JP2005350295A - 半導体結晶および半導体結晶の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体結晶中における最低不純物濃度C1minとC1min≦C1≦1.5C1minの関係を満たす不純物濃度C1である結晶部分が、固化率0.1〜0.8の範囲内における結晶部分の4/7以上を占める半導体結晶とその半導体結晶の製造方法である。
【選択図】 図1
Description
図1に示す結晶成長装置を用い、表1に示す条件において、不純物としてSi(k=0.14)を含むGaAs結晶を製造した。ここで、実施例1においては、坩堝1の開口部の直径が7.6cm(3インチ)であって、成長開始前に坩堝1に収容されたGaAs多結晶からなる原料が1000g、Siが62mgであり、容器2に収容されたGaAs多結晶からなる追加原料12が5500gであった。
図1に示す坩堝1の開口部の直径が10cm(4インチ)であって、成長開始前に坩堝1に収容されたGaAs多結晶からなる原料が1500g、Siが93mgであり、容器2に収容されたGaAs多結晶からなる追加原料12が6500g、Siが2mgであったこと以外は実施例1と同様にしてGaAs結晶8を製造し、その成長方向(固化率0〜0.9の結晶部分)におけるキャリア濃度をホール測定法により調べた。その結果を表1および図3に示す。表1に示すようにこのGaAs結晶8における最低キャリア濃度C2minは固化率0.4の結晶部分における0.93×1018/cm3であった。そして、C2min≦C2≦1.5C2minの関係を満たすキャリア濃度C2である結晶部分はGaAs結晶8の固化率0.1〜0.8の範囲内の結晶部分の5/7以上を占めていた。また、この結晶部分の成長方向長さは103mmであった。また、図3に示すように、このGaAs結晶8は、固化率が増加するにつれてキャリア濃度が減少する結晶部分を有していた(固化率0.2〜0.4)。
図7に示す結晶成長装置を用い、表1に示す量となるように、坩堝1内に収容された原料とSiの量を増加し、追加原料の融液を滴下しなかったこと以外は実施例2と同様にしてGaAs結晶8を製造し、その成長方向(固化率0〜0.9の結晶部分)におけるキャリア濃度をホール測定法により調べた。その結果を表1および図3に示す。表1に示すようにこのGaAs結晶8における最低キャリア濃度C2minは固化率0の結晶部分における0.99×1018/cm3であった。そして、C2min≦C2≦1.5C2minの関係を満たすキャリア濃度C2である結晶部分はGaAs結晶8の固化率0.1〜0.8の範囲内の結晶部分の4/7未満であった。また、この結晶部分の成長方向長さは62mmであった。また、図3に示すように、このGaAs結晶8は、固化率が増加するにつれてキャリア濃度が減少する結晶部分を有していなかった。
成長開始前に図1に示す坩堝1に収容されたSiが8mgであり、容器2に収容された追加原料12としてGaAs多結晶を3000g、Siを1mgとしたこと以外は実施例1と同様にしてGaAs結晶8を製造し、その成長方向(固化率0〜0.9の結晶部分)におけるキャリア濃度をホール測定法により調べた。その結果を表2および図4に示す。表2に示すようにこのGaAs結晶8における最低キャリア濃度C2minは固化率0.2の結晶部分における0.10×1018/cm3であった。そして、C2min≦C2≦1.5C2minの関係を満たすキャリア濃度C2である結晶部分はGaAs結晶8の固化率0.1〜0.8の範囲内の結晶部分の4/7以上を占めていた。また、この結晶部分の成長方向長さは75mmであった。また、図4に示すように、このGaAs結晶8は、固化率が増加するにつれてキャリア濃度が減少する結晶部分を有していた(固化率0〜0.2)。
図1に示す坩堝1の開口部の直径が10cm(4インチ)であって、成長開始前に坩堝1に収容されたGaAs多結晶からなる原料が1500g、Siが12mgであり、容器2に収容されたGaAs多結晶からなる追加原料12が8000gであったこと以外は実施例1と同様にしてGaAs結晶8を製造し、その成長方向(固化率0〜0.9の結晶部分)におけるキャリア濃度をホール測定法により調べた。その結果を表2および図4に示す。表2に示すようにこのGaAs結晶8における最低キャリア濃度C2minは固化率0.6の結晶部分における0.09×1018/cm3であった。そして、C2min≦C2≦1.5C2minの関係を満たすキャリア濃度C2である結晶部分はGaAs結晶8の固化率0.1〜0.8の範囲内の結晶部分の5/7以上を占めていた。また、この結晶部分の成長方向長さは125mmであった。また、図4に示すように、このGaAs結晶8は、固化率が増加するにつれてキャリア濃度が減少する結晶部分を有していた(固化率0.2〜0.6)。また、GaAs結晶8における固化率0.8の結晶部分のキャリア濃度(0.13×1018/cm3)は固化率0.1の結晶部分のキャリア濃度(0.14×1018/cm3)よりも低かった。
図7に示す結晶成長装置を用い、表2に示す量となるように、坩堝1内に収容された原料とSiの量を増加し、追加原料の融液を滴下しなかったこと以外は実施例4と同様にしてGaAs結晶8を製造し、その成長方向(固化率0〜0.9の結晶部分)におけるキャリア濃度をホール測定法により調べた。その結果を表2および図4に示す。表2に示すようにこのGaAs結晶8における最低キャリア濃度C2minは固化率0の結晶部分における0.13×1018/cm3であった。そして、C2min≦C2≦1.5C2minの関係を満たすキャリア濃度C2である結晶部分はGaAs結晶8の固化率0.1〜0.8の範囲内の結晶部分の4/7未満であった。また、この結晶部分の成長方向長さは70mmであった。また、図4に示すように、このGaAs結晶8は、固化率が増加するにつれてキャリア濃度が減少する結晶部分を有していなかった。
成長開始前に図1に示す坩堝1に収容されたSiが120mgであり、容器2に収容されたGaAs多結晶からなる追加原料12を5000gとしたこと以外は実施例1と同様にしてGaAs結晶8を製造し、その成長方向(固化率0〜0.9の結晶部分)におけるキャリア濃度をホール測定法により調べた。その結果を表3および図5に示す。表3に示すようにこのGaAs結晶8における最低キャリア濃度C2minは固化率0.4の結晶部分における1.60×1018/cm3であった。そして、C2min≦C2≦1.5C2minの関係を満たすキャリア濃度C2である結晶部分はGaAs結晶8の固化率0.1〜0.8の範囲内の結晶部分の5/7以上を占めていた。また、この結晶部分の成長方向長さは138mmであった。また、図5に示すように、このGaAs結晶8は、固化率が増加するにつれてキャリア濃度が減少する結晶部分を有していた(固化率0〜0.4)。
図1に示す坩堝1の開口部の直径が10cm(4インチ)であって、成長開始前に坩堝1に収容されたGaAs多結晶からなる原料が1500g、Siが180mgであり、容器2に収容された追加原料12としてGaAs多結晶を8000g、Siを9mgとしたこと以外は実施例1と同様にしてGaAs結晶8を製造し、その成長方向(固化率0〜0.9の結晶部分)におけるキャリア濃度をホール測定法により調べた。その結果を表3および図5に示す。表3に示すようにこのGaAs結晶8における最低キャリア濃度C2minは固化率0.7の結晶部分における1.58×1018/cm3であった。そして、C2min≦C2≦1.5C2minの関係を満たすキャリア濃度C2である結晶部分はGaAs結晶8の固化率0.1〜0.8の範囲内の結晶部分のすべてであった。また、この結晶部分の成長方向長さは169mmであった。また、図5に示すように、このGaAs結晶8は、固化率が増加するにつれてキャリア濃度が減少する結晶部分を有していた(固化率0.2〜0.7)。また、GaAs結晶8における固化率0.8の結晶部分のキャリア濃度(1.73×1018/cm3)は固化率0.1の結晶部分のキャリア濃度(1.95×1018/cm3)よりも低かった。
図7に示す結晶成長装置を用い、表3に示す量となるように、坩堝1内に収容された原料とSiの量を増加し、追加原料の融液を滴下しなかったこと以外は実施例6と同様にしてGaAs結晶8を製造し、その成長方向(固化率0〜0.9の結晶部分)におけるキャリア濃度をホール測定法により調べた。その結果を表3および図5に示す。表3に示すようにこのGaAs結晶8における最低キャリア濃度C2minは固化率0の結晶部分における1.91×1018/cm3であった。そして、C2min≦C2≦1.5C2minの関係を満たすキャリア濃度C2である結晶部分はGaAs結晶8の固化率0.1〜0.8の範囲内の結晶部分の4/7未満であった。また、この結晶部分の成長方向長さは71mmであった。また、図5に示すように、このGaAs結晶8は、固化率が増加するにつれてキャリア濃度が減少する結晶部分を有していなかった。
成長開始前に図1に示す坩堝1に収容されたSiが200mgであり、容器2に収容されたGaAs多結晶からなる追加原料12を4500gとしたこと以外は実施例1と同様にしてGaAs結晶8を製造し、その成長方向(固化率0〜0.9の結晶部分)におけるキャリア濃度をホール測定法により調べた。その結果を表4および図6に示す。表4に示すようにこのGaAs結晶8における最低キャリア濃度C2minは固化率0の結晶部分における3.19×1018/cm3であった。そして、C2min≦C2≦1.5C2minの関係を満たすキャリア濃度C2である結晶部分はGaAs結晶8の固化率0.1〜0.8の範囲内の結晶部分のすべてであった。また、この結晶部分の成長方向長さは173mmであった。また、図6に示すように、このGaAs結晶8は、固化率が増加するにつれてキャリア濃度が減少する結晶部分を有していた(固化率0.5〜0.8)。
図1に示す坩堝1の開口部の直径が100mm(4インチ)であって、成長開始前に坩堝1に収容されたGaAs多結晶からなる原料が1500g、Siが300mgであり、容器2に収容された追加原料12としてGaAs多結晶を6000g、Siを15mgとしたこと以外は実施例1と同様にしてGaAs結晶8を製造し、その成長方向(固化率0〜0.9の結晶部分)におけるキャリア濃度をホール測定法により調べた。その結果を表4および図6に示す。表4に示すようにこのGaAs結晶8における最低キャリア濃度C2minは固化率0の結晶部分における3.19×1018/cm3であった。そして、C2min≦C2≦1.5C2minの関係を満たすキャリア濃度C2である結晶部分はGaAs結晶8の固化率0.1〜0.8の範囲内の結晶部分の4/7以上を占めていた。また、この結晶部分の成長方向長さは78mmであった。また、図6に示すように、このGaAs結晶8は、固化率が増加するにつれてキャリア濃度が減少する結晶部分を有していた(固化率0.2〜0.3)。
図7に示す結晶成長装置を用い、表4に示す量となるように、坩堝1内に収容された原料とSiの量を増加し、追加原料の融液を滴下しなかったこと以外は実施例8と同様にしてGaAs結晶8を製造し、その成長方向(固化率0〜0.9の結晶部分)におけるキャリア濃度をホール測定法により調べた。その結果を表4および図6に示す。表4に示すようにこのGaAs結晶8における最低キャリア濃度C2minは固化率0の結晶部分における3.19×1018/cm3であった。そして、C2min≦C2≦1.5C2minの関係を満たすキャリア濃度C2である結晶部分はGaAs結晶8の固化率0.1〜0.8の範囲内の結晶部分の4/7未満であった。また、この結晶部分の成長方向長さは58mmであった。また、図6に示すように、このGaAs結晶8は、固化率が増加するにつれてキャリア濃度が減少する結晶部分を有していなかった。
Claims (20)
- 半導体結晶中における最低不純物濃度C1minとC1min≦C1≦1.5C1minの関係を満たす不純物濃度C1である結晶部分が、固化率0.1〜0.8の範囲内における結晶部分の4/7以上を占めることを特徴とする、半導体結晶。
- 半導体結晶中における偏析係数が1よりも小さい不純物の濃度が固化率の増加と共に増加しない結晶部分を有することを特徴とする、半導体結晶。
- 前記半導体結晶がGaAs、InP、InAsおよびGaPからなる群のうちいずれか1つの化合物半導体の結晶であることを特徴とする、請求項1または2に記載の半導体結晶。
- 前記不純物がIn、Zn、Si、Al、S、Sn、Se、Te、Cr、C、O、FeおよびGaからなる群のうち少なくとも1つであることを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載の半導体結晶。
- 前記半導体結晶の固化率0.1〜0.8の範囲内の結晶部分に、固化率0.1の結晶部分の不純物濃度以下である部分を有することを特徴とする、請求項1から4のいずれかに記載の半導体結晶。
- 前記半導体結晶中における最低不純物濃度C1minとC1min≦C1≦1.5C1minの関係を満たす不純物濃度C1である結晶部分の成長方向長さが75mm以上であることを特徴とする、請求項1から5のいずれかに記載の半導体結晶。
- 前記半導体結晶中における最低不純物濃度C1minとC1min≦C1≦1.5C1minの関係を満たす不純物濃度C1である結晶部分の直径が70mm以上であることを特徴とする、請求項1から6のいずれかに記載の半導体結晶。
- 縦型ボート法により成長したことを特徴とする、請求項1から7のいずれかに記載の半導体結晶。
- 請求項1から8のいずれかに記載の半導体結晶から切り出された、半導体結晶基板。
- GaAs結晶中における最低キャリア濃度C2minとC2min≦C2≦1.5C2minの関係を満たすキャリア濃度C2である結晶部分が、固化率0.1〜0.8の範囲内の結晶部分の4/7以上を占め、前記キャリアを供給する不純物としてSiを含むことを特徴とする、GaAs結晶。
- 前記GaAs結晶中におけるキャリア濃度が固化率の増加と共に増加しない結晶部分を有することを特徴とする、GaAs結晶。
- 前記GaAs結晶中のホウ素濃度が5×1018/cm3以下であることを特徴とする、請求項10または11に記載のGaAs結晶。
- 前記GaAs結晶の固化率0.1〜0.8の範囲内の結晶部分に、固化率0.1の結晶部分のキャリア濃度以下である部分を有することを特徴とする、請求項10から12のいずれかに記載のGaAs結晶。
- 前記GaAs結晶中における最低キャリア濃度C2minとC2min≦C2≦1.5C2minの関係を満たすキャリア濃度C2である結晶部分の成長方向長さが75mm以上であることを特徴とする、請求項10から13のいずれかに記載のGaAs結晶。
- 前記GaAs結晶中における最低キャリア濃度C2minとC2min≦C2≦1.5C2minの関係を満たすキャリア濃度C2である結晶部分の直径が70mm以上であることを特徴とする、請求項10から14のいずれかに記載のGaAs結晶。
- 縦型ボート法により成長したことを特徴とする、請求項10から15のいずれかに記載のGaAs結晶。
- 請求項10から16のいずれかに記載のGaAs結晶から切り出された、GaAs結晶基板。
- 坩堝内において酸化ホウ素で表面を覆われた、不純物を含む原料の融液を固化することによって半導体結晶を成長させる半導体結晶の製造方法であって、前記半導体結晶に対する前記不純物の偏析係数が1以下であり、前記原料の不純物濃度よりも低い不純物濃度の追加原料が収容された容器から前記追加原料の融液を前記坩堝内に滴下しながら前記半導体結晶を成長させることを特徴とする、半導体結晶の製造方法。
- 前記容器の外側に設置された加熱手段の加熱温度の調節および前記加熱手段に対する前記容器の相対的な移動の少なくとも一方によって、前記追加原料の加熱温度を調節して前記融液の滴下量を制御することを特徴とする、請求項18に記載の半導体結晶の製造方法。
- 前記半導体結晶の成長が、密閉された耐熱容器内において縦型ボート法により行なわれることを特徴とする、請求項18または19に記載の半導体結晶の製造方法。
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