JP2020100515A - 石英ガラスルツボ - Google Patents
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Abstract
Description
口径32インチの石英ガラスルツボを用いてCZ法によるシリコン単結晶の引き上げを行った後、単結晶歩留まり及び使用後のルツボの変形の度合いを評価した。この評価試験では層構造が異なる3種類のルツボサンプルA1〜A3をそれぞれ複数個用意し、これらのルツボを用いて複数本のシリコン単結晶の引き上げを行った。その結果を表1に示す。
シール層の厚さが異なる4層ルツボのサンプルB1〜B5をそれぞれ複数個用意し、これらのルツボを用いてシリコン単結晶の引き上げを行った。その結果を表2に示す。
シール層に含まれる気泡の条件が異なる4層ルツボのサンプルC1〜C3をそれぞれ複数個用意し、これらのルツボを用いてシリコン単結晶の引き上げを行った。その結果を表3に示す。
結晶硬化層を有しない4層ルツボのサンプルD1と、結晶硬化層を有する5層ルツボのサンプルD2をそれぞれ複数個用意し、これらのルツボを用いてシリコン単結晶の引き上げを行った。その結果を表4に示す。
ルツボのコーナー部の最大肉厚比率(コーナー部の最大肉厚/側壁部の平均肉厚)が異なる4層ルツボのサンプルE1〜E8を用意し、これらのルツボを用いてシリコン単結晶の引き上げを行った。その結果を表5に示す。
1a 側壁部
1b 底部
1c コーナー部
11 シール層
12 合成透明層
13 天然透明層
14 天然気泡層
15 結晶硬化層
20 原料石英粉の堆積層
21 結晶化促進剤が添加された天然石英粉
22 天然石英粉(通常の天然石英粉)
23 合成石英粉
30 モールド
30i モールドの内面
31 アーク電極
32 通気孔
Claims (8)
- シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボであって、
気泡を含有する合成石英溶融ガラスからなり、前記石英ガラスルツボの内面を構成するシール層と、
気泡を含有しない合成石英溶融ガラスからなり、前記シール層の外側に形成された合成透明層と、
気泡を含有しない天然石英溶融ガラスからなり、前記合成透明層の外側に形成された天然透明層と、
多数の気泡を含有する天然石英溶融ガラスからなり、前記天然透明層の外側に形成された天然気泡層とを備え、
前記シール層の気泡含有率は、前記合成透明層の気泡含有率よりも高いことを特徴とする石英ガラスルツボ。 - 前記シール層の厚さは0.1mm以上2.0mm以下である、請求項1に記載の石英ガラスルツボ。
- 前記シール層の気泡含有率は0.1vol%以上5.0vol%以下である、請求項1又は2に記載の石英ガラスルツボ。
- 前記シール層の気泡数密度は15個/cm3以上300個/cm3以下である、請求項3に記載の石英ガラスルツボ。
- 前記シール層の平均気泡径は0.2μm以上100μm以下である、請求項3又は4に記載の石英ガラスルツボ。
- 前記シール層の気泡含有率は、前記天然気泡層の気泡含有率よりも低い、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の石英ガラスルツボ。
- 多数の気泡を含有する天然石英溶融ガラスからなり、前記天然気泡層の外側に形成された結晶硬化層をさらに備え、
前記結晶硬化層に含まれるアルカリ金属、アルカリ土類金属又は土類金属の元素の濃度は、前記天然気泡層よりも高い、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の石英ガラスルツボ。 - 円筒状の側壁部と、湾曲した底部と、前記側壁部と前記底部との間に位置し前記底部よりも大きな曲率を有するコーナー部とを有し、
前記コーナー部の肉厚は、前記側壁部及び前記底部よりも厚く、
前記コーナー部における前記合成透明層の厚さは、前記側壁部及び前記底部における前記合成透明層よりも厚い、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の石英ガラスルツボ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018237641A JP7024700B2 (ja) | 2018-12-19 | 2018-12-19 | 石英ガラスルツボ |
KR1020190169722A KR102342039B1 (ko) | 2018-12-19 | 2019-12-18 | 석영 유리 도가니 |
CN201911316941.5A CN111334852B (zh) | 2018-12-19 | 2019-12-19 | 石英玻璃坩埚 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018237641A JP7024700B2 (ja) | 2018-12-19 | 2018-12-19 | 石英ガラスルツボ |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020100515A true JP2020100515A (ja) | 2020-07-02 |
JP2020100515A5 JP2020100515A5 (ja) | 2021-03-18 |
JP7024700B2 JP7024700B2 (ja) | 2022-02-24 |
Family
ID=71140984
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018237641A Active JP7024700B2 (ja) | 2018-12-19 | 2018-12-19 | 石英ガラスルツボ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7024700B2 (ja) |
KR (1) | KR102342039B1 (ja) |
CN (1) | CN111334852B (ja) |
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2018
- 2018-12-19 JP JP2018237641A patent/JP7024700B2/ja active Active
-
2019
- 2019-12-18 KR KR1020190169722A patent/KR102342039B1/ko active IP Right Grant
- 2019-12-19 CN CN201911316941.5A patent/CN111334852B/zh active Active
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JP7024700B2 (ja) | 2022-02-24 |
KR102342039B1 (ko) | 2021-12-22 |
CN111334852A (zh) | 2020-06-26 |
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KR20200076636A (ko) | 2020-06-29 |
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