JP2005327856A - 半導体ウェーハのエッチング装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】
シリコンウェーハの保持バーの溝からの脱落をなくし回転不良をなくすことで、シリコンウェーハの破損を防止しエッチング処理をムラなく良好に行えるようにするとともに、外周部でエッチング液が接触しない面積を極力小さく抑えることでシリコンウェーハの外周部の平坦度を向上させる。
【解決手段】
オリエンテーションフラット面32がウェーハ中心30cよりも下方に存在する回転位置になっている場合に、ウェーハ中心30cよりも下方に存在するウェーハ外周面31であってオリエンテーションフラット面32を除いた部分が常時3本以上の保持バー(たとえば保持バー14、15、16)によって保持されるように、下方の保持バー13、14、15、16が配置されている。
【選択図】 図5
シリコンウェーハの保持バーの溝からの脱落をなくし回転不良をなくすことで、シリコンウェーハの破損を防止しエッチング処理をムラなく良好に行えるようにするとともに、外周部でエッチング液が接触しない面積を極力小さく抑えることでシリコンウェーハの外周部の平坦度を向上させる。
【解決手段】
オリエンテーションフラット面32がウェーハ中心30cよりも下方に存在する回転位置になっている場合に、ウェーハ中心30cよりも下方に存在するウェーハ外周面31であってオリエンテーションフラット面32を除いた部分が常時3本以上の保持バー(たとえば保持バー14、15、16)によって保持されるように、下方の保持バー13、14、15、16が配置されている。
【選択図】 図5
Description
本発明は、半導体ウェーハ、特にオリエンテーションフラット面を有する半導体ウェーハをエッチング工程でエッチング処理する際に用いられる装置に関するものである。
シリコンウェーハなどの半導体ウェーハを製造する工程の1つに、エッチング工程がある。またシリコンウェーハの製造の過程で、シリコンの結晶軸方位を表すために、ノッチやオリエンテンショーンフラット面が形成される。図6は、オリエンテーションフラット面32を有するシリコンウェーハ30を斜視図にて示している。シリコンウェーハ30の外周面31は、面取り工程でベベル部31aが形成されている。シリコンウェーハ30は、オリエンテーションフラット面32を有しているため完全な円板状ではなく半月状の不完全な円板形状となっている。シリコンウェーハ30の表面30a、裏面30bは、ラッピング工程でラップ砥粒を用いて研削され平坦化されている。
エッチング工程では、前工程(ラッピング工程)で形成された加工歪層(ダメージ層)等を除去するとともに、シリコンウェーハ30の表面30aおよび裏面30bの面の精度を高め平坦度を向上させることを目的として、シリコンウェーハ30の表面30aおよび裏面30bを酸エッチングすることで化学研磨処理が施される。
エッチング工程では、図2に示されるエッチング装置が使用される。なお以下の説明では装置の上下方向(鉛直方向、重力方向)は、特に断りのない限り図面中の上下方向に対応しているものとする。
図2は従来のエッチング装置を構成する治具としてのバレル20の構成を示しており、図2(b)はバレル20の正面図で、図2(a)は図2(b)を矢視Aでみた図2(b)の左側面図である。
図2に示すバレル20は図示しないエッチング槽に収容されている。エッチング槽にはエッチング液が満たされている。
図2に示すように、バレル20は、その長手方向が水平方向となるように配置された5本の保持バー21、22、23、24、25を備えている。各保持バー21〜25には、シリコンウェーハ30の外周面31を嵌合しシリコンウェーハ30の外周面31を保持する溝26が、保持バー21〜25の長手方向に所定の間隔で(たとえば等間隔で)、複数、形成されている。溝26は、保持バー21〜25の周面に環状に形成されている。
図2(a)に示すように上記5本の保持バー21〜25は、シリコンウェーハ30の外周面31に沿った各位置に配置されている。すなわちシリコンウェーハ30の中心30cよりも上方には、2本の保持バー21、22が左右対称に配置されており、ウェーハ中心30cよりも下方には、3本の保持バー23、24、25が左右対称に配置されている。たとえば上方の2本の保持バー21、22は、ウェーハ外周面31に沿って60゜の間隔で配置されている。また下方の3本の保持バー23、24、25は、保持バー24が最下点となるように、ウェーハ外周面31に沿って45゜の間隔で配置されている。
このため複数のシリコンウェーハ30がそれぞれ、保持バー21〜25の各溝26に嵌合されるように装填されると、複数のシリコンウェーハ30は、それらの外周面31が5本の保持バー21〜25によって保持され、等間隔で立てられた姿勢に位置決めされる。
図3(a)はシリコンウェーハ30の外周面31が保持バー21〜25の溝26に嵌合された状態を断面にて示している。
5本の保持バー21〜25は、同一方向ω1に回転できるように(たとえば図2(a)中左回転に回転できるように)、ギヤ等を介して電気モータ等の回転アクチュエータの回転軸に連結されている。このため上記回転アクチュエータが駆動されると、保持バー21〜25が左回転方向ω1に回転し、保持バー21〜25の回転力が溝26を介して複数のシリコンウェーハ30に伝達されて、複数のシリコンウェーハ30は、保持バー21〜25の回転方向ω1とは反対の図2(a)中右方向ω2に回転されることになる。複数のシリコンウェーハ30が回転されるとウェーハ周辺のエッチング液は撹拌され、シリコンウェーハ30の表面30aおよび裏面30bのエッチングが進行する。このようなエッチングが所定の時間行われた後に、複数のシリコンウェーハ30がバレル20から取り外されて、つぎの工程へ移送される。
図4(a)、(b)は、図2の従来装置におけるシリコンウェーハ30の回転中の各姿勢を示している。
図4(a)はオリエンテーションフラット面32がウェーハ中心30cよりも上方に存在するときの回転姿勢を示し、図4(b)はオリエンテーションフラット面32がウェーハ中心30cよりも下方に存在するときの回転姿勢を示している。
シリコンウェーハ30が図4(a)に示す回転姿勢をとっているときには、下方の3本の保持バー23、24、25の各溝26に、外周面31のうちオリエンテーションフラット面32を除いた部分が嵌合して、シリコンウェーハ30から受ける重力方向の力を3点で支持している。このため保持バー23、24、25の溝26を介してシリコンウェーハ30に回転力が有効に伝達されて、シリコンウェーハ30の回転がスムーズに行われる。
シリコンウェーハ30が図4(a)に示す回転姿勢をとっているときには、下方の3本の保持バー23、24、25の各溝26に、外周面31のうちオリエンテーションフラット面32を除いた部分が嵌合して、シリコンウェーハ30から受ける重力方向の力を3点で支持している。このため保持バー23、24、25の溝26を介してシリコンウェーハ30に回転力が有効に伝達されて、シリコンウェーハ30の回転がスムーズに行われる。
つぎにシリコンウェーハ30が図4(a)に示す回転姿勢から図4(b)に示す回転姿勢に移行してオリエンテーションフラット面32が、下方の保持バー、たとえば保持バー23に相当する場所に位置されたとする。このとき保持バー23の溝26の谷からオリエンテーションフラット面32が離れてしまうため、シリコンウェーハ30は有効に嵌合されないばかりか溝26から脱落することがある。このためシリコンウェーハ30の脱落によりシリコンウェーハ30が破損するおそれがある。
また本来シリコンウェーハ30からの重力方向の力を受けるべきである保持バー23は、シリコンウェーハ30を保持しておらず他の2本の保持バー24、25のみでシリコンウェーハ30を保持しているためシリコンウェーハ30への回転伝達が不十分であり回転不良を起こすおそれがある。回転不良を起こすと、シリコンウェーハ30の面内でエッチング液が均一に接触しないためエッチング処理のムラが生じ面内の平坦度が劣化するおそれがある。実験では、回転不良によってシリコンウェーハ30の特に中心付近で平坦度の劣化がみられた。
ここで、図3(b)に示すように、溝26の深さを図3(a)に示すものよりも、より深くすることで、保持バー23の溝26にオリエンテーションフラット面32を有効に嵌合させて、上述したシリコンウェーハ30の脱落、シリコンウェーハ30の回転不良をなくすことが考えられる。
しかし図3(b)に示すように溝26を深く形成すると、その深くなった分だけシリコンウェーハ30の外周部33(図6)でエッチング液に接触しない面積が拡がり、エッチング処理が行われない領域が拡がることになる。
近年、シリコンウェーハ30の外周部33においても、一定レベル以上の平坦度が要求されている。外周部33でエッチング処理が行われない領域が拡がるとすると、外周部33の平坦度が悪化し、シリコンウェーハ30の品質の劣化を招くおそれがある。
本発明はこうした実状に鑑みてなされたものであり、シリコンウェーハ30の保持バーの溝からの脱落をなくし回転不良をなくすことで、シリコンウェーハ30の破損を防止しエッチング処理をムラなく良好に行えるようにするとともに、外周部33でエッチング液が接触しない面積を極力小さく抑えることでシリコンウェーハ30の外周部33の平坦度を向上させることを解決課題とするものである。
第1発明は、
切欠きを有する半導体ウェーハが複数本の保持バーによって保持され、前記保持バーが回転されることによって前記半導体ウェーハがエッチング液内で回転され当該半導体ウェーハがエッチング処理される、半導体ウェーハのエッチング装置において、
前記切欠きが前記半導体ウェーハの中心よりも下方に存在する回転位置になっている場合に、当該ウェーハ中心よりも下方に存在するウェーハ外周面であって前記切欠きを除いたウェーハ外周面が常時3本以上の保持バーによって保持されるように、前記複数本の保持バーが配置されていること
を特徴とする。
切欠きを有する半導体ウェーハが複数本の保持バーによって保持され、前記保持バーが回転されることによって前記半導体ウェーハがエッチング液内で回転され当該半導体ウェーハがエッチング処理される、半導体ウェーハのエッチング装置において、
前記切欠きが前記半導体ウェーハの中心よりも下方に存在する回転位置になっている場合に、当該ウェーハ中心よりも下方に存在するウェーハ外周面であって前記切欠きを除いたウェーハ外周面が常時3本以上の保持バーによって保持されるように、前記複数本の保持バーが配置されていること
を特徴とする。
第2発明は、第1発明において、
前記複数本の保持バーは、前記ウェーハ中心よりも上方に2本が配置され、前記ウェーハ中心よりも下方に4本が配置されていること
を特徴とする。
前記複数本の保持バーは、前記ウェーハ中心よりも上方に2本が配置され、前記ウェーハ中心よりも下方に4本が配置されていること
を特徴とする。
本発明によれば、図1(a)あるいは図5(b)に示すように、オリエンテーションフラット面32がウェーハ中心30cよりも下方に存在する回転位置になっている場合に、ウェーハ中心30cよりも下方に存在するウェーハ外周面31であってオリエンテーションフラット面32を除いた部分が常時3本以上の保持バー(たとえば保持バー13、15、16)によって保持されるように、下方の保持バー13、14、15、16が配置されている。この場合、各保持バー11〜16に形成される溝17としては、図3(a)に示すものと比較して浅い図3(b)に示す溝17を採用することができる。
シリコンウェーハ30が図5(b)に示す回転姿勢に移行してオリエンテーションフラット面32が、下方の保持バー、たとえば保持バー14に相当する場所に位置されたとする。このとき浅い溝17を採用しているため保持バー14の溝17の谷からオリエンテーションフラット面32が離れてしまうため、この部分ではシリコンウェーハ30が有効に嵌合されなくなる。
しかし他の3本の保持バー13、15、16の溝17には、外周面31のうちオリエンテーションフラット面32を除いた部分が有効に嵌合されており、シリコンウェーハ30は下方で3点で保持されている。すなわちオリエンテーションフラット面32がウェーハ中心30cよりも下方の任意の位置にあるとき、常時、下方の4本の保持バー13〜16のうち3本の保持バーの溝に有効に嵌合し3点で保持されている。
なおオリエンテーションフラット面32がウェーハ中心30cよりも上方に存在する回転姿勢をとっているとき(図5(a))には、下方の4本の保持バー13、14、15、16の各溝17に、外周面31のうちオリエンテーションフラット面32を除いた部分が嵌合して、シリコンウェーハ30から受ける重力方向の力を4点で支持している。
本発明の装置は、オリテンテーションフラット面32を有しないシリコンウェーハ30を保持してエッチング処理する際にも使用することができる(第3発明)。
本発明によれば、ウェーハ中心30cよりも下方でシリコンウェーハ30は少なくとも3点で確実に保持されるため、シリコンウェーハ30の保持バーの溝からの脱落がなくなるとともに、回転不良を起こすことなくスムーズに回転する。この結果、シリコンウェーハ30の破損が防止されエッチング処理をムラなく良好に行える。また溝17を浅くし外周部33でエッチング液が接触しない面積を極力小さく抑えることができたためシリコンウェーハ30の外周部33の平坦度が向上する。
以下図面を参照して本発明に係る半導体ウェーハのエッチング装置の実施の形態について説明する。
図1は実施形態のエッチング装置を構成する治具としてのバレル10の構成を示しており、図1(b)はバレル10の正面図で、図1(a)は図1(b)を矢視Aでみた図1(b)の左側面図である。また図1(c)は図1(b)を矢視Bでみた図1(b)の右側面図である。
図1に示すバレル10は図示しないエッチング槽に収容されている。エッチング槽にはエッチング液が満たされている。
図1に示すように、バレル10は、その長手方向が水平方向となるように配置された6本の保持バー11、12、13、14、15、16を備えている。各保持バー11〜16には、シリコンウェーハ30の外周面31を嵌合しシリコンウェーハ30の外周面31を保持する溝17が、保持バー11〜16の長手方向に所定の間隔で(たとえば等間隔で)、複数、形成されている。溝17は、保持バー11〜16の周面に環状に形成されている。
図1(a)に示すように上記6本の保持バー11〜16は、シリコンウェーハ30の外周面31に沿った各位置に配置されている。すなわちシリコンウェーハ30の中心30cよりも上方には、2本の保持バー11、12が左右対称に配置されており、ウェーハ中心30cよりも下方には、4本の保持バー13、14、15、16が左右対称に配置されている。たとえば上方の2本の保持バー11、12は、ウェーハ外周面31に沿って76゜の間隔で配置されている。また下方の4本の保持バー13、14、15、16は、保持バー14、15が最下点となるように、ウェーハ外周面31に沿って配置されている。保持バー13と保持バー14との間隔および保持バー15と保持バー16との間隔は、37度に設定されており、保持バー14と保持バー15との間隔は60゜に設定されている。
すなわちオリエンテーションフラット面32がウェーハ中心30cよりも下方に存在する回転位置になっている場合に、ウェーハ中心30cよりも下方に存在するウェーハ外周面31であってオリエンテーションフラット面32を除いた部分が常時3本以上の保持バー(たとえば保持バー13、15、16)によって保持されるように、下方の保持バー13、14、15、16が配置されている。
このため複数のシリコンウェーハ30が保持バー11〜16の各溝17に嵌合されるように装填されると、複数のシリコンウェーハ30は、それらの外周面31が6本の保持バー11〜16によって保持され、等間隔で立てられた姿勢に位置決めされる。
図3(b)はシリコンウェーハ30の外周面31が保持バー11〜16の溝17に嵌合された状態を断面にて示している。実施形態では、シリコンウェーハ30の外周部33でエッチング液との接触面積が大きくなる浅い溝17を採用している。
6本の保持バー11〜16は、同一方向ω1に回転できるように(たとえば図1(a)中左回転に回転できるように)、ギヤ等を介して電気モータ等の回転アクチュエータの回転軸に連結されている。すなわち各保持バー11〜16の端部にはそれぞれ、保持バーの周方向に歯面を有するギヤが設けられている。各保持バー11〜16のギヤは、ウェーハ中心30cと同心となっているギヤ18に歯合している。ギヤ18は図示しない回転アクチュエータの回転軸に接続されている。
このため上記回転アクチュエータが駆動されると、保持バー11〜16が左回転方向ω1に回転し、保持バー11〜16の回転力が溝17を介して複数のシリコンウェーハ30に伝達されて、複数のシリコンウェーハ30は、保持バー11〜16の回転方向ω1とは反対の図1(a)中右方向ω2に回転されることになる。複数のシリコンウェーハ30が回転されるとウェーハ周辺のエッチング液は撹拌され、シリコンウェーハ30の表面30aおよび裏面30bのエッチングが進行する。このようなエッチングが所定の時間行われた後に、複数のシリコンウェーハ30がバレル10から取り外されて、つぎの工程へ移送される。
図5(a)、(b)は、図1の本実施形態装置におけるシリコンウェーハ30の回転中の各姿勢を示している。
図5(a)はオリエンテーションフラット面32がウェーハ中心30cよりも上方に存在するときの回転姿勢を示し、図5(b)はオリエンテーションフラット面32がウェーハ中心30cよりも下方に存在するときの回転姿勢を示している。
シリコンウェーハ30が図5(a)に示す回転姿勢をとっているときには下方の4本の保持バー13、14、15、16の各溝17に、外周面31のうちオリエンテーションフラット面32を除いた部分が嵌合して、シリコンウェーハ30から受ける重力方向の力を4点で支持している。このため保持バー13、14、15、16の溝17を介してシリコンウェーハ30に回転力が有効に伝達されて、シリコンウェーハ30の回転がスムーズに行われる。
シリコンウェーハ30が図5(a)に示す回転姿勢をとっているときには下方の4本の保持バー13、14、15、16の各溝17に、外周面31のうちオリエンテーションフラット面32を除いた部分が嵌合して、シリコンウェーハ30から受ける重力方向の力を4点で支持している。このため保持バー13、14、15、16の溝17を介してシリコンウェーハ30に回転力が有効に伝達されて、シリコンウェーハ30の回転がスムーズに行われる。
つぎにシリコンウェーハ30が図5(a)に示す回転姿勢から図5(b)に示す回転姿勢に移行してオリエンテーションフラット面32が、下方の保持バー、たとえば保持バー14に相当する場所に位置されたとする。このとき溝17が浅いため保持バー14の溝17の谷からオリエンテーションフラット面32が離れてしまうため、この部分ではシリコンウェーハ30が有効に嵌合されなくなる。
しかし他の3本の保持バー13、15、16の溝17には、外周面31のうちオリエンテーションフラット面32を除いた部分が有効に嵌合されており、シリコンウェーハ30は下方で3点で保持されている。すなわちオリエンテーションフラット面32がウェーハ中心30cよりも下方の任意の位置にあるとき、常時、下方の4本の保持バー13〜16のうち3本の保持バーの溝に有効に嵌合し3点で保持されている。
このためシリコンウェーハ30は溝17から脱落することなく、回転不良を起こすことなく、スムーズに回転する。これによりシリコンウェーハ30の面内でエッチング液が均一に接触しエッチング処理がムラなく行われ、面内の平坦度、特にウェーハ中心付近での平坦度が向上する。実験では、同じ浅い溝26(図3(b))を採用した従来のバレル20(図1)を用いて加工されたシリコンウェーハ30と比較して、本実施形態装置で加工されたウェーハは、中心付近で平坦度の向上がみられた。
また図3(b)に示すように、溝17の深さを図3(a)に示すものよりも、より浅く形成したものを採用することが可能となったため、その浅くできた分だけシリコンウェーハ30の外周部33(図6)でエッチング液に接触しない面積を小さくすることができ、エッチング処理が行われない領域を少なくすることができる。このように外周部33でエッチング処理が行われない領域を極力少なくすることができたため、深い溝26(図3(a))を採用した従来のバレル20(図1)を用いて加工されたシリコンウェーハ30と比較して、外周部33での平坦度が向上し、シリコンウェーハ30の品質を向上させることができた。
以上のように本実施形態の装置によれば、ウェーハ中心30cよりも下方でシリコンウェーハ30は少なくとも3点で確実に保持されるため、シリコンウェーハ30の保持バーの溝からの脱落がなくなるとともに、回転不良を起こすことなくスムーズに回転する。この結果、シリコンウェーハ30の破損が防止されエッチング処理をムラなく良好に行える。また溝17を浅くし外周部33でエッチング液が接触しない面積を極力小さく抑えることができたため、シリコンウェーハ30の外周部33の平坦度が向上する。
上述した実施形態では、オリエンテンショーンフラット面32を有するシリコンウェーハ30を想定して説明した。しかし本実施形態の装置は、切欠きを有するシリコンウェーハ30であればよく、当然に、ノッチを有するシリコンウェーハにも適用することができる。また、本発明の装置は、切欠きを有するシリコンウェーハのみならず、オリエンテーションフラット面やノッチを有しない完全円板状のシリコンウェーハをエッチング処理する際にも使用することができる。すなわちウェーハの種類を選ばす同一のバレル10(治具)を用いてエッチング処理が良好に行われるため、治具を使い分ける必要がなくなり、作業効率が向上する。
本実施形態では、半導体ウェーハとしてシリコンウェーハを想定して説明したが、エッチング処理が必要な半導体ウェーハであれば、ガリウム砒素等の任意のウェーハを対象として使用することができる。
10 バレル
11〜16 保持バー
30 シリコンウェーハ
30 ウェーハ中心
31 外周面
32 オリエンテーションフラット面
11〜16 保持バー
30 シリコンウェーハ
30 ウェーハ中心
31 外周面
32 オリエンテーションフラット面
Claims (2)
- 切欠きを有する半導体ウェーハが複数本の保持バーによって保持され、前記保持バーが回転されることによって前記半導体ウェーハがエッチング液内で回転され当該半導体ウェーハがエッチング処理される、半導体ウェーハのエッチング装置において、
前記切欠きが前記半導体ウェーハの中心よりも下方に存在する回転位置になっている場合に、当該ウェーハ中心よりも下方に存在するウェーハ外周面であって前記切欠きを除いたウェーハ外周面が常時3本以上の保持バーによって保持されるように、前記複数本の保持バーが配置されていること
を特徴とする半導体ウェーハのエッチング装置。 - 前記複数本の保持バーは、前記ウェーハ中心よりも上方に2本が配置され、前記ウェーハ中心よりも下方に4本が配置されていること
を特徴とする請求項1記載の半導体ウェーハのエッチング装置。
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KR100766417B1 (ko) | 2006-07-11 | 2007-10-12 | 이기정 | 수납 부재 및 이를 포함하는 박판화 장치 |
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