JP2005343715A - 化合物半導体単結晶の製造方法 - Google Patents
化合物半導体単結晶の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 化合物半導体単結晶の製造方法は、六方晶系のAlxGayIn1-(x+y)N(0≦x≦1,0≦y≦1,x+y≦1)単結晶の育成過程において、その単結晶の成長方向が少なくとも厚み方向と横方向の2段階に変更されることを特徴とする。結晶の成長方向を2段階に変更するために、昇華法における温度変更またはHVPE法におけるガス流方向の変更が利用され得る。
【選択図】 図1
Description
図1のブロック図において、本発明の昇華法による化合物半導体単結晶の製造に好ましく用いられ得る単結晶育成装置の一例が模式的に図解されている。この単結晶育成装置は石英管1を備えており、その内部において支持台2に支持された断熱材容器3内に黒鉛坩堝4が収められている。石英管1の外周にはRF(高周波)電源5に接続されたコイル6が配置されている。なお、黒鉛坩堝4と高周波コイル6との間の相対的位置関係は、石英管1の外部から高さ調整が可能な支持台2の高さを変化させることによって、またはコイル6の位置を変化させることによって変えることができ、それによって黒鉛坩堝4の温度分布を変化させることができる。また、コイル6を上部と下部に分割し、それぞれの部分に印加される高周波電力をRF電源5で個別に制御することによって、黒鉛坩堝4の温度分布を変化させることも可能である。
実施形態2においては、実施形態1における結晶成長(A)と(B)が逆順序でおこなわれる。このような実施形態2においても、実施形態1の場合と同様に、約1インチ径で5mm厚さのAlN単結晶を得ることができる。
図3の模式的な断面図において、本発明のHVPE法による化合物半導体単結晶の製造に好ましく用いられ得る単結晶育成装置の一例が模式的に図解されている。この単結晶育成装置は石英管21を備えており、その内部において支持台22上に種結晶15bが支持される。支持台22は石英管21の横から挿入された支持棒22aに結合されており、その支持棒22aを回転させることによって種結晶15bの向きを変えることができる。石英管21の周囲には、図示されていないヒータが配置されている。石英管21内には第1および第2のガス導入管23、24からHVPE用の原料ガスが導入され、HVPEに寄与しなかった残余のガスは排出ポート25から排出される。
実施形態4においても、実施形態3の場合と同様に図3の装置によるHVPE法が利用され、たとえば約5mm径で300μm厚さのAlNウエハが種結晶15bとして用いられる。しかし、実施形態4における種結晶15bは、その主面としてM面を有している。
Claims (9)
- 六方晶系のAlxGayIn1-(x+y)N(0<x≦1,0≦y<1,x+y≦1)単結晶の育成過程において、前記単結晶の成長方向が少なくとも厚み方向と横方向の2段階に変更されることを特徴とする化合物半導体単結晶の製造方法。
- 前記単結晶は同一組成の化合物半導体の種結晶上にホモエピタキシャル成長させられることを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 前記単結晶はAlNからなることを特徴とする請求項1または2に記載の製造方法。
- 前記単結晶の成長には昇華法が利用されることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の製造方法。
- 前記厚み方向と前記横方向の少なくとも一方向の結晶成長にHVPE法が利用されることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の製造方法。
- 前記厚み方向と前記横方向の一方向が<0001>方向であり、他方が<0001>方向と交差する方向であることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の製造方法。
- 前記厚み方向と前記横方向の一方向が<0001>方向であり、他方が<10−10>方向であることを特徴とする請求項6に記載の製造方法。
- 請求項1から7のいずれかに記載された製造方法によって得られた単結晶を含んでいることを特徴とする電子デバイス。
- 前記電子デバイスは、発光ダイオード、レーザダイオード、整流器、バイポーラトランジスタ、電界効果トランジスタ、HEMT、温度センサ、圧力センサ、放射線センサ、可視・紫外光センサ、および弾性表面波デバイスから選択されたいずれかであることを特徴とする請求項8に記載の電子デバイス。
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