特開平8−
64067号公報の更なる改良として、特にペルヒドロ
ポリシラザンの化学的分解により形成される膜厚20〜
55nmの二酸化ケイ素コーティング薄膜層を設け、そ
の上にITO等の薄膜層を設けるものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが最近新たに、
光干渉によって生じるニュートンリングに関する問題が
提起され、早急に解決する必要が生じた。このニュート
ンリングは、タッチパネルのタッチ側をペン又は指でタ
ッチして情報入力を行う際に、そのタッチ点を中心に虹
色の縞模様がリング状に発生する現象である。
【0006】更に、このニュートンリングはタッチパネ
ル自体のサイズが大きくなるほど発生しやすくり、これ
が発生すると視認性が極めて悪くなる。視認性とは、画
面が見やすく気持ちよく(いらつかないで)入力動作で
きる性能をいうが、入力動作の度にニュートンリングが
発生すると、常に目に入るため気持ちよく入力動作がで
きなくなる。更に、このタッチパネルが液晶ディスプレ
イと組み合わせて使用されると、該ディスプレイからの
カラー画像とニュートンリングによる虹模様とがオーバ
ーラップし、更に視認性を悪くすることにもなる。また
特に連続的に速く入力動作を行う場合に、ニュートンリ
ングが残存していると、次に入力動作が遅くなるとか誤
入力してしまうという問題も発生することになる。つま
り、タッチパネルにおけるニュートンリングの問題も、
他の必要な特性向上と共に、極めて重要な解決課題であ
る。
【0007】本発明は、より改良された透明性と視認
性、更には耐摩耗性の上に立って、これにニュートンリ
ングが発生しない特性を付与したタッチパネルを開発す
ることを課題とし、鋭意検討した結果、その解決手段を
見出し達成したものである。それは次のような手段を講
ずるものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】即ち本発明は、請求項1
に記載して明らかにするように、透明樹脂フィルム
(1)の片面に、膜厚20〜55nmの酸化ケイ素薄膜
層(2)と透明薄膜電極層(3)とが順次積層されてい
るタッチ側透明電極(T)と、透明板(4)の片面に透
明薄膜電極層(5)が積層されているディスプレイ側透
明電極(D)とが、その透明薄膜電極層(3、5)を対
向して、絶縁スペーサ(6)を介して配置されてなる抵
抗膜型タッチパネルにおいて、タッチ側又は/及びディ
スプレイ側の透明薄膜電極層(3、5)の表面が、中心
線平均粗さ(Ra)0.05〜2μm、その最大高さ
(Rmax)0.6〜2.5μmの無数の微細凹凸によ
る粗面(7)を有することを特徴とする抵抗膜型透明タ
ッチパネルである。そして請求項2〜3では、請求項1
に従属するものとして好ましい形態での発明として提供
するものである。以下に本発明を詳述する。
【0009】
【発明の実施の形態】まず、本発明の前提となるタッチ
パネル(抵抗膜型透明タッチパネル)について説明す
る。図1に示したように、該タッチパネルにおけるタッ
チ側透明電極(T)の構成基体である透明樹脂フィルム
(1)としては、一般には厚さ約0.1〜0.2mm、
全光線透過率(以下、Ttと略す)が約80%以上あっ
て、更に耐熱性、耐屈曲性、耐溶剤特性等にも優れてい
て、柔軟的で回復弾性に富むフィルム状物が使われる。
具体的には二軸延伸された透明なポリエチレンテレフタ
レートフィルム(以下、PETフィルムと呼ぶ)をはじ
め、他に、例えば、ポリエチレンナフタレートフィル
ム、ポリエーテルスルホンフィルム、ポリカーボネート
フィルム、ポリアリレートフィルム、ポリスルホンフィ
ルム、非晶性ポリエステルフィルム、非晶性ポリオレフ
ィンフィルム等を挙げることができる。
【0010】そして、前記透明樹脂フィルムの片面に、
まず膜厚20〜55nm、好ましくは30〜50nmの
酸化ケイ素薄膜層(2)を設ける。限定された該薄膜層
が形成されていることで、ITO等による透明薄膜電極
層のみの場合に比較して全体としてのTtがより向上す
ると共に、タッチ入力動作によって直接タッチする該電
極層の耐摩耗性(長期間の使用でも該電極層が摩耗する
とかクラックの発生がないこと)において極めて優れた
状態となる。更に、本発明における前記透明薄膜電極層
表面が粗面状態にあっては前記特性が失われることな
く、より向上することとなる。つまり、膜厚20〜55
nmの酸化ケイ素層と、後述する該電極層表面に設けら
れている前記特定範囲にある無数の微細凹凸にある粗面
(7)とは、不可避的に結合されていることになる。具
体的には、該電極層表面の該特定範囲にある粗面であっ
ても、20nm未満では特に透明性が悪く耐摩耗性にも
劣り、そして55nmを越えるとクラックが発生し易く
なり摩耗性が悪くなるばかりか、淡黄色の色感を発現し
人間の目に対し好ましくない状況となる。
【0011】前記酸化ケイ素薄膜層(2)の形成手段
は、特に限定されないが、一般にはスパッタリング法、
真空蒸着法、CVD法等の薄膜形成手段とペルヒドロポ
リシラザン又は多官能アルコキシシランを原料とし、こ
れらのコーティングによって形成するコーティング法と
を例示することができる。
【0012】例えば、前記スパッタリング法では、ま
ず、一般的に好ましく行われる前記PETフィルムなど
の透明樹脂フィルムの片面を脱脂洗浄とかコロナ、グロ
ー等による放電を前処理として行った後、ターゲットと
して二酸化ケイ素や導電性不純物を添加したケイ素と該
フィルムをスパッタリング装置の真空槽内に対峙してセ
ットする。そしてアルゴン等の不活性ガス又は該ガスに
酸素を混合し該槽内に導入することで、該槽内の真空度
を10-1〜10-3Torr程度に保つ。そして高周波又
は直流マグネトロン方式によってスパッタ蒸着して、2
0〜55nmの薄膜を形成する方法である。
【0013】一方、コーティング法として例示するペル
ヒドロポリシラザンによる酸化ケイ素薄膜層は、まず前
記透明樹脂フィルムの片面に、該ポリシラザンの有機溶
媒溶液(例えばキシレン、デカヒドロナフタレン等の芳
香族化合物とかジブチルエーテル等の脂肪族エーテル等
を溶媒として固形分濃度を数%にした溶液)を、スピン
コーティング、ディップコーティング、スプレーコーテ
ィング、ロールコーティング等の方法によってコーティ
ングする。次にこのコーティングされた該ポリシラザン
面を脂肪族アミン(例えばトリエチルアミン)を蒸気化
し、これと水蒸気とを混合した混合蒸気雰囲気下に放置
する。最後に100℃前後、相対湿度80%前後の高温
高湿雰囲気下に数分間放置すると、該ポリシラザンは化
学的に分解して二酸化ケイ素に変化し、20〜55nm
の膜厚で形成される。この該ポリシラザンの二酸化ケイ
素への分解手段には、他に、例えばナトリウムアルコラ
ート、アセチルアセトナート錯体(例えばパラジウム錯
体)を分解促進剤として添加し湿気中で加熱することで
も可能であるので、その方法には特に限定されない。
【0014】尚、前記ポリシラザンは、例えば東燃株式
会社から低温硬化型ポリシラザン溶液(例えばN−V1
10)として上市されている。この化学構造は基本的に
は下記化1(nは重合度)で示されるが、下記化2に示
す不規則な環状構造のものが共存することもある。
【0015】
【化1】
【0016】
【化2】
【0017】前記ポリシラザンの分子量は、あまりに高
分子量であると有機溶媒に対する溶解性が低下すること
と、二酸化珪素への反応活性も低下するので望ましくな
い。望ましい分子量は、約600〜2,000であり、
オリゴマと呼ばれる程度のポリマであるのが好ましい。
尚、化1又は化2において、水素原子が、例えば、アル
キル基によって置換されたポリオルガノシラザンの若干
の共存は許されるにしても、実質的には除外される。こ
れは、より均質な二酸化珪素コーテング層形成にとって
有効でないからである。また、該ポリシラザンは、例え
ば、ジクロロシランとピリジンとの錯体にアンモニアを
注入し、アンモノリシスを行うことで合成できる。
【0018】次に、多官能アルコキシシランによるゾル
−ゲル法によるコーティングについて説明する。まず、
該アルコキシシランはアルコキシ基の2〜4個を結合す
るシラン化合物で、具体的に例えばジメトキシジメチル
シラン、トリメトキシメチルシラン、テトラメトキシシ
ラン、ジエトキシジエチルシラン、トリメトキシエチル
シラン、テトラエトキシシラン等が挙げられる。中でも
アルコキシ基を3〜4個結合するアルコキシシランが二
酸化ケイ素への変化を効率的に行うことができるので好
ましい。
【0019】そして前記多官能アルコキシシランを水と
アルコール類と触媒(塩酸など)の混合液に混合する。
各成分の混合比は予備実験により最適値を求めて決めら
れるが、一例を挙げれば、該アルコキシシラン1モルに
対して水2モル、アルコール類(主としてエチルアルコ
ール)6モル、塩酸0.03モルの割合である。得られ
たゾル−ゲル液は、前記したペルヒドロポリシラザンに
例示するコーティング方法によって透明樹脂フィルムに
コーティングする。コーティングが終了したら、常温で
放置し、予め溶媒を蒸発除去して、最後に所定温度(一
般に100℃前後)で加熱する。コーティングされてい
る該アルコキシシラン層は分解して二酸化ケイ素に変化
する。尚、前記ゾル−ゲル液は、例えばコルコート株式
会社からコルコートN−103Xとして上市されてい
る。
【0020】以上、膜厚20〜55nmの酸化ケイ素薄
膜層の形成手段について例示したが、中でも後者二つの
コーティング法による形成が好ましい。これは、スパッ
タリングなどの薄膜形成手段では、淡い黄色に着色しや
すく、視認性の低下につながることと、後述する微細凹
凸による粗面化において、中心線平均粗さとその最大高
さとが所望する通りに得られにくく、コントロールしに
くい。一方、後者二方法においては、完全に無色透明で
あり視認しやすく、該粗面化において中心線平均粗さと
その最大高さとが所望する通りに得られ、コントロール
しやすいことによるものである。
【0021】尚、前記色感が異なることについては、形
成さされる酸化ケイ素の二酸化ケイ素からの化学量論的
ずれに起因するものと考えられる。つまりスパッタリン
グ等の薄膜形成法では、形成される酸化ケイ素がSiO
x(x=1〜1.9)で示されるもので、SiOやSi
2O3なども共存している状態である。これらの共存によ
り、二酸化ケイ素よりも屈折率が高くなるとともに可視
光領域での光吸収が生じる。しかし、ペルヒドロポリシ
ラザンや多官能アルコキシシランのコーティングからな
る酸化ケイ素層は純粋な二酸化ケイ素に近くなっている
ため、屈折率も小さく光吸収も生じない。
【0022】前記酸化ケイ素層は、タッチ側透明樹脂フ
ィルムには必須とするが、ディスプレイ側の透明板
(4)にも前記同様形成してもよい。もちろん、これら
各基板の両サイドに同様設けることには制限はない。
【0023】次に、タッチ側では膜厚20〜55nmの
酸化ケイ素層の上に、ディスプレイ側では透明板(4)
の片面に積層する透明薄膜電極層(3、5)について説
明する。
【0024】前記両者の透明薄膜電極層(3、5)の形
成材料は、一般には共通してITO(酸化インジウムに
錫をドーピングした酸化インジウム錫)に代表される
が、他に、例えば、二酸化錫をアンチモン又はフッ素で
ドーピングした酸化錫アンチモン(ATO)、又は、酸
化錫フッ素(FTO)、酸化亜鉛をアルミニウムでドー
ピングした酸化亜鉛アルミニウム(AZO)等のドーピ
ング金属酸化物とか、酸化インジウムと酸化亜鉛の複合
酸化物など、ドーピングしない金属酸化物等でもよいの
で、特に制限はない。尚、これらの例示の中で、両者材
質の異なる該電極層としてもよい。
【0025】そして前記透明薄膜電極層の 形成手段
は、一般に行われるスパッタリング法、真空蒸着法、C
VD法、イオンプレーティング法等のいずれかの方法に
よるが、操作条件的にも迅速さの点でもスパッタリング
法が好ましく利用される。このスパッタリング法は、例
えば前記ITO等の金属酸化物の焼結体をターゲットと
して前記被体とを、スパッタリング装置の真空槽内に対
峙してセットする。そしてアルゴン等の不活性ガス又は
該ガスに酸素を混合し該槽内に導入することで、該槽内
の真空度を10-1〜10-3Torr程度に保つ。そして
高周波又は直流マグネトロン方式によってスパッタ蒸着
して、所定厚みの透明電極薄膜を形成する方法である。
【0026】前記透明薄膜電極層の膜厚は限定されない
が、10〜40nmとするのが望ましい。これはタッチ
パネルとして必要な導電性(一般には200〜1KΩ/s
q.)、透明性、摩耗性、後述する微細凹凸による表面粗
面化のための加工性等から最も有効であるからである。
【0027】前記ディスプレイ側の透明板(4)は、タ
ッチ側透明電極からのタッチ押圧に対して湾曲したり窪
んだりしないことも必要であるので、硬直な透明板が使
用され、その厚さは材料によるが、一般には0.5〜2
mm程度である。しかし透明性の点からは可能な限り薄
い方が望ましい。材料としては、一般に無機ガラス板が
用いられるが、取り扱い性、軽量化の点から、最近はこ
れをプラスチック板に置き換えることも行われている。
該プラスチック板の場合には耐熱性、耐薬品性、機械的
性質も考慮して決める必要があるが、例示すると次のも
が挙げられる。例えば、環状ポリオレフィン、ポリカー
ボネート、ジエチレングリコールビスアリルカーボネー
ト、ポリメチルメタアクリレート、ポリスチレン、メチ
ルメタアクリレートとスチレンとの共重合体、スチレン
とアクリルニトリルとの共重合体、ポリエーテルスルホ
ン、ポリスルホン、ポリ(4−メチルペンテン−1)、
ポリアリレート、非晶性ポリエステル(一般にA−PE
Tと呼ばれる)等による板状体である。
【0028】前記プラスチック板の場合、実用されてい
るのはポリカーボネート板であるが、小サイズでしかも
用途限定されて使用されるにとどまっている。この理由
はポリカーボネート板は、耐衝撃性には優れているが、
他の樹脂に比較して吸水性が大きいことや耐熱温度が低
い等の理由からスパッタリング等の真空成膜には、十分
満足できる材料ではない等によるものである。これらの
問題に対して解決できる手段は、特に環状ポリオレフィ
ンとの複合透明板を使用することである。ここで環状ポ
リオレフィンと複合する他の透明板は無機ガラス板をは
じめ、前記例示するプラスチック板のいずれであっても
よいが、タッチパネルとして必要な寸法安定性等の特性
が総合的により高いレベルで発現できる点から、無機ガ
ラス板又はポリカーボネート板との複合が望ましい。
【0029】環状ポリオレフィンは、環状オレフィンが
主成分となって主鎖中に結合されているポリマで、直鎖
オレフィンによるポリマの結晶性を非晶性にかえ、かつ
より高い透明性、低複屈折性、耐熱性、耐薬品性等が付
与されたもので、一般的に知られているものの全てをい
う。該ポリマは環状オレフィンとしてよく知られ、また
実用されているものはノルボルネンであるが、このノル
ボルネン自身を開環重合した後、水添して得た単独環状
ポリオレフィンと、ノルボルネンとエチレンなどの直鎖
オレフィンとの付加重合による共重合環状ポリオレフィ
ンの2つに代表される。単独環状ポリオレフィンとして
知られているものに、日本合成ゴム株式会社から上市さ
れている“アートン”(商標)と日本ゼオン株式会社か
ら上市されている“ゼオネックス”(商標)があり、共
重合環状ポリオレフィンポリマとしては、三井化学株式
会社から上市されている“アペル”(商標)がある。
【0030】前記複合において、環状ポリオレフィンは
被複合板よりも薄い厚さで複合するのがよい。これは、
被複合板自身の有効な特性を残して、該ポリオレフィン
の特性を相乗させることができるからである。その厚さ
は、0.05〜0.3mm程度とし、全厚を0.5〜2
mmに調整するのがよい。そして、その複合方法は、一
般に別途成膜して得た厚さ0.1〜0.4mmの該環状
ポリオレフィンフィルムを透明接着剤を介して接着複合
するか、又は該ポリオレフィンの有機溶媒溶液を使って
これをコーティングし乾燥して複合するかのいずれかの
方法で行う。
【0031】そして、複合は少なくとも透明薄膜電極層
(5)が積層される側の被複合板の片面に行うのはもち
ろんであるが、両面に行ってもよい。両面を複合した場
合、被複合板をより薄くできるので、より軽量で寸法安
定性等に優れる複合透明板が得られるので望ましいこと
である。
【0032】前記複合透明板の場合のITO等による透
明薄膜電極層の形成は、前記と同様条件にて行うが、予
め成膜された環状ポリオレフィンフィルムを使って接着
複合する場合には、該フィルムの段階で該透明薄膜電極
層を形成しこれを被複合板に接着複合するという手段で
行うのがよい。これは、複合板化された後にスパッタリ
ングする場合、該板から水や残留有機溶剤などの不純物
ガスが大量に放出されるので、その結果所望するITO
等の透明薄膜電極層の膜質が得られないことや、他にス
パッタリングそのものがバッチ生産となり連続生産でき
ないことによる。前記、ポリカーボネート板単独での欠
点として説明した、より高い導電性が付与できない理由
は、環状ポリオレフィンに対して、ポリカーボネートの
熱変形温度が低くて、より高い温度でのITO等のスパ
ッタリングができないということである。
【0033】尚、前記透明薄膜電極層は、タッチパネル
の情報入力形式によって3つの電極パターンがあるが、
本発明ではいずれも対象となる。この電極パターンの一
つはタッチ側もディスプレイ側も全面に設けられている
面状パターンで、これによってなるアナログ方式、もう
1つはストライプ状パターンでこれを交叉してなるマト
リックス方式、3つ目は面状パターンとストライプ状パ
ターンで、これによってなる混成方式である。
【0034】そして、絶縁スペーサは一般にタッチ側透
明電極(T)とディスプレイ側透明電極(D)との間に
おいて、タッチによるスイッチON/OFF動作のため
に設けられるものであり、その作製法、サイズ、配置位
置と数量については一般に行われているものでよく、特
に規制するような条件はない。しかし、該スペーサの大
きさ、特に高さについては、後述する透明薄膜電極層に
設ける粗面化における微細凹凸の最大高さ(Rmax)
0.6〜2.5μmよりも高い絶縁体でなければならな
い。他はスイッチング動作が円滑に行われるように必要
最小限の条件を維持すればよい。例示的に示せば、ディ
スプレイ側に設けられている透明薄膜電極層の上に、接
地面積0.001〜0.003mm2、高さ4〜10μ
m、ピッチ3〜5mmの大きさと間隔をもって、アクリ
ル系の透明硬化性樹脂を使って、スクリーン印刷等の印
刷法により植設する。
【0035】以上のように説明する抵抗膜型透明タッチ
パネルにおいて、本発明では更に、特にタッチ側又は/
及びディスプレイ側の上層に設けられている透明薄膜電
極層(3、5)の表面が平滑ではなく中心線平均粗さ
(以下Raと略す)0.05〜2μm、好ましくは0.
07〜1.5μm、その最大高さ(以下Rmaxと略
す)が0.6〜2.5μm、好ましくは1〜2μmであ
る無数の微細凹凸の粗面をもってなることが必要であ
る。以下このことについて説明する。
【0036】まず、前記した範囲での粗面であることに
よって、少なくとも本発明において前提となる抵抗膜型
透明タッチパネルの本来有する透明性も視認性及び耐摩
耗性をも維持し、新たに発生したニュートンリングの欠
点を一挙に解決することができるのである。そして、こ
の粗面化により、更に視認性と耐摩耗性をも向上させる
ことができるようになった。これらの効果は、その粗面
が前記の特にRaとRmaxの範囲にあって、はじめて
得られるものである。つまりRaにおいては0.05μ
m未満では、あまりにも微細凹凸粗面であるためにニュ
ートンリングの発生を完全に防止することができなくな
るのはもちろん、耐摩耗性の向上もみられなくなる。一
方、2μmを超えると、全体的に白っぽく視認され、従
って透明性が維持できなくなる。
【0037】一方、Rmaxについては前記Raの中
で、その凹凸の高さを更に0.6〜2.5μmに特定す
るものであり、従って仮にRa=0.05〜2μmであ
っても、それはRmax=0.6〜2.5μmの範囲以
内でなければならないということである。つまり0.6
μmより小さいと透明薄膜電極層の表面はより微細なマ
ット状面となるので、ニュートンリングの発生が完全に
防止できなくなる。逆に2.5μmを超えると、Ra=
2μmの粗面中に、より高い凹凸が抜きんでて存在して
いる表面状態になり、光が乱反射され視認性を悪くす
る。更には、絶縁スペーサの高さと同等又はそれ以上に
なる場合があるので、タッチ側とディスプレイ側との透
明薄膜電極層が非常に接し易くなる又は常に接している
状態になり、絶縁スペーサの機能を果たさず、タッチパ
ネルとして使用できない。
【0038】前記の粗面は、一般にはタッチ側の透明薄
膜電極層(3)の表面に設けるが、これをディスプレイ
側の透明薄膜電極層(5)の表面又はこれら両側の該表
面に設けてもよい。
【0039】そして、前記Ra=0.05〜2μm、R
max=0.6〜2.5μmの無数の微細凹凸を設ける
手段については、次の3つが例示できるが、これらに特
定されるものではない。
【0040】その一つの方法は、まず、基体となるタッ
チ側の透明樹脂フィルム又はディスプレイ側の透明板
(プラスチックの場合)一面に、エンボス加工された金
属ロールを使ってエンボス加工し、所望とする粗面に賦
形する。ここで金属ロール面に加工された凹部の粗面
は、該フィルム又はプラスチック板面に賦形されるが、
一般にはそのまま再現されることはなく、ある割合でも
ってより小さい粗面で賦形される場合が多い。従って、
必要とするRa=0.05〜2μm、Rmax=0.6
〜2.5μmに対して、どれだけの大きさの凹部を金属
ロール面に作製するのがよいかは、予備実験を行って決
めることになるが、金属ロール面の表面粗さは大略Ra
=0.5〜4μm、Rmax=5〜20μmを目標とす
ればよい。
【0041】前記エンボス金属ロールは、一般に機械や
レーザー彫刻又は写真製版と化学エッチング法によって
作製されるが、これによるエンボス加工条件は一般には
次の通りである。該金属ロールに対峙して受けロールを
設け、この間を線圧約10〜50Kg/cm、ローリン
グ速度2〜10m/min、透明樹脂フィルム又はプラ
スチック板の軟化点より20〜30℃低く設定した加熱
条件下に、透明樹脂フィルム又はプラスチック板を通し
てローリングプレス加工する。
【0042】二つ目の方法は、コーティングによる方法
である。これは一般にシリカ透明微粉体を透明樹脂(ア
クリル系樹脂の場合が多い)に分散混合し、これを前記
透明樹脂フィルム又は透明板(無機ガラス板又はプラス
チック板)の一面にコーティングする。分散するシリカ
微粉体によって、所望するRaとRmaxとの粗面を得
るものである。該微粉体の大きさ、該透明樹脂に混合す
る量によってRaとRmaxとはその範囲をコントロー
ルできるので、最適条件は予備実験によって決めること
になる。尚、このコーティングを前記環状ポリオレフィ
ンとの複合板で行なう場合には、まず、このコーティン
グを環状ポリオレフィンのフィルムに行なって、これを
透明板に接着剤等で貼合する方法を採るのがよい。
【0043】以上に例示する方法は、予め粗面付与され
たタッチ側又はディスプレイ側の透明基体を使って、こ
れに前記する手段によってタッチ側では20〜55nm
の酸化ケイ素薄膜層と透明薄膜電極層とを順次積層し、
ディスプレイ側では透明薄膜電極層を積層する。その結
果得られた上層の各透明薄膜電極層の表面にはRa=
0.05〜2μm、Rmax=0.6〜2.5μmの無
数の微細凹凸が付与されていることになる。
【0044】三つ目の方法は、前記と異なり、前記した
手段にて積層し得られたタッチ側又はディスプレー側の
透明薄膜電極層面に前記したエンボス金属ロールをあて
て、直接ローリングプレスして、該電極層表面にRa=
0.05〜2μm、Rmax=0.6〜2.5μmの無
数の微細凹凸を賦形するものである。ここでのエンボス
加工条件なども、前記の透明基体に賦形する場合と実質
的に差はないが、特にタッチ側の透明薄膜電極層面に賦
形する場合には、下層の酸化ケイ素層にクラックが生じ
る場合があるので、十分に注意する必要がある。かかる
点から、この3つ目の方法による場合は、ディスプレイ
側の透明電極層にエンボス加工して所望の粗面とする方
法を採るのがよい。
【0045】以上に説明した本発明による抵抗膜型透明
タッチパネルの製造手段の中で好ましい方法は次の2つ
の場合である。
【0046】まず、その一つはタッチ側の透明樹脂フィ
ルムの一面を前記エンボス加工して、所定の粗面を形成
し、次にその粗面に前記のペルヒドロポリシラザン溶液
又は多官能アルコキシシランのゾル−ゲル液をコーティ
ングし、各々二酸化ケイ素に分解して20〜55nmの
二酸化ケイ素層を形成し、最後にスパッタリングにより
ITO等の透明薄膜電極層を積層して得たRa=0.0
5〜2μm、Rmax=0.6〜2.5μmの粗面より
なるタッチ側透明電極と、スパッタリングによるITO
などによって無機ガラス板又はプラスチックの板面に透
明薄膜電極層を設けたディスプレイ側透明電極とを、該
ディスプレイ側透明薄膜電極層に植設した絶縁スペーサ
ーを介して対向配置して得るものである。なお、前記の
酸化ケイ素薄膜層の形成については、ペルヒドロポリシ
ラザン溶液又は多官能アルコキシシランのゾル−ゲル液
によるコーティング法が、二酸化ケイ素や場合によって
は更に他の導電性不純物を添加したケイ素のスパッタ蒸
着による形成よりも好ましいのは、前記した色感とかよ
り高い透明性の発現効果以外に、ニュートンリング防止
のために付与されるRa=0.05〜2μm、Rmax
=0.6〜2.5μmの粗面を形成するのにコントロー
ルしやすいからである。つまり、コーティング法では、
凹凸部の凸部分よりも凹部分に厚くコーティングされる
ことになるので、規格外の凹部分(Rmaxを左右す
る)があっても埋まってしまうため、得られたRaとR
maxは上記範囲に入りやすい。
【0047】もう一つは、タッチ側の透明樹脂フィルム
の片面に、前記したペルヒドロポリシラザン溶液又は多
官能アルコキシシランのゾル−ゲル液をコーティングし
て化学的に分解して、20〜55nmの酸化ケイ素薄膜
層を形成し、その上にITO等をスパッタ蒸着して透明
薄膜電極層を積層して得たタッチ側透明電極と、環状ポ
リオレフィンフィルムの片面に、前記エンボス加工又は
シリカ微粉体を含有する透明樹脂をコーティングして粗
面化し、その上にITO等をスパッタ蒸着して透明薄膜
電極層を積層して得たRa=0.05〜2μm、Rma
x=0.6〜2.5μmのディスプレイ側透明電極を、
プラスチック板又は無機ガラス板と貼り合わせて得た複
合透明板とを、該ディスプレイ側透明電極面に植設した
絶縁スペーサを介して、対向配置して得るものである。
【0048】
【実施例】以下、本発明を比較例と共に、実施例によっ
て更に詳述する。なお、本文中または該例中でいうRa
とRmax、透明性、耐摩耗性及びニュートンリングは
次のように測定して、これによって表現したものであ
る。
【0049】○RaとRmax・・・(株)東京精密製
の表面粗さ形状測定器“サーフコム570A”型で測定
した値である。
【0050】○透明性・・・全光線透過率[%]Ttで
示し、これは、各々の検体についてJIS K7105
(1981)に基づいて、株式会社日立製作所製のU−
3410型分光光度計によって測定した波長300〜8
00nmの透過量を%で示す。これが大きい程透明性は
高いことになる。
【0051】○耐摩耗性・・・各例において作製された
タッチパネルを用いて、ポリアセタール製のペン先(R
=0.8mm)へ250g又は500gの加重を行い、
タッチ側の同位置を往復摺動する。摺動距離は50mm
で、片道1回と数え、これを5〜10〜20万回行う。
そして、所定回数に達したら、次の方法によって摺動部
で発生した電位差ΔVを測定し、印加電圧(5V)で除
して、耐久性として%で示す。この値が小さいほど、耐
摩耗性に優れていることになる。電位差ΔVの測定方法
は以下の通りである。まず、所定回数を摺動したら、タ
ッチ側の透明電極を外して、これを図2に示す測定回路
にセットする。そして、両端の銀ペースト電極Agに5
Vの電圧を印加する。そして、測定回路8の+極側に設
けられている探針9で、ペン摺動の軌道10と垂直に、
透明薄膜電極層表面を1mm間隔で触針しつつ、電位差
計Vcの値を記録する。ペン摺動により、積層されてい
る透明薄膜電極層が大きく摩耗し又はクラック等が入っ
た場合は、摺動部分で大きな電位差ΔVが発生すること
となるので、摩耗又はクラック等がない場合の理想電圧
勾配曲線から大きく外れることとなる。
【0052】○ニュートンリング・・・各例において作
製されたタッチパネルのタッチ面をポリアセタール製の
ペン先(R=0.8mm)でランダムにピンポイント的
に30点タッチする。タッチ点周辺で虹色の干渉縞が発
生しないかどうかを目視により確認する。
【0053】(実施例1)まず、厚さ188μm、幅3
50mmの二軸延伸PETフィルムロール(Tt=8
8.8%)の片面を次の条件でエンボス加工した。 ○エンボス金属ロール・・・レーザー彫刻によって、R
a=1.9μm、Rmax=18.4μmの粗面とした
表面クロムメッキロール ○プレス圧力(線圧)・・・35Kg/cm ○プレス温度(金属ロールの表面温度)・・・175℃ ○プレス速度・・・3m/min 以上によって賦形されたPETフィルム面の表面粗さ
は、Ra=0.14μm、Rmax=1.18μmであ
った。
【0054】次に前記得られたエンボスPETフィルム
の粗面に、5重量%のペルヒドロポリシラザンを溶解し
たm−キシレン溶液をロールコーティングし、m−キシ
レンのみを蒸発除去して、その後トリエチルアミン蒸気
を含む水蒸気に接触させた後、最後に95℃、RH85
%雰囲気下に5min放置した。得られたコーティング
層面をXPS(X−ray Photospectro
scopy)でチェックしたところ、ほぼ完全な二酸化
ケイ素膜であることを確認した。そして、二酸化ケイ素
薄膜の厚さは、平均厚みで約50nmであった。また、
Tt=89.5%、Ra=0.11μm、Rmax=
0.94μmで、コーティング前と比して、かなり白濁
が少なくなり透明感が増した。
【0055】次に、前記得られたPETフィルムを横1
00×縦120mmに裁断し、このフィルム上の二酸化
ケイ素薄膜層の全面に、次の条件にてITOをスパッタ
リングして、透明薄膜電極層を積層した。 ○スパッタ方式・・・直流マグネトロン ○ターゲット・・・ITO(酸化インジウムスズ)の焼
結体 ○フィルム温度・・・100℃ ○真空度・・・2×10-3Torr(Arに酸素を4.
5%混合したガス) ○投入電力・・・0.8kW ○成膜時間・・・5sec 積層されたITO電極薄膜層の膜厚は25nmであっ
た。また、Tt=88.1%、Ra=0.11μm、R
max=0.94μmであった。以下、薄膜を積層して
得たフィルムを、タッチ側PET透明電極と呼ぶ。
【0056】一方、厚さ1.1mm、横100×縦12
0mmの無機ガラス板(Tt=91.6%)を準備し、
この一面に前記同一条件にてITOをスパッタリングし
て、ITOの透明薄膜電極層を積層した。積層したIT
O薄膜電極層の厚さは26nmであり、Tt=91.0
%で表面は平滑であった。以下これをディスプレイ側ガ
ラス透明電極と呼ぶ。
【0057】次に、前記タッチ側PET透明電極の長手
方向の両サイドに、幅5mm、厚さ約10μmの取り出
し電極を、銀導電ペーストのスクリーン印刷により形成
した。一方、前記ディスプレイ側ガラス透明電極には、
高さ7μm、直径50μmのドットスペーサを3mmピッ
チで千鳥状に植設されるように、光硬化型アクリル系樹
脂をスクリーン印刷し、紫外線照射して硬化した。最後
に、得られた両電極を対向してタッチパネルとして組み
立てた。
【0058】前記組み立てて得たタッチパネルについ
て、まず、ニュートンリングの発生の有無をチェックし
た後、耐摩耗性(ペン摺動耐久性)と色感を調べた。結
果を表1にまとめた。
【0059】
【表1】
【0060】(実施例2)実施例1で用いたのと同じP
ETフィルムを使って、まず、この片面にコロナ放電処
理による前処理を行った。そして、この処理面に、テト
ラエトキシシラン1モルに対して水6モル、エチルアル
コール6モル及び塩酸0.03モルの割合になるように
して全体を混合したゾル−ゲル溶液をロールコーティン
グし、70℃、30secの熱風乾燥により溶媒を蒸発
除去した後、100℃で1.5hr、更に120℃で5
分間加熱した。得られたコーティング層をXPSでチェ
ックしたところ、完全な二酸化ケイ素膜であることが確
認できた。また、厚さは47nmで、Ttは89.8%
あった。
【0061】次に、前記得られた二酸化ケイ素薄膜の上
に、実施例1で行ったのと同一条件にてITOをスパッ
タリングし、膜厚24nmのITO透明薄膜電極層を全
面に積層した。このとき、Ttは88.3%であった。
ここで得られたものを、タッチ側非粗面PET電極と呼
ぶ。
【0062】一方、厚さ0.1mm、幅750mmの環
状ポリオレフィンフィルム(日本合成ゴム株式会社製の
アートン、Tt=92.5%)の片面に、粒径5μmの
シリカ微粉体を4重量%と粒径3μmのシリカ微粉体を
2重量%含有させた光硬化性アクリル系モノマ乃至オリ
ゴマを主成分とする有機溶媒(メチルエチルケトン/酢
酸エチル/イソプロピルアルコール3成分混合溶媒)溶
液をロールコーターにてコーティングし、該溶媒を蒸発
除去した後、紫外線を照射して硬化せしめた。得られた
該硬化膜の厚みは4μmで、その粗面は、Ra=0.1
4μm、Rmax=1.46μm、Tt=92.0%で
あった。
【0063】次に、フィルム温度を130℃にする以外
は同一条件にて、実施例1のPETフィルムで行ったの
と同様に、ITOをスパッタリングして、ITOの透明
薄膜電極層を全面に設けた。該ITOの電極層の膜厚は
30nmであり、その粗面はRa=0.14μm、Rm
ax=1.46μmであり、Tt=89.5%であっ
た。
【0064】一方、厚さ1.0mm、横100mm×縦
120mmのポリカーボネート板(Tt=90.0%)
に、得られた上記フィルムを、アクリル系感圧接着剤
(日東電工株式会社製HJ−9150W)を介して接着
し、複合透明板を作製した。得られた透明板のTt=8
8.0%であった。ここで得られた該板をディスプレイ
側粗面複合板電極と呼ぶ。
【0065】そして、前記タッチ側非粗面PET電極の
長手方向の両サイドに幅5mm、厚さ10μmになるよ
うに、実施例1と同様に銀導電ペーストによる取り出し
電極を設け、一方、前記ディスプレイ側粗面複合板電極
には、実施例1と同様にして同じ絶縁スペーサを植設
し、両者の電極面を対向してタッチパネルを組み立て
た。
【0066】前記得られたタッチパネルについても、実
施例1と同様にニュートンリング、耐摩耗性と色感につ
いて調べ、結果を表1にまとめた。
【0067】(比較例1)(酸化ケイ素薄膜層の膜厚が
範囲外の場合) 実施例1において、同様条件にて得られた2枚のエンボ
スによる粗面化PETフィルムの一面に、各々ペルヒド
ロポリシラザンによる二酸化ケイ素薄膜層の膜厚を15
nmと70nmに変えて積層したものを作る以外は、同
一条件にてタッチ側とディスプレイ側の透明電極を各々
作製し、以後同様にして2組のタッチパネルに組み上げ
た。該15nmの二酸化ケイ素膜厚によるタッチパネル
をタッチパネル15と呼び、同様に70nmによるタッ
チパネルをタッチパネル70と呼ぶ。各々についてニュ
ートンリングと耐摩耗性と色感を測定し、表1にまとめ
た。なお、15nmの二酸化ケイ素薄膜を積層した後、
PETフィルムの粗面は、Ra=0.13μm、Rma
x=1.10であり、同様に70nmの積層では、Ra
=0.06μm、Rmax=0.75μmであった。
【0068】(比較例2)(粗面RaとRmaxとが範
囲外である場合) 実施例1において、PETフィルムに行うエンボス加工
条件の中で、クロムめっき金属ロールの粗面を、Ra=
0.75μm、Rmax=12.5μm(以下比較ロー
ルAと呼ぶ)とRa=1.45、Rmax=25.3μ
m(以下比較ロールBと呼ぶ)に変えた2本の該ロール
を使う以外は、同一条件にてエンボス加工し、以後この
二種類の微細凹凸を有するPETフィルムを使って実施
例1と同様にして、50nmの酸化ケイ素層と25nm
のITO電極薄膜層を順次積層した。
【0069】前記比較ロールAによる場合のITO電極
薄膜層面の表面粗さは、Ra=0.03μm、Rmax
=0.95μmで、Tt=88.7%であった。一方、
比較ロールBによる場合のITO電極薄膜層面の表面粗
さは、Ra=1.45μm、Rmax=4.5μmで、
Tt=88.3%であった。
【0070】一方、ディスプレイ側の透明電極は、実施
例1と同一条件にて2枚の無機ガラス板の一面に、膜厚
25nmのITO薄膜電極層を設けて作製した。
【0071】そして、前記のタッチ側とディスプレイ側
の各々の透明電極に、実施例1と同様に銀導電ペースト
による取り出し電極と絶縁スペーサとを植設して、両者
電極面を対向して組み立て、2組のタッチパネルを得
た。
【0072】比較ロールAに基づくものをタッチパネル
A、比較ロールBに基づくものをタッチパネルBとし
て、各々についてニュートンリング、耐摩耗性、及び色
感について測定し、表1にまとめた。
【0073】(比較例3)(粗面にせず、平滑面にした
場合) 実施例1において、PETフィルムにエンボス加工をせ
ず、他は同一条件にてペルヒドロキシポリシラザンによ
る二酸化ケイ素薄膜層とITO透明薄膜電極層とを順次
積層してタッチ側透明電極を作製した。ここで積層した
該二酸化ケイ素薄膜層は50nm、ITO透明薄膜電極
層は25nmであり、Ttは90.2%であった。
【0074】そして、ディスプレイ側の透明電極は、実
施例1と同様に作製し、前記のタッチ側透明電極と対向
してタッチパネルに組み上げた。このタッチパネルにつ
いてニュートンリングと耐摩耗性を測定し、表1にまと
めた。
【0075】(比較例4)(酸化ケイ素薄膜層を中間介
在しない場合) 実施例1において、タッチ側のPETフィルムに積層し
たペルヒドロキシポリシラザンによる二酸化ケイ素薄膜
層を設けない以外は全て同一条件にて、タッチ側のIT
O透明電極とこれに対抗するディスプレイ側ガラス透明
電極とを各々作製し、以後同様にしてタッチパネルに組
み上げた。このタッチパネルについて、ニュートンリン
グと耐摩耗性とを測定し、表1にまとめた。なお、タッ
チ側ITO薄膜電極層表面の表面粗さは、Ra=0.0
2μm、Rmax=0.34μmで、Tt=87.3%
であった。このことから、二酸化ケイ素薄膜層が20〜
55nm積層されていることで、ITO透明薄膜電極層
のみの場合より、透明性が向上することを示している。
【0076】
【発明の効果】本発明は、前記の通り構成されているの
で、次のような効果を奏する。
【0077】まず、酸化ケイ素薄膜層が膜厚20〜55
nmで中間介在することで、タッチパネル全体の透明性
がより向上する。
【0078】タッチ時にニュートンリングが全く発生し
ない。この結果、画面が見やすく、文字などを短時間で
正確に読み取ることができるので、情報の入力動作を軽
快に行うことができる。また、ディスプレイの色調がそ
のまま視認されるので、心理的にもいらいらすることが
ない。
【0079】耐摩耗性(特にペン入力動作によって発生
するITO等の透明薄膜電極層の摩耗やクラックの発
生)が大きく改良される。
【0080】また、全体に無色に近い色感を有するため
に、より鮮明で見やすいタッチパネルを得ることができ
るようになった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明におけるタッチパネルの断面図を示す図
である。
【図2】耐摩耗性チェックのための測定回路図である。
【符号の説明】
1.透明樹脂フィルム 2.酸化ケイ素薄膜層 3.透明薄膜電極層 4.透明板 5.透明薄膜電極層 6.絶縁スペーサ 7.無数の微細凹凸による粗面 8.測定回路 9.探針 10.ペン摺動軌道 T.タッチ側透明電極 D.ディスプレイ側透明電極 Ag.銀ペースト電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷村 功太郎 滋賀県守山市森川原町163番地 グンゼ株 式会社滋賀研究所内 (72)発明者 古川 修二 滋賀県守山市森川原町163番地 グンゼ株 式会社滋賀研究所内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 透明樹脂フィルム(1)の片面に、膜厚
    20〜55nmの酸化ケイ素薄膜層(2)と透明薄膜電
    極層(3)とが順次積層されているタッチ側透明電極
    (T)と、透明板(4)の片面に透明薄膜電極層(5)
    が積層されているディスプレイ側透明電極(D)とが、
    その透明薄膜電極層(3、5)を対向して、絶縁スペー
    サ(6)を介して配置されてなる抵抗膜型透明タッチパ
    ネルにおいて、タッチ側又は/及びディスプレイ側の透
    明薄膜電極層(3、5)の表面が、中心線平均粗さ(R
    a)0.05〜2μm、その最大高さ(Rmax)0.
    6〜2.5μmの無数の微細凹凸による粗面(7)を有
    することを特徴とする抵抗膜型透明タッチパネル。
  2. 【請求項2】 前記酸化ケイ素薄膜層(2)がペルヒド
    ロポリシラザンの分解又は多官能アルコキシシランのゾ
    ル−ゲル法によるコーティング層からなる請求項1に記
    載の抵抗膜型透明タッチパネル。
  3. 【請求項3】 前記透明板(4)が環状ポリオレフィン
    とポリカーボネート板又はガラス板との複合透明板であ
    る請求項1又は2に記載の抵抗膜型透明タッチパネル。
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Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001202826A (ja) * 2000-01-21 2001-07-27 Gunze Ltd 透明導電性フィルム
KR20020061538A (ko) * 2001-01-17 2002-07-24 세이코 엡슨 가부시키가이샤 터치 패널 및 전자기기
KR100463157B1 (ko) * 2001-10-17 2004-12-23 주식회사 엘지화학 터치 패널
JP2005350304A (ja) * 2004-06-10 2005-12-22 Az Electronic Materials Kk 六面体構造を有するシラザン化合物およびその製造法とそれを用いたコーティング組成物
KR100642134B1 (ko) * 2001-03-08 2006-11-10 닛폰세이시가부시키가이샤 뉴튼링 방지필름 및 터치패널
JP2007103348A (ja) * 2005-09-12 2007-04-19 Nitto Denko Corp 透明導電性フィルム、タッチパネル用電極板およびタッチパネル
US7288716B2 (en) * 2005-06-30 2007-10-30 Tdk Corporation Transparent conductor
KR100954309B1 (ko) * 2005-09-12 2010-04-21 닛토덴코 가부시키가이샤 투명 도전성 필름, 터치 패널용 전극판 및 터치 패널
WO2010134474A1 (ja) 2009-05-21 2010-11-25 ダイセル化学工業株式会社 ニュートンリング防止フィルム及びタッチパネル
US8054392B2 (en) 2002-10-16 2011-11-08 Alps Electric Co., Ltd. Transparent composite material having ridge portion formed in transparent resistance film for transparent coordinate input device
US8159468B2 (en) 2008-08-04 2012-04-17 Au Optronics Corp. Touch substrate of embedded touch display panel and manufacturing method thereof
JP2012246570A (ja) * 2012-07-06 2012-12-13 Nitto Denko Corp 透明導電性フィルム、その製造方法及びそれを備えたタッチパネル
WO2013008754A1 (ja) * 2011-07-14 2013-01-17 シャープ株式会社 タッチパネル及び該タッチパネルを備えた表示装置
JP2014199555A (ja) * 2013-03-29 2014-10-23 大日本印刷株式会社 タッチパネル用電極部材、タッチパネル用電極部材の製造方法、タッチパネル、及び画像表示物品
US9428625B2 (en) 2007-10-22 2016-08-30 Nitto Denko Corporation Transparent conductive film, method for production thereof and touch panel therewith
JP6475388B1 (ja) * 2018-07-18 2019-02-27 信越化学工業株式会社 ポリシラザン含有組成物

Cited By (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001202826A (ja) * 2000-01-21 2001-07-27 Gunze Ltd 透明導電性フィルム
KR20020061538A (ko) * 2001-01-17 2002-07-24 세이코 엡슨 가부시키가이샤 터치 패널 및 전자기기
US7034808B2 (en) 2001-01-17 2006-04-25 Seiko Epson Corporation Touch panel and electronic device
KR100642134B1 (ko) * 2001-03-08 2006-11-10 닛폰세이시가부시키가이샤 뉴튼링 방지필름 및 터치패널
KR100463157B1 (ko) * 2001-10-17 2004-12-23 주식회사 엘지화학 터치 패널
US8054392B2 (en) 2002-10-16 2011-11-08 Alps Electric Co., Ltd. Transparent composite material having ridge portion formed in transparent resistance film for transparent coordinate input device
US8054390B2 (en) 2002-10-16 2011-11-08 Alps Electric Co., Ltd. Transparent coordinate input device having a ridge portion formed in transparent resistance film
JP4574238B2 (ja) * 2004-06-10 2010-11-04 Azエレクトロニックマテリアルズ株式会社 六面体構造を有するシラザン化合物およびその製造法とそれを用いたコーティング組成物
JP2005350304A (ja) * 2004-06-10 2005-12-22 Az Electronic Materials Kk 六面体構造を有するシラザン化合物およびその製造法とそれを用いたコーティング組成物
US7288716B2 (en) * 2005-06-30 2007-10-30 Tdk Corporation Transparent conductor
US7932467B2 (en) 2005-06-30 2011-04-26 Tdk Corporation Touch panel that uses transparent conductor
JP2007103348A (ja) * 2005-09-12 2007-04-19 Nitto Denko Corp 透明導電性フィルム、タッチパネル用電極板およびタッチパネル
KR100954309B1 (ko) * 2005-09-12 2010-04-21 닛토덴코 가부시키가이샤 투명 도전성 필름, 터치 패널용 전극판 및 터치 패널
US8531406B2 (en) 2005-09-12 2013-09-10 Nitto Denko Corporation Transparent conductive film, electrode sheet for use in touch panel, and touch panel
US9428625B2 (en) 2007-10-22 2016-08-30 Nitto Denko Corporation Transparent conductive film, method for production thereof and touch panel therewith
US8159468B2 (en) 2008-08-04 2012-04-17 Au Optronics Corp. Touch substrate of embedded touch display panel and manufacturing method thereof
WO2010134474A1 (ja) 2009-05-21 2010-11-25 ダイセル化学工業株式会社 ニュートンリング防止フィルム及びタッチパネル
KR20160114741A (ko) 2009-05-21 2016-10-05 주식회사 다이셀 뉴튼링 방지 필름 및 터치패널
WO2013008754A1 (ja) * 2011-07-14 2013-01-17 シャープ株式会社 タッチパネル及び該タッチパネルを備えた表示装置
JP2012246570A (ja) * 2012-07-06 2012-12-13 Nitto Denko Corp 透明導電性フィルム、その製造方法及びそれを備えたタッチパネル
JP2014199555A (ja) * 2013-03-29 2014-10-23 大日本印刷株式会社 タッチパネル用電極部材、タッチパネル用電極部材の製造方法、タッチパネル、及び画像表示物品
JP6475388B1 (ja) * 2018-07-18 2019-02-27 信越化学工業株式会社 ポリシラザン含有組成物
JP2020012059A (ja) * 2018-07-18 2020-01-23 信越化学工業株式会社 ポリシラザン含有組成物

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