JP2005343707A - 熱膨張を抑制した石英ガラスルツボとシリコン単結晶引上げ方法 - Google Patents
熱膨張を抑制した石英ガラスルツボとシリコン単結晶引上げ方法 Download PDFInfo
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Abstract
【手段】シリコン単結晶引上げに用いる石英ガラスルツボであって、基準加熱条件下でのルツボ各部位の膨張率が何れも8%以下であり、ルツボ各部位相互の膨張率差が5.5%以下であることを特徴とし、例えば、石英粉を加熱溶融して石英ガラスルツボを製造する際に、1800℃以上で5分以上加熱してガラス化し、かつルツボの全壁厚方向の気泡含有率を0.05%以上〜0.4%以下に調整し、あるいは上記溶融ガラス化の際にヘリウムガス、水素ガス、または水蒸気を導入すると共にルツボの全壁厚方向の気泡含有率を0.05%以上〜0.8%以下に調整することによって、ルツボ各部位の熱膨張を抑制したことを特徴とする石英ガラスルツボ。
【選択図】 なし
Description
(1)シリコン単結晶引上げに用いる石英ガラスルツボであって、基準加熱条件下でのルツボ各部位の膨張率が何れも8%以下であり、ルツボ各部位相互の膨張率差が5.5%以下であることを特徴とする石英ガラスルツボ。
(2)石英粉を加熱溶融してガラス化した石英ガラスルツボであって、1800℃以上で5分以上加熱してガラス化し、かつルツボ内表面から外表面までの全壁厚方向の気泡含有率を0.05%以上〜0.4%以下に調整することによって、ルツボ各部位の熱膨張を抑制したことを特徴とする石英ガラスルツボ。
(3)石英粉を加熱溶融してガラス化した石英ガラスルツボであって、1800℃以上で5分以上加熱し、かつ溶融中の少なくとも一部の時間にヘリウムガス、水素ガス、または水蒸気を導入して石英粉をガラス化し、さらにルツボ内表面から外表面までの全壁厚方向の気泡含有率を0.05%以上〜0.8%以下に調整することによって、ルツボ各部位の熱膨張を抑制したことを特徴とする石英ガラスルツボ。
(4)ルツボ表面に結晶化促進成分が塗布されている上記(1)〜(4)の何れかに記載する石英ガラスルツボ。
(5)上記(1)〜(4)の何れかに記載する石英ガラスルツボであって、引き上げ雰囲気圧を調整したシリコン単結晶引上げ後において、シリコン融液に接触したルツボ各部位の膨張率が10%以下であり、またはルツボ各部位相互の膨張率差が20%以下である石英ガラスルツボ。
(6)上記(1)〜(4)の何れかに記載する石英ガラスルツボを用い、引き上げ温度に対応して引き上げ雰囲気の不活性ガス圧を大気圧以上に調整して引き上げを行うシリコン単結晶引上げ方法。
本発明の石英ガラスルツボは、シリコン単結晶引上げに用いる石英ガラスルツボであって、基準加熱条件下でのルツボ各部位の膨張率が何れも8%以下であり、かつ各部位相互の膨張率差が5.5%以下であることを特徴とする石英ガラスルツボである。なお、ここで基準加熱条件とは、1500℃で、アルゴン雰囲気20torr下、10時間加熱することを云う。
ところが、全壁厚方向の気泡含有率が1.0%の口径32inchの石英ルツボ(No.A13〜A16)は、壁厚の膨張率の最大値が8%を上回り、異なる部位間の膨張率の最小値と最大値の差が5.5を上回る。このため、単結晶化率は55〜60%程度と低い。これはアーク溶融時に水素、ヘリウム、または水蒸気を導入して製造したものでも同様であり、アーク溶融時の雰囲気ガスの調整だけでは石英ルツボの熱膨張を十分に抑制できないことを示している。
Claims (6)
- シリコン単結晶引上げに用いる石英ガラスルツボであって、基準加熱条件下でのルツボ各部位の膨張率が何れも8%以下であり、ルツボ各部位相互の膨張率差が5.5%以下であることを特徴とする石英ガラスルツボ。
- 石英粉を加熱溶融してガラス化した石英ガラスルツボであって、1800℃以上で5分以上加熱してガラス化し、かつルツボ内表面から外表面までの全壁厚方向の気泡含有率を0.05%以上〜0.4%以下に調整することによって、ルツボ各部位の熱膨張を抑制したことを特徴とする石英ガラスルツボ。
- 石英粉を加熱溶融してガラス化した石英ガラスルツボであって、1800℃以上で5分以上加熱し、かつ溶融中の少なくとも一部の時間にヘリウムガス、水素ガス、または水蒸気を導入して石英粉をガラス化し、さらにルツボ内表面から外表面までの全壁厚方向の気泡含有率を0.05%以上〜0.8%以下に調整することによって、ルツボ各部位の熱膨張を抑制したことを特徴とする石英ガラスルツボ。
- ルツボ表面に結晶化促進成分が塗布されている請求項1〜4の何れかに記載する石英ガラスルツボ。
- 請求項1〜4の何れかに記載する石英ガラスルツボであって、引き上げ雰囲気圧を調整したシリコン単結晶引上げ後において、シリコン融液に接触したルツボ各部位の膨張率が10%以下であり、またはルツボ各部位相互の膨張率差が20%以下である石英ガラスルツボ。
- 請求項1〜4の何れかに記載する石英ガラスルツボを用い、引き上げ温度に対応して引き上げ雰囲気の不活性ガス圧を大気圧以上に調整して引き上げを行うシリコン単結晶引上げ方法。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007277024A (ja) * | 2006-04-04 | 2007-10-25 | Sumco Corp | シリコン単結晶の製造方法 |
WO2009041684A1 (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-02 | Japan Super Quartz Corporation | シリカガラスルツボとその製造方法および引き上げ方法 |
WO2009113525A1 (ja) * | 2008-03-14 | 2009-09-17 | ジャパンスーパークォーツ株式会社 | 石英ガラスルツボおよびその製造方法 |
US8272234B2 (en) | 2008-12-19 | 2012-09-25 | Heraeus Shin-Etsu America, Inc. | Silica crucible with pure and bubble free inner crucible layer and method of making the same |
US9003832B2 (en) | 2009-11-20 | 2015-04-14 | Heraeus Shin-Etsu America, Inc. | Method of making a silica crucible in a controlled atmosphere |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6197188A (ja) * | 1984-10-12 | 1986-05-15 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | シリコン半導体棒の製造方法 |
JPS62292691A (ja) * | 1986-06-09 | 1987-12-19 | Mitsubishi Metal Corp | アンチモンド−プ単結晶の製造方法 |
JPH08253333A (ja) * | 1995-03-13 | 1996-10-01 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラス質ルツボ |
JPH11171571A (ja) * | 1997-12-05 | 1999-06-29 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラスルツボとその製造方法 |
JP2000109391A (ja) * | 1998-10-05 | 2000-04-18 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 石英るつぼ |
JP2003292329A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-15 | Japan Siper Quarts Corp | Cvd法による石英ルツボ表面のバリウム含有層の形成方法 |
-
2004
- 2004-05-31 JP JP2004161893A patent/JP4726436B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6197188A (ja) * | 1984-10-12 | 1986-05-15 | シーメンス、アクチエンゲゼルシヤフト | シリコン半導体棒の製造方法 |
JPS62292691A (ja) * | 1986-06-09 | 1987-12-19 | Mitsubishi Metal Corp | アンチモンド−プ単結晶の製造方法 |
JPH08253333A (ja) * | 1995-03-13 | 1996-10-01 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラス質ルツボ |
JPH11171571A (ja) * | 1997-12-05 | 1999-06-29 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 石英ガラスルツボとその製造方法 |
JP2000109391A (ja) * | 1998-10-05 | 2000-04-18 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 石英るつぼ |
JP2003292329A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-15 | Japan Siper Quarts Corp | Cvd法による石英ルツボ表面のバリウム含有層の形成方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007277024A (ja) * | 2006-04-04 | 2007-10-25 | Sumco Corp | シリコン単結晶の製造方法 |
WO2009041684A1 (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-02 | Japan Super Quartz Corporation | シリカガラスルツボとその製造方法および引き上げ方法 |
JP2009084113A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Japan Siper Quarts Corp | シリカガラスルツボとその製造方法および引き上げ方法 |
WO2009113525A1 (ja) * | 2008-03-14 | 2009-09-17 | ジャパンスーパークォーツ株式会社 | 石英ガラスルツボおよびその製造方法 |
US8272234B2 (en) | 2008-12-19 | 2012-09-25 | Heraeus Shin-Etsu America, Inc. | Silica crucible with pure and bubble free inner crucible layer and method of making the same |
US9003832B2 (en) | 2009-11-20 | 2015-04-14 | Heraeus Shin-Etsu America, Inc. | Method of making a silica crucible in a controlled atmosphere |
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