JP2005311365A - 膜形成先駆物質の制御による窒化シリコン膜の特性及び均一性の制御 - Google Patents
膜形成先駆物質の制御による窒化シリコン膜の特性及び均一性の制御 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 表面積が約1m2より大きく、又、約4.1m2の範囲のこともあり、且つ9m2という大きさのこともある基板上に一連のTFTデバイスが配列されるときに、TFTデバイスにおいてゲート誘電体及びパッシベーション層として有用なa−SiNx:H膜をPECVD堆積する方法を開発した。a−SiNx:H膜は、このように大きな基板表面積にわたって必要とされる膜厚みの均一性、及び化学的組成を含む膜特性の均一性を与える。この方法により形成された膜は、液晶アクティブマトリクスディスプレイ及び有機発光ダイオード制御の両方に有用である。
【選択図】 図3B
Description
[0004]本発明は、CVD(化学気相堆積)により広い表面積上に堆積される窒化シリコン膜の特性及び均一性を制御する方法と、この方法により形成された膜とに関する。より詳細には、窒化シリコン膜のイオン移動度及び/又は抵抗率を特定の範囲内に制御するものである。
[0006]薄膜トランジスタ(TFT)アレイは、コンピュータ及びテレビジョンフラットパネルにしばしば利用される種類の液晶アクティブマトリクスディスプレイに使用されるデバイスであるために、現在特に高い関心がもたれている。液晶アクティブマトリクスディスプレイは、背景照明のために発光ダイオードを含んでもよい。更に、有機発光ダイオード(OLED)がアクティブマトリクスディスプレイに使用されており、これらの有機発光ダイオードは、ディスプレイのアクティビティに対処するTFTを必要とする。
約2.0Torr未満で、通常、約1.0Torrから約1.5Torrの範囲であるプロセス圧力;
約0.2W/cm2から約0.6W/cm2の範囲のプラズマ密度;
先駆物質ガスがN2、NH3及びSiH4を含み、成分比は、NH3/SiH4が約5.3から約10.0で、N2/SiH4が約5.5から約18.7で、且つN2/NH3が約0.6から約2.3、通常は、約0.6から約1.9の範囲であるプラズマ先駆物質混合ガス;
基板サイズに適し且つ膜特性要件を満足するPECVD処理チャンバーの電極間隔;及び
基板のエリアにおける処理ボリュームに適した全先駆物質ガス流量。
[0046]ここに述べる実施形態のPECVDプロセスは、カリフォルニア州サンタクララのアプライド・マテリアルズ社の事業部であるAKT(登録商標)から入手できる平行プレート処理チャンバーAKT(登録商標)PECVD25KAシステムにおいて実行された。システム200は、一般に、ガスソース204に結合された処理チャンバー202を備えている。この処理チャンバー202は、処理容積部212を部分的に画成する壁206及び底部208を有する。処理容積部212へは、通常、基板240を処理チャンバー202に出し入れし易くするための壁206のポート(図示せず)を通してアクセスされる。壁206は、蓋アッセンブリ210を支持し、この蓋アッセンブリは、処理容積部212を排出ポート(図示されていない種々のポンピング要素を含む)に結合するポンピングプレナム214を含む。
[0054]実施例1、TFTを形成するための全プロセス
[0055]PECVD堆積されたa−SiNx:Hゲート誘電体膜及びa−SiNx:Hパッシベーション誘電体膜と、TFTの他の要素との関係を一般的に理解するために、図1に示すTFT実施形態の全製造プロセスを以下に簡単に説明する。
[0069]a−SiNx:Hゲート誘電体層に対する全ての性能要件について以上に述べた。これらの性能要件を満足すると共に、例えば、1000mmx1000mmより大きい広い表面積にわたってPECVD堆積したときに、膜厚みの均一性と、構造及び化学的組成を含む膜特性の均一性とを与えるPECVD堆積のa−SiNx:Hゲート誘電体層を形成する努力において、広範囲な実験を行なった。1つの基本的な要件は、a−SiNx:H膜堆積率を、1000Å/分より高く、通常は、1300Å/分より高くして、TFTの製造スループットが経済的に競合し得る充分な生産性をもたらすようにすることである。a−SiNx:H膜の基本的な要件は、a−SiNx:H膜のSi−H結合含有量が約15原子%未満で、膜ストレスが約0から約−1010ダイン/cm2の範囲で、膜の屈折率(RI)が約1.85から約1.95の範囲で、更に、HF溶液(緩衝酸化物エッチング材6:1)における湿式エッチング率(このWERは、膜密度の指示である)が800Å/分未満、というものである。更に、Si−H結合含有量に関する膜の化学的組成は、好ましい最大値の15原子%より相当に低い。図1に示すものとは別の実施形態の構造では、a−SiNx:Hゲート誘電体層を最初に高い堆積率(約1300Å/分より高い)で堆積することができ、ここで、Si−H結合含有量は約20原子%程度に高くてもよく、次いで、a−SiNx:Hゲート誘電体層を低い堆積率(約1300Å/分より低く、通常、1000Å/分より低い)で堆積することができ、ここで、Si−H結合含有量は好ましい最大値の15原子%より低い。これは、a−SiNx:Hゲート誘電体層と、その上にその後に堆積されるa−Si層との間に良好な界面を与える。基板表面積にわたる膜厚みの均一性の変化は、約17%未満でなければならない。基板にわたる膜の化学的組成の均一性については、S−H結合構造体の変化が4原子%以下であるのが好ましい。ウェハにわたる他の膜特性の均一性については、ストレスの変化が約4x109未満であり、且つ密度の指示でもある湿式エッチング率(WER)の変化が基板の全表面にわたって100以下であるのが好ましい。
[0086]ここに示された全てのデータを検討すると、約1000mmx1000mmより大きな表面積にわたり非常に多数のTFTが配列される場合に、TFTゲート誘電体として有用なa−SiNx:Hゲート誘電体膜が得られることが示される。しかしながら、膜厚みの均一性と、膜組成の均一性とを得るためには、a−SiNx:Hゲート誘電体膜の形成に使用されるプロセスパラメータを入念に制御することが必要である。ウェハにわたる膜の化学的組成の均一性に関しては、S−H結合構造体の変化が4原子%以下であるのが好ましい。ウェハにわたる他の膜特性の均一性に関しては、ストレスの変化が約4x109未満であると共に、密度の指示でもある湿式エッチング率(WER)の変化が基板の全表面にわたり100以下であるのが好ましい。
約2.0Torr未満で、通常、約1.5Torr未満であるプロセス圧力;
約0.2W/cm2から約0.6W/cm2の範囲のプラズマ密度;
先駆物質ガスがN2、NH3及びSiH4を含み、成分比は、NH3/SiH4が約5.3から約10.0で、N2/SiH4が約5.5から約18.7で、且つN2/NH3が約0.6から約2.3、通常は、約0.6から約1.9の範囲であるプラズマ先駆物質混合ガス;
AKT(登録商標)PECVD25KAシステム、平行プレートプラズマ処理チャンバーにおける電極間隔で、約1000ミル未満(1ミルは、0.001インチ)、通常は、約800ミルから400ミルの範囲である電極間隔;及び
AKT(登録商標)PECVD25KAシステムにおける全先駆物質ガス流量で、約20000sccmから約70000sccmの範囲であるガス流量。
Claims (35)
- 約1m2より大きな表面積を有する基板上に一連のTFTデバイスが配列されるときに、TFTデバイスにおいてゲート誘電体として有用なa−SiNx:H誘電体膜をPECVD堆積する方法において、
温度が約120℃から約340℃の範囲の基板上に前記a−SiNx:H誘電体膜を堆積するステップと、
約1.0Torrから約2.0Torrの範囲の処理圧力で前記a−SiNx:H誘電体膜を堆積するステップと、
N2、NH3及びSiH4を含む先駆物質から前記a−SiNx:H誘電体膜を堆積するステップであって、NH3/SiH4の成分比が約5.3から約10.0の範囲であり、N2/SiH4の成分比が約5.5から約18.7の範囲であり、更に、N2/NH3の成分比が約0.6から約2.3の範囲であるようなステップと、
前記先駆物質の混合物にプラズマを印加して、前記a−SiNx:H誘電体膜を堆積する処理チャンバー内のプラズマ密度が約0.2W/cm2から約0.6W/cm2の範囲となるようにするステップと、
を備えた方法。 - 前記処理チャンバーの電極間隔は、約400ミルから約1000ミルの範囲である、請求項1に記載の方法。
- 前記基板温度は、約240℃から約320℃の範囲である、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記処理チャンバー内の前記圧力は、約1.5Torr未満である、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記基板の表面積は、約2.7m2より大きい、請求項1に記載の方法。
- 前記基板の表面積は、約4.1m2より大きい、請求項5に記載の方法。
- 前記基板の表面積は、約9.0m2より大きい、請求項6に記載の方法。
- 前記基板の表面積は、約1.0m2から約4.1m2の範囲である、請求項1に記載の方法。
- 前記a−SiNx:H誘電体膜の堆積率は、少なくとも1000Å/分である、請求項1に記載の方法。
- 前記堆積率は、少なくとも1300Å/分である、請求項9に記載の方法。
- 前記堆積率は、少なくとも1600Å/分である、請求項10に記載の方法。
- 前記堆積率は、少なくとも2300Å/分である、請求項11に記載の方法。
- 前記堆積率は、少なくとも3000Å/分である、請求項12に記載の方法。
- 前記a−SiNx:H誘電体膜の堆積率は、約1000Å/分から約2300Å/分の範囲である、請求項1に記載の方法。
- 前記基板にわたる前記膜厚みの変化は、約16%未満である、請求項1に記載の方法。
- Si−H結合構造体の原子%は、約20%未満である、請求項1又は15に記載の方法。
- Si−H結合構造体の原子%は、約15%未満である、請求項16に記載の方法。
- 約25℃の温度において、7重量%のフッ化水素酸、34重量%のフッ化アンモニウム、及び59重量%の水を含む溶液中における前記膜の湿式エッチング率は、800Å/分未満である、請求項1に記載の方法。
- 約1m2より大きな表面積を有する基板上に一連のTFTデバイスが配列されるときに、TFTデバイスにおいてパッシベーション誘電体として有用なa−SiNx:H誘電体膜をPECVD堆積する方法において、
温度が約120℃から約340℃の範囲の基板上に前記a−SiNx:H誘電体膜を堆積するステップと、
約1.0Torrから約2.0Torrの範囲の処理圧力で前記a−SiNx:H誘電体膜を堆積するステップと、
N2、NH3及びSiH4を含む先駆物質から前記a−SiNx:H誘電体膜を堆積するステップであって、NH3/SiH4の成分比が約5.3から約11.1の範囲であり、N2/SiH4の成分比が約5.8から約20.8の範囲であり、更に、N2/NH3の成分比が約0.5から約3.9の範囲であるようなステップと、
前記先駆物質の混合物にプラズマを印加して、前記a−SiNx:H誘電体膜を堆積する処理チャンバー内のプラズマ密度が約0.2W/cm2から約0.6W/cm2の範囲となるようにするステップと、
を備えた方法。 - 前記処理チャンバーの電極間隔は、約400ミルから約1000ミルの範囲である、請求項19に記載の方法。
- 前記基板温度は、約240℃から約320℃の範囲である、請求項19又は20に記載の方法。
- 前記処理チャンバー内の前記圧力は、約1.5Torr未満である、請求項19又は20に記載の方法。
- 約1m2より大きな表面積を有する基板上に一連のTFTデバイスが配列されるときに、TFTデバイスにおいてパッシベーション誘電体として有用なa−SiNx:H誘電体膜をPECVD堆積する方法において、
温度が約120℃から約340℃の範囲の基板上に前記a−SiNx:H誘電体膜を堆積するステップと、
約1.0Torrから約2.0Torrの範囲の処理圧力で前記a−SiNx:H誘電体膜を堆積するステップと、
N2、NH3及びSiH4を含む先駆物質から前記a−SiNx:H誘電体膜を堆積するステップであって、NH3/SiH4の成分比が約5.0から約8.0の範囲であり、N2/SiH4の成分比が約5.0から約6.0の範囲であり、更に、N2/NH3の成分比が約0.6から約1.2の範囲であるようなステップと、
前記先駆物質の混合物にプラズマを印加して、前記a−SiNx:H誘電体膜を堆積する処理チャンバー内のプラズマ密度が約0.2W/cm2から約0.6W/cm2の範囲となるようにするステップと、
を備えた方法。 - 1m2より大きな表面積を有する基板上に一連のTFTデバイスが配列されるときの、a−SiNx:HのTFTデバイスゲート誘電体層において、
2.9原子%から15原子%未満までの範囲のSi−H結合含有量と、
0.0ダイン/cm2から1010ダイン/cm2の範囲の圧縮性膜ストレスと、
17%未満の前記基板にわたる膜厚みの変化と、
1.85から1.95の範囲の屈折率と、
を備えたゲート誘電体層。 - 前記層は、800Å/分未満のHF溶液における湿式エッチング率を示す、請求項24に記載のTFTデバイスゲート誘電体層。
- 前記基板は、表面積が2.7m2より大きい、請求項24又は25に記載のTFTデバイスゲート誘電体層。
- 前記基板は、表面積が9m2より大きい、請求項24又は25に記載のTFTデバイスゲート誘電体層。
- 1m2より大きな表面積を有する基板上に一連のTFTデバイスが配列されるときの、a−SiNx:HのTFTデバイスパッシベーション誘電体層において、
少なくとも5MV/cmのブレークダウン電圧と、
+3x1010ダイン/cm2から−3x1010ダイン/cm2の範囲の膜ストレスと、
17%未満の前記基板にわたる膜厚みの変化と、
を備えたパッシベーション誘電体層。 - 前記層は、2.9原子%から20原子%の範囲のSi−H結合含有量を含む、請求項28に記載のTFTデバイスパッシベーション誘電体層。
- 前記層は、5000Å/分未満のHF溶液における湿式エッチング率を示す、請求項28に記載のTFTデバイスパッシベーション誘電体層。
- 前記層は、800Å/分から5000Å/分の範囲のHF溶液における湿式エッチング率を示す、請求項30に記載のTFTデバイスパッシベーション誘電体層。
- 前記層は、5000Å/分未満のHF溶液における湿式エッチング率を示す、請求項29に記載のTFTデバイスパッシベーション誘電体層。
- 前記層は、800Å/分から5000Å/分の範囲のHF溶液における湿式エッチング率を示す、請求項32に記載のTFTデバイスパッシベーション誘電体層。
- 前記基板は、表面積が2.7m2より大きい、請求項28、29又は30に記載のTFTデバイスパッシベーション誘電体層。
- 前記基板は、表面積が9m2より大きい、請求項28、29又は30に記載のTFTデバイスパッシベーション誘電体層。
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