JP2005337921A - 3次元形状測定方法及び3次元形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回転機構の回転角度を測定する第1の測定工程と、被測定物の形状を、プローブにより測定する第2の測定工程と、複数の基準面の形状を、プローブにより測定する第3の測定工程と、第2の測定工程で得た測定データを、第3の測定工程で得た測定データを用いて補正する工程とを有する3次元形状測定方法であって、複数の基準面は、いずれも回転機構の回転軸に対して略軸対称な形状を有しており、複数の基準面のうち、第1の基準面は、回転軸に対して所定の角度をなす面であって、第2の基準面は、回転軸に対して第1の基準面とは異なる所定の角度をなす面であり、第3の測定工程は、第1の基準面を測定する第1の基準面測定工程と、第2の基準面を測定する第2の基準面測定工程とを、少なくとも有する。
【選択図】 図1
Description
Zi=ZLi+(Tai−Tbi)×f(XLi)
Xi=XLi+(Rai+Rbi)/2
ただし、f(XLi)は、被測定物113の形状とXLiの関係から算出される関数
このようにして、被測定物113の3次元形状を測定する。
(構成)
図1は、本発明の第1実施形態に係る3次元形状測定装置の構成を示す図である。図1に示すように、本3次元形状測定装置1は、プローブ2と、先端球3と、静圧空気軸受4と、板ばね5と、板ばね保持部6と、マイクロリニアスケール7と、Zステージ8と、Xステージ9と、Zレーザ測長器10(10a、10b)と、Xレーザ測長器11と、Z基準ミラー12と、X基準ミラー13と、θステージ14と、θロータリエンコーダ15と、測定機のフレーム16と、ステージ制御部17と、パーソナルコンピュータ18と、直角反射プリズム19,20,21と、測定治具23とから構成される。
次に、この3次元形状測定装置1の作用について説明する。被測定物22は、被測定物22の光軸とθステージ14の回転軸を略一致させて、θステージ14に固定される。次に、Xステージ9を駆動して、プローブ2とθステージ14の回転軸を略一致させる。そして、Zステージ8を駆動して、先端球3を被測定物22に接触させる。θステージ14を回転させると、被測定物22が回転する。また、Xステージ9を駆動すると、Zステージ8と静圧空気軸受4とプローブ2が一体にX軸方向に移動する。
θDZi=ZPi―ZP0
θDXi=((ZTi―ZT0)―(ZPi―ZP0))/tan45°
このようにして、回転角度がθDiのときの回転振れデータ(θDi、θDZi、θDXi)を得る。
θi=θLi
Zi=ZLi―θDZi
Xi=XLi―θDXi
となる。
本実施の形態によれば、測定機に測定治具23を追加するのみで、θステージ14の回転振れによる測定誤差を補正できる。
なお、上記した第1実施の形態の各構成は、当然、各種の変形、変更が可能である。
以下に、本発明の第2実施形態について説明する。
第2実施形態の構成は、第1の実施の形態と同じ構成である。
被測定物22の測定データ(θLi、ZLi、XLi)、測定治具23の平面部23aの測定データ(θPi、ZPi、XPi)及びテーパ面23bの測定データ(θTi、ZTi、XTi)を取り込む動作までは、第1の実施の形態と同様である。
θDZi=((ZPi−ZP0)−(ZPGi−ZPG0))×(XLi−XPGi)/(XPi−XPGi)
θDXi=((ZTi−ZT0+ZTGi−ZTG0)/2−((ZPi−ZP0+ZPGi−ZPG0)/2)/tan45°
このようにして、回転角度がθDiのときの回転振れデータ(θDi、θDZi、θDXi)を得る。
θi=θLi
Zi=ZLi−θDZi
Xi=XLi−θDXi
となる。
第1実施形態では、θステージ14の回転振れにより、Z軸に対するθステージ14の回転軸の角度が変わらずに回転軸が移動する(すなわち、Z軸に対する被測定物22の角度が変わらずに、被測定物22が移動する)ことで生じる測定誤差を補正できる。
本実施の形態では、先に平面を測定したX方向の位置に対して略回転軸対称なX方向の位置で測定を実施し、平面の測定データ2(θPGi、ZPGi、XPGi)を得たが、必ずしも略回転軸対称なX方向の位置である必要はなく、先に平面を測定したX方向の位置と異なるX方向の位置であれば同様の効果が得られる。
なお、上記した具体的な実施形態から以下のような構成(1)〜(8)を備える発明を抽出することができる。
被測定物の形状を、プローブにより測定する第2の測定工程と、
複数の基準面の形状を、前記プローブにより測定する第3の測定工程と、
前記第2の測定工程で得た測定データを、前記第3の測定工程で得た測定データを用いて補正する工程とを有する3次元形状測定方法であって、
前記複数の基準面は、いずれも前記回転機構の回転軸に対して略軸対称な形状を有しており、前記複数の基準面のうち、前記第1の基準面は、前記回転軸に対して所定の角度をなす面であって、前記第2の基準面は、前記回転軸に対して前記第1の基準面とは異なる所定の角度をなす面であり、
前記第3の測定工程は、前記第1の基準面を測定する第1の基準面測定工程と、前記第2の基準面を測定する第2の基準面測定工程とを、少なくとも有することを特徴とする3次元形状測定方法。
この発明に対応する実施の形態は、第1、2の実施の形態が対応する。
被測定物と、例えば測定治具の第1の基準面と第2の基準面を測定し、第1の基準面と第2の基準面の測定データから回転機構の回転振れを演算する。演算した回転機構の回転振れにより、被測定物の測定データを補正し、最終的な測定データを得る。
この発明に対応する実施の形態は、第2の実施の形態が対応する。
第1の基準面を複数の位置(例えば、第1の基準面を測定したX方向の位置と異なるX方向の位置)で測定する。これにより、(1)の効果に加え、回転機構の回転振れにより、プローブに対する回転機構の回転軸の角度が変動する(すなわち、プローブに対する被測定物の角度が変わる)ことで生じる測定誤差も補正できる。
前記回転機構の回転角度を測定する回転角測定器と、
前記被測定物に対向配置されたプローブと、
前記プローブにより、前記被測定物と、前記回転機構の回転軸に対して略軸対象な複数の基準面とを測定して測定データを取り込む制御部と、
前記被測定物の測定データを、前記複数の基準面の測定データを用いて補正する演算部とを有し、
前記複数の基準面は、前記回転軸に対して所定の角度をなす第1の基準面と、前記回転軸に対して前記第1の基準面とは異なる所定の角度をなす第2の基準面とを含む、ことを特徴とする3次元形状測定装置。
この発明に対応する実施の形態は、第1、2の実施の形態が対応する。
制御部が、プローブにより被測定物と例えば測定治具の複数の基準面を測定し、測定データを取り込む。演算部が、複数の基準面の測定データから、回転機構の回転振れを演算し、被測定物の測定データを補正する。
この発明に対応する実施の形態は、第2の実施の形態が対応する。
第1の基準面を複数の位置(例えば、第1の基準面を測定したX方向の位置と異なるX方向の位置)で測定する。これにより、(5)の効果に加え、回転機構の回転振れにより、プローブに対する回転機構の回転軸の角度が変動する(すなわち、プローブに対する被測定物の角度が変わる)ことで生じる測定誤差も補正できる。
Claims (8)
- 回転機構の回転角度を測定する第1の測定工程と、
被測定物の形状を、プローブにより測定する第2の測定工程と、
複数の基準面の形状を、前記プローブにより測定する第3の測定工程と、
前記第2の測定工程で得た測定データを、前記第3の測定工程で得た測定データを用いて補正する工程とを有する3次元形状測定方法であって、
前記複数の基準面は、いずれも前記回転機構の回転軸に対して略軸対称な形状を有しており、前記複数の基準面のうち、前記第1の基準面は、前記回転軸に対して所定の角度をなす面であって、前記第2の基準面は、前記回転軸に対して前記第1の基準面とは異なる所定の角度をなす面であり、
前記第3の測定工程は、前記第1の基準面を測定する第1の基準面測定工程と、前記第2の基準面を測定する第2の基準面測定工程とを、少なくとも有することを特徴とする3次元形状測定方法。 - 前記複数の基準面の各々は、測定治具の一面であることを特徴とする請求項1記載の3次元形状測定方法。
- 前記第1の基準面測定工程は、前記第1の基準面を複数の位置で測定する工程を含むことを特徴とする請求項1または2記載の3次元形状測定方法。
- 前記複数の位置は、前記第1の基準面を測定したX方向の位置と異なるX方向の位置であることを特徴とする請求項3記載の3次元形状測定方法。
- 被測定物を回転させる回転機構と、
前記回転機構の回転角度を測定する回転角測定器と、
前記被測定物に対向配置されたプローブと、
前記プローブにより、前記被測定物と、前記回転機構の回転軸に対して略軸対象な複数の基準面とを測定して測定データを取り込む制御部と、
前記被測定物の測定データを、前記複数の基準面の測定データを用いて補正する演算部とを有し、
前記複数の基準面は、前記回転軸に対して所定の角度をなす第1の基準面と、前記回転軸に対して前記第1の基準面とは異なる所定の角度をなす第2の基準面とを含む、ことを特徴とする3次元形状測定装置。 - 前記複数の基準面の各々は、前記被測定部に関して配置される測定治具の一面であることを特徴とする請求項5記載の3次元形状測定装置。
- 前記第1の基準面測定工程は、前記第1の基準面を複数の位置で測定する工程を含むことを特徴とする請求項5または6記載の3次元形状測定装置。
- 前記複数の位置は、前記第1の基準面を測定したX方向の位置と異なるX方向の位置であることを特徴とする請求項7記載の3次元形状測定装置。
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