JP2005340222A - 電界放出素子の電流安定化方法および電界放出素子の製造方法 - Google Patents
電界放出素子の電流安定化方法および電界放出素子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005340222A JP2005340222A JP2005158042A JP2005158042A JP2005340222A JP 2005340222 A JP2005340222 A JP 2005340222A JP 2005158042 A JP2005158042 A JP 2005158042A JP 2005158042 A JP2005158042 A JP 2005158042A JP 2005340222 A JP2005340222 A JP 2005340222A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- field emission
- cnt
- emission device
- plasma
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
- H01J1/02—Main electrodes
- H01J1/30—Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
- H01J1/304—Field-emissive cathodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/022—Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes
- H01J9/025—Manufacture of electrodes or electrode systems of cold cathodes of field emission cathodes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J19/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J19/12—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor employing electromagnetic waves
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
- C01B32/15—Nano-sized carbon materials
- C01B32/158—Carbon nanotubes
- C01B32/168—After-treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2201/00—Electrodes common to discharge tubes
- H01J2201/30—Cold cathodes
- H01J2201/304—Field emission cathodes
- H01J2201/30446—Field emission cathodes characterised by the emitter material
- H01J2201/30453—Carbon types
- H01J2201/30469—Carbon nanotubes (CNTs)
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
Abstract
【課題】 電界放出素子の安定化のための方法を提供する。
【解決手段】 電界放出素子の炭素ナノチューブ22に対してプラズマ処理を実施することを特徴とする電界放出素子の電流安定化方法である。これにより、均一な表面を有した炭素ナノチューブ22を得ることができ、炭素ナノチューブ22での安定な電子放出密度を得ることができ、電界放出素子自体の寿命を延長させることができる。
【選択図】 図2
【解決手段】 電界放出素子の炭素ナノチューブ22に対してプラズマ処理を実施することを特徴とする電界放出素子の電流安定化方法である。これにより、均一な表面を有した炭素ナノチューブ22を得ることができ、炭素ナノチューブ22での安定な電子放出密度を得ることができ、電界放出素子自体の寿命を延長させることができる。
【選択図】 図2
Description
本発明は、電界放出素子の電流安定化方法に係り、さらに詳細には炭素ナノチューブ(CNT)電界放出素子の電界放出源であるCNTに対してプラズマ処理を施し、放出電流の密度を安定化し、その寿命を延長させる電界放出素子の電流安定化方法および電界放出素子の製造方法に関する。
CNTは、炭素同素体であってその断面が六角形チューブ状をなし、縦横比(aspect ratio)の大きい物質である。その直径がナノミリメータ単位ときわめて小さく、化学的に安定しており、金属または半導体性質を有しており、電界放出源、水素保存媒体、高分子の強化剤などに新しい素材として脚光を浴びている。
CNTを製造する方法は、物理的方法と化学的方法とに大別される。物理的方法としては、電気放電法またはレーザ蒸着法などを挙げることができる。化学的方法としては、熱化学気相蒸着法、プラズマ化学気相蒸着法などの化学気相蒸着法(CVD)を挙げることができる。
CNTをディスプレイの電子放出源として形成する場合、CNTを直接基板上に成長させるか、または炭素含有物をペースト化して基板に印刷する方法を使用する。このように製造したディスプレイを駆動させるために、電極を介して電位を印加して一定の電場を形成させ、CNTの端部から電子を放出させる。
図1は、基板上に形成させたCNTを表した図面である。一般的に、基板10上に下部電極11を形成し、その上部にCNT12を成長させる。ここで、図1に表したCNT12は、説明のために誇張されて図示されている。一般的な製造工程で、基板10上にCNT12を直接成長させるか、または基板10に印刷する方法によりCNT12を形成させた場合、いずれもCNT12それぞれの長さ、伝導性または成長形態を均一に制御するのは難しいという共通点がある。これにより、一部領域のCNT12aにより、電界放出素子は、全体的に正常的ではなくなり、不均一な電界放出を起こす。
CNTを電界放出源として使用した場合、初期作動時に、ほとんど電界密度の急激な減少現象を観察できる。これは、電極11上に形成されたCNT12のうちの一部12aが、電極を介して外部から印加される電源に対して特異な作動をするために発生する現象として知られている。かかる異常な電界放出により、電界放出素子の低い電界放出率、短い寿命及び不均一な電界放出などの問題点が発生する。
本発明は、前記従来技術の問題点を解決するために、異常な電界放出現象を防止し、優秀な特性を表すプラズマを利用した電界放出素子の処理方法を提供することを目的とする。
本発明では、前記目的を達成するために、CNTを電界放出源として利用する電界放出素子のCNTに対してプラズマ処理を実施することを特徴とする電界放出素子の電流安定化方法を提供する。
本発明において、前記プラズマ処理は、(ア)CNTが形成された試片をチャンバ内に装着するステップと、(イ)チャンバ内の気体を排出させ、プラズマ発生用気体を投入するステップと、(ウ)前記チャンバ内に電圧を印加してプラズマを発生させることにより、前記試片に対してプラズマ処理を行うステップと、を含むことを特徴とする。
本発明において、前記試片は、下部電極、及び前記下部電極上に形成されたCNT、前記CNTと対向する前記チャンバ上部には、上部電極が装着されていることを特徴とする。
本発明において、前記プラズマ発生用気体は、不活性気体、N2、H2またはO2のうち、少なくともいずれか一つを含む。
本発明において、前記(イ)ステップで、前記プラズマ発生用気体を注入し、前記チャンバ内の真空度を約10−3Torr以上に保持することを特徴とする。
本発明において、前記(ウ)ステップで、印加する電圧は、約10V以上であることを特徴とする。
本発明において、前記(ウ)ステップの前記プラズマ処理は、少なくとも数十秒以上実施することを特徴とする。
本発明によれば、電界放出素子の電子放出源としてCNTを使用する場合、前記CNTに対してプラズマ表面処理を行って均一な表面を得ることができる。これにより、CNTでの安定な電子放出密度を得ることができ、電界放出素子自体の寿命を延長させることができるという長所がある。
以下、図面を参照し、本発明による電界放出素子の安定化のためのプラズマ処理方法と、併せて電流が安定した電界放出素子の製造方法についてさらに詳細に説明する。
図2は、本発明の実施形態による電界放出素子の安定化のためのプラズマ処理する場合のチャンバ内の配置形態を概略的に表した図面である。
図2を参照すれば、チャンバ20内に、CNT22が形成されたカソード電極21を装着する。このとき、CNT22は、従来のCNT成長方法、すなわち直接成長法またはCNTペーストを利用して印刷する方法など、選択的に使用して成長させることができる。CNT成長方法は、公知であるので、ここで詳細な説明は省略する。
CNT22と所定距離離隔し、アノード電極23を配置する。ここで、カソード電極21及びアノード電極23は、従来一般的に使用する伝導性物質、すなわち金属電極、酸化物電極など、選択的に使用でき、制限はない。カソード電極21及びアノード電極23は、チャンバ20の外部から電源を印加してプラズマを発生させる役割を果たす。カソード電極21及びアノード電極23は、それぞれ基板24a,24b上に形成させ、チャンバ20の内部に装着させて使用できる。
次に、図2及び図3を参照し、電界放出素子の電流安定化のためのプラズマ処理方法についてさらに詳細に説明する。
まず、チャンバ20の内部を真空状態にするために、ポンプなどの真空装備(図示せず)を利用する。このときには、一般的な真空システムを利用でき、例えばロータリポンプなどを利用し、まず約10−2ないし10−3Torrの高真空になるまでチャンバ20内部の気体を外部に排出する。そして、ターボポンプなどを利用し、約10−8Torrの超真空を保持できる。
これにより、ほとんどのチャンバ20内の気体は、除去された状態となる。ここで、真空システムにより、チャンバ20内の気体が除去された状態の真空度を初期真空度という。もちろん、チャンバ20内の初期真空度は、選択的に調節でき、プラズマを形成させるための気体が投入された場合、約10−3Torr以上の真空度を保持できる程度に初期真空度を保持すればよい。
そして、プラズマを形成させるための気体をチャンバ20と連結された弁25を介してチャンバ内に投入する。プラズマを形成させるための気体の種類は、制限がなく、例えばAr、Neなどの不活性気体や、N2、H2またはO2などのガスを単独または混合気体形態で使用できる。ガスが投入された状態でのチャンバ20内の圧力は、前述のように約10−3Torr以上で適正に保持されるようにする。これは、約10−2Torr以下の真空度では、プラズマを安定的に保持し難いためである。
チャンバ10内に気体を投入してから、カソード電極21及びアノード電極23に電圧を印加する。このとき、印加する電圧は、一般的にプラズマ工程時に使用する電圧を使用でき、少なくとも約10V以上の電圧とする。このように電気的エネルギーを加えれば、投入された気体がチャンバ20内で負電荷を有した電子と正電荷を帯びたイオンとに分離された気体状態であるプラズマに活性化される。かかるプラズマ状態で、気体の陽イオンまたはラジカルなどが下部のカソード電極21上に形成されたCNT22の端部と衝突する。これにより、CNT22が均一な照度を有するようになるなど、物理、化学的な変化を誘発させる。
図3A及び図3Bは、かかるCNT22の端部に陽イオンが衝突することを概略的に表している。図3Aを参照すれば、カソード電極21上に形成させたCNT22は、均一に成長し難く、粗い表面を有することとなる。従って、個々のCNT22の高さの差が発生し、相対的にCNT22の長さが長く形成されたもの22aと短く形成されたもの22bとが生ずるようになる。
異常に不均一に形成されたCNTによる電界放出が不安定であることは、すでに従来技術で言及された。発生したプラズマの陽イオンは、かかる異常に高く形成されたCNT22aの端部と集中的に衝突を起こし、物理的にその高さを低くする。プラズマ処理工程の工程時間は、数十秒ないし数分間実施する。かかるプラズマ処理を実施すれば、図3Bに表したように、CNT22の高さが全体的に均一になる。
本発明による電界放出素子の電流安定化のためのプラズマ処理工程による効果を確認するために、本発明者は、プラズマ処理前後のCNTの形態的な変化及び電気的な特性の変化を確認した。
図4A及び図4Bは、プラズマ処理前状態及びプラズマ処理後状態のCNT試片を走査電子顕微鏡(SEM)で撮影したイメージを表した写真である。ここで、基板24aにはガラスを使用し、カソード電極21及びアノード電極23には、ITOを使用した。そして、CNT22は、CNTペーストをカソード電極23上に印刷して形成させた。図4A及び図4Bは、同じ倍率で撮影したものであり、これを比較すると次の通りである。まず、図4Aを参照すれば、プラズマ処理前状態のCNTの表面は非常に粗く、大きい塊状に不均一に形成されたことが分かる。かかる形態は、一般的なCNT成長方法により形成させた電界放出素子の表面形態である。
図4Aに表したCNT試片を図2のような形態にプラズマ処理を実施した。このとき使用したプラズマ形成用の気体は、Neであり、約10Torrの真空度を保持した。そして、カソード電極21及びアノード電極23間に約250V電圧を印加してプラズマを形成させた。数分間プラズマ処理を実施し、SEMでCNTの表面イメージを撮影して図4Bに表した。図4Bを参照すれば、CNTの全体的な表面が図4AのCNT表面に比べてその表面粗度が低下し、CNTの大きい塊がなくなって相対的に小さなサイズに良好に分布していることが分かる。
図5は、図4A及び図4Bに表したプラズマ処理前後のCNT試片に対する経時的な電流特性を表したグラフである。ここで、横軸は、電界放出素子に外部電圧を加えた時間(hours)を表した。ここで、印加した電圧は、多様に調節でき、実際の実験時に、約4ないし7V/μmほどを加えた。そして、縦軸は、電界放出素子の電界放出源であるCNTから放出される単位面積当たりの電流値、すなわち電流密度(μA/cm2)を表す。
図5を参照すれば、プラズマ処理前のCNTから放出される電流密度と、プラズマ処理後のCNTから放出される電流密度は、初期には同じような値を有するが、すぐに大きい差を表すことが分かる。すなわち、プラズマ処理前のCNTの場合、初期に約1,400μA/cm2の電流密度値を有して電流を放出していて、急激に減少してその電流密度値が600μA/cm2以下に減少することが分かる。一方、プラズマ処理後のCNTの場合、初期1,400μA/cm2の電流密度を表していて、ある程度減少するが、時間が経った後でも約1,100μA/cm2以上の安定な電流密度値を保持することが分かる。従って、CNTに対するプラズマ処理により、安定な電界放出が可能であり、それは、結局電界放出素子の寿命が大きく延長されうることを表す。
すなわち、プラズマ処理により、CNT電界放出素子の均一な表面形態を得ることができ、結局安定した電界放出及び素子自体の寿命を大きく延長させる。
前記の説明で、多くの事項が具体的に記載されているが、それらは発明の範囲を限定するものとみるより、望ましい実施形態の例示として解釈されなければならない。従って、本発明の範囲は、説明された実施形態によって定められるものではなく、特許請求の範囲に記載された技術的思想により定められるものである。
本発明の電界放出素子の安定化のための方法は、電界放出素子製造関連の技術分野に効果的に適用可能である。
10…基板、
11…下部電極、
12,22…CNT、
12a…CNTの一部、
20…チャンバ、
21…カソード電極、
22a…長いCNT、
22b…短いCNT、
23…アノード電極、
24a,24b…基板、
25…弁。
11…下部電極、
12,22…CNT、
12a…CNTの一部、
20…チャンバ、
21…カソード電極、
22a…長いCNT、
22b…短いCNT、
23…アノード電極、
24a,24b…基板、
25…弁。
Claims (9)
- 炭素ナノチューブを電界放出源として利用する電界放出素子の電流安定化方法において、
前記炭素ナノチューブに対してプラズマ処理を実施することを特徴とする電界放出素子の電流安定化方法。 - 前記プラズマ処理は、
(ア)炭素ナノチューブが形成された試片をチャンバ内に装着するステップと、
(イ)チャンバ内の気体を排出させ、プラズマ発生用気体を投入するステップと、
(ウ)前記チャンバ内に電圧を印加してプラズマを発生させることにより、前記試片に対してプラズマ処理を行うステップと、を含むことを特徴とする請求項1に記載の電界放出素子の電流安定化方法。 - 前記試片は、
下部電極と、
前記下部電極上に形成された炭素ナノチューブと、を備えることを特徴とする請求項2に記載の電界放出素子の電流安定化方法。 - 前記炭素ナノチューブと対向する前記チャンバの上部には、上部電極が装着されたことを特徴とする請求項2に記載の電界放出素子の電流安定化方法。
- 前記プラズマ発生用気体は、不活性気体、N2、O2またはH2のうち、少なくともいずれか一つを備えることを特徴とする請求項2に記載の電界放出素子の電流安定化方法。
- 前記(イ)ステップで、前記プラズマ発生用気体を注入し、前記チャンバ内の真空度を約10−3Torr以上に保持することを特徴とする請求項2に記載の電界放出素子の電流安定化方法。
- 前記(ウ)ステップで、印加する電圧は、約10V以上であることを特徴とする請求項2に記載の電界放出素子の電流安定化方法。
- 前記(ウ)ステップの前記炭素ナノチューブに対するプラズマ処理は、少なくとも数十秒以上実施することを特徴とする請求項2に記載の電界放出素子の電流安定化方法。
- 炭素ナノチューブを電界放出源として利用する電界放出素子の製造方法であって、
前記炭素ナノチューブの表面形態を均一化するために、前記炭素ナノチューブに対してプラズマ処理を実施することを特徴とする電界放出素子の製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040038744A KR20050113521A (ko) | 2004-05-29 | 2004-05-29 | 전계 방출 소자의 안정화를 위한 방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005340222A true JP2005340222A (ja) | 2005-12-08 |
Family
ID=35425981
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005158042A Withdrawn JP2005340222A (ja) | 2004-05-29 | 2005-05-30 | 電界放出素子の電流安定化方法および電界放出素子の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050266764A1 (ja) |
JP (1) | JP2005340222A (ja) |
KR (1) | KR20050113521A (ja) |
CN (1) | CN1702806A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5526457B2 (ja) * | 2006-12-01 | 2014-06-18 | 富士通株式会社 | 炭素細長構造束状体、その製造方法および電子素子 |
KR100927191B1 (ko) * | 2008-02-05 | 2009-11-18 | 세종대학교산학협력단 | 탄소나노튜브의 전계방출 향상 방법 |
CN111933656B (zh) * | 2020-10-19 | 2021-02-23 | 长江先进存储产业创新中心有限责任公司 | 一种三维相变存储器及其制备方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6232706B1 (en) * | 1998-11-12 | 2001-05-15 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Self-oriented bundles of carbon nanotubes and method of making same |
JP2001180920A (ja) * | 1999-12-24 | 2001-07-03 | Nec Corp | ナノチューブの加工方法及び電界放出型冷陰極の製造方法並びに表示装置の製造方法 |
JP2002025425A (ja) * | 2000-07-07 | 2002-01-25 | Hitachi Ltd | 電子エミッターとその製造法および電子線装置 |
-
2004
- 2004-05-29 KR KR1020040038744A patent/KR20050113521A/ko not_active Application Discontinuation
-
2005
- 2005-05-24 CN CNA2005100738223A patent/CN1702806A/zh active Pending
- 2005-05-30 JP JP2005158042A patent/JP2005340222A/ja not_active Withdrawn
- 2005-05-31 US US11/139,664 patent/US20050266764A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050266764A1 (en) | 2005-12-01 |
KR20050113521A (ko) | 2005-12-02 |
CN1702806A (zh) | 2005-11-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5420835B2 (ja) | プラズマ発生装置およびこれを用いた成膜方法 | |
JP2005340222A (ja) | 電界放出素子の電流安定化方法および電界放出素子の製造方法 | |
JP2005307352A (ja) | 炭素膜の製造装置およびその製造方法 | |
Wang et al. | Field emission characteristics of single crystal LaB6 field emitters fabricated by electrochemical etching method | |
Sato et al. | Vertically aligned carbon nanotubes grown by plasma enhanced chemical vapor deposition | |
JP4737672B2 (ja) | プラズマcvdによる成膜方法、電子放出源、電界放射型ディスプレイおよび照明ランプ | |
Akita et al. | Diameter control of arc produced multiwall carbon nanotubes by ambient gas cooling | |
JP5213099B2 (ja) | カーボンファイバーシート上のカーボンナノチューブの成長方法およびカーボンナノチューブエミッター | |
JP2007073715A (ja) | カーボンナノウォールを用いた電子素子 | |
JP4919272B2 (ja) | カーボンナノチューブ形成装置、カーボンナノチューブ形成方法 | |
JP3749951B2 (ja) | カーボンナノチューブの作製方法、及びカーボンナノチューブの作製装置 | |
JP2005255492A (ja) | カーボンナノ構造の製造装置およびその製造方法 | |
JP5081851B2 (ja) | 電界放出電子源の製造方法 | |
JP2006305554A (ja) | 触媒の形成方法およびそれを用いた炭素膜の製造方法 | |
JP2008293967A (ja) | 電子源及び電子源の製造方法 | |
JP4536456B2 (ja) | プラズマ化学気相堆積方法 | |
RU2813858C1 (ru) | Способ повышения эффективности многоострийных автоэмиссионных катодов | |
KR101038670B1 (ko) | 금속 팁에 직접 탄소나노튜브를 성장한 무버퍼층 구조의 탄소나노튜브 음극의 제조방법 | |
JP4608692B2 (ja) | 大気中電子放出特性を有する電子放出素子とその製造方法、および、この素子を使用した電子放出方法 | |
JP2848590B1 (ja) | 電子ビーム励起プラズマ発生装置 | |
JP2007042352A (ja) | 電界電子放出源及びそれを用いたマグネトロン及びマイクロ波応用装置 | |
KR20090082295A (ko) | 레이저 및/또는 플라즈마 처리된 탄소나노튜브 매트, 필름 또는 잉크로 제조된 전계 방출 장치 | |
JP2004006283A (ja) | プラズマ生成装置 | |
JP2004018350A (ja) | カーボンナノチューブの製造方法 | |
JP4803760B2 (ja) | 電子エミッタの電界エージング方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080321 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20081209 |