JP2005316486A - フォトリソグラフィ・システムを使用して印刷されるフィーチャのうねりを抑制するための、装置、方法、及びプログラム製品 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】方法は、デザインの第1の表現と、デザインの複数の部分のそれぞれの部分についての、複数の評価ポイントのそれぞれにおけるデザインのイメージの第2の表現との間の偏倚を確定する工程と、複数の評価ポイントの評価に基づいて、それぞれの部分におけるデザインの変更量を確定する工程と、前の工程で確定した量によって、それぞれの部分においてデザインを変更する工程とを含む。
【選択図】図5
Description
−投影放射ビームPBを供給する放射システムEx、ILを備える。この特定の場合、放射システムは又、放射源LAと、
−マスクMA(例えば、レチクル)を保持するマスク保持器を備え、アイテムPLに対してマスクを正確に位置決めする第1位置決め手段に連結される第1オブジェクト・テーブル(マスク・テーブル)MTと、
−基板W(例えば、レジストをコーティングしたシリコン・ウェハ)を保持する基板保持器を備え、アイテムPLに対して基板を正確に位置決めする第2位置決め手段に連結される第2オブジェクト・テーブル(基板テーブル)WTと、
−マスクMAの照射された部分を、基板Wの標的部分C(例えば、1つ又は複数のダイを備える)上にイメージングする投影システム(「レンズ」)PL(例えば、屈折、反射、又は反射屈折光学系)とを備える。
−ステップ・モードでは、マスク・テーブルMTは、実質的に固定したままにされ、全体のマスク・イメージが、標的部C上に1回の進行(go)(即ち、単一「フラッシュ」)で投影される。基板テーブルWTは、その後、異なる標的部CをビームPBが照射できるようにx及び/又はy方向にシフトされる。即ち、
−スキャン・モードでは、所与の標的部Cが、単一「フラッシュ」で露光されないことを除いて、実質的に同じシナリオが適用される。代わりに、マスク・テーブルMTは、速度νで、所与の方向(いわゆる、「スキャン方向」、例えば、y方向)に移動可能であり、それによって、投影ビームPBは、マスク・イメージ上をスキャンするようにさせられ、同時に、基板テーブルWTは、速度V=Mνで同じか、又は、反対方向に同時に移動する。ここで、MはレンズPLの拡大率である(通常、M=1/4又は1/5)。こうして、比較的大きな標的部Cを、分解能を低下させる必要なく露光することができる。
22 予想されるイメージ
24 複数の部分
26 評価ポイント
30 変更されたマスク
40 予想される新しいイメージ
50 複数の評価ポイント
702 標的部分
704 補正されたマスク・パターン
706 予想される印刷結果
A1 ブリッジングの比較領域
A2 ネッキング(又は、ピンチング)の比較領域
A3 ライン平滑化の比較領域
A4 平均ライン幅の比較領域
Claims (18)
- 基板上に形成されるデザインを最適化する方法であって、
(a)前記デザインの第1の表現と、前記デザインの複数の部分(section)のそれぞれの部分についての、複数の評価ポイントのそれぞれにおける前記デザインのイメージの第2の表現との間の偏倚を確定する工程と、
(b)前記複数の評価ポイントの評価に基づいて、それぞれの部分における前記デザインの変更量を確定する工程と、
(c)工程(b)で確定した前記量に基づいて、それぞれの部分で前記デザインを変更する工程とを含むデザインを最適化する方法。 - (i)前記デザインの前記第1の表現を、前記複数の部分に分割する工程と、
(ii)前記デザインのイメージの前記第2の表現を、対応する複数の部分に分割する工程とをさらに含む請求項1に記載のデザインを最適化する方法。 - (i)前記複数の部分のそれぞれについて、部分のタイプを識別する工程と、
(ii)それぞれの部分のタイプが前記デザインの角に対応するかどうかを判断する工程とをさらに含む請求項1に記載のデザインを最適化する方法。 - 前記部分のタイプが前記角に対応すると、前記角に対応する前記部分における前記デザインを変更しない工程をさらに含む請求項3に記載のデザインを最適化する方法。
- 前記部分のタイプが前記角に対応すると、前記角が凹の角であるか、又は、凸の角であるかを識別する工程をさらに含む請求項3に記載のデザインを最適化する方法。
- 前記角が前記凹の角であり、
(i)前記部分の前記複数の評価ポイントから最小偏倚値を確定する工程と、
(ii)前記最小偏倚値に基づいて、前記凹の角に対応する部分における前記デザインを変更する工程とをさらに含む請求項5に記載のデザインを最適化する方法。 - 前記角が前記凸の角であり、
(i)前記部分の前記複数の評価ポイントからの最大偏倚を確定する工程と、
(ii)前記最大偏倚値に基づいて、前記凸の角に対応する部分における前記デザインを変更する工程とをさらに含む請求項5に記載のデザインを最適化する方法。 - (i)それぞれの部分のタイプに従って、前記複数の部分のそれぞれの部分について、評価方法を確定する工程と、
(ii)工程(i)で識別された対応する評価方法に基づいて、それぞれの部分において前記偏倚を評価する工程と、
(iii)工程(ii)の結果に基づいて、前記複数の部分のそれぞれにおいて前記デザインを変更する工程とをさらに含む請求項1に記載のデザインを最適化する方法。 - 前記複数の部分のそれぞれの部分のタイプを識別する工程をさらに含む請求項8に記載のデザインを最適化する方法。
- それぞれの評価方法は、最小、最大、中央、平均、及びメジアンからなるグループから選択される請求項8に記載のデザインを最適化する方法。
- 前記複数の部分の所与の部分について、
(i)前記所与の部分の前記評価ポイントのそれぞれにおいて前記偏倚を確定する工程と、
(ii)前記所与の部分に隣接する部分の所定数の評価ポイントのそれぞれにおいて前記偏倚を確定する工程と、
(iii)工程(i)の前記評価ポイントのそれぞれ、及び、工程(ii)の前記評価ポイントのそれぞれにおける前記偏倚の評価に基づいて、前記所与の部分において前記デザインを変更する工程とをさらに含む請求項1に記載のデザインを最適化する方法。 - 調整係数によって角部分における前記デザインを変更する工程をさらに含む請求項11に記載のデザインを最適化する方法。
- 所与の部分について、
(i)第1の評価方法に基づく前記所与の部分についての第1偏倚値及び第2の評価方法に基づく前記所与の部分についての第2偏倚値を含む少なくとも2つの偏倚値を確定することによって、前記所与の部分の前記複数の評価ポイントを評価する工程と、
(ii)前記少なくとも2つの偏倚値に基づいて、結果として得られる偏倚値を確定する工程と、
(iii)工程(ii)の結果に基づいて、前記所与の部分において前記デザインを変更する工程とをさらに含む請求項1に記載のデザインを最適化する方法。 - 前記第1の評価方法は、最小、最大、中央、平均、及びメジアンからなるグループから選択され、前記第2の評価方法は、前記グループから選択される、異なる方法に対応する請求項13に記載のデザインを最適化する方法。
- 前記少なくとも2つの偏倚値は、第3の評価方法に基づく、前記所与の部分についての第3偏倚値をさらに含む請求項13に記載のデザインを最適化する方法。
- 前記第1、第2、及び第3の評価方法は、最小、最大、中央、平均、及びメジアンからなるグループから選択される3つの方法に対応する請求項15に記載のデザインを最適化する方法。
- 工程(ii)は、前記第1偏倚値と前記第2偏倚値を平均することによって、前記結果として得られる偏倚値を確定する工程をさらに含む請求項13に記載のデザインを最適化する方法。
- コンピュータ・プログラム製品であって、少なくとも1つの機械装置読み取り可能媒体によって搬送可能な実行可能コードを含み、少なくとも1つのプログラム可能なコンピュータによる前記コードの実行によって、前記少なくとも1つのプログラム可能なコンピュータが、前記基板上に作製される前記デザインを最適化するための、請求項1から17までのいずれか一項に記載の工程のシーケンスを実施するコンピュータ・プログラム製品。
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