JP5069581B2 - ガスバリア膜の成膜方法、ガスバリアフィルムおよび有機el素子 - Google Patents
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Description
また、CCP−CVD法とは別の方法として、ICP(Inductively Coupled Plasma)−CVD法(誘導結合型プラズマCVD法)が知られている。
CCP−CVD法は、構成が簡易である、電極から原料ガスを供給することにより、電極を大面積化しても成膜領域の全域に均一にガスを供給できる(ガスの均一化が容易である)等の利点を有する。
これ以外にも、プラズマCVDによる成膜方法が種々提案されている(特許文献1参照)。
そのため、例えば、酸素、水蒸気などに対してのガスバリア膜の製造などにおいて、量産化を目的として、長尺な高分子フィルム等を長手方向に搬送しつつ成膜を行なう設備などでは、基板となる高分子フィルムの搬送速度を向上できずに、良好な生産性を確保できない場合がある。また、電極への膜の付着があるために、基板となる高分子フィルムの長さも制限される。
さらに、CCP−CVD法は、プラズマの維持に必要な圧力が高く(通常、数十〜数百Pa程度)複数の成膜空間(成膜室)を接続して連続的に成膜を行なう場合などでは、成膜室間におけるガスの混入が生じて膜質低下が生じる等の問題がある。
また、本発明において、前記シランガスの流量と前記ガスの総流量との流量比Qs/Qが、0.05〜0.18であることが好ましい。
さらに、本発明において、前記窒化シリコン膜の成膜圧力は、10〜220(Pa)であることが好ましい。
本発明の第2の態様は、本発明の第2の態様のガスバリアフィルムが封止フィルムとして用いられていることを特徴とする有機EL素子を提供するものである。
また、本発明のガスバリアフィルムは、酸素、水蒸気などに対して高いガスバリア性を有するものとなる。
さらに、このガスバリアフィルムを封止フィルムとして用いた有機EL素子は、ガスバリア性を高くすることができ、発光素子を酸素、水蒸気などから保護することができる。このため、発光素子の劣化を抑制することができる。
窒化シリコン膜は、防湿性を要求される各種の装置または光学素子などのガスバリア膜などに利用されている。ガスバリア膜には、酸素、水蒸気などの気体に対して高いバリア性が要求されるとともに、色または透明性などの光学特性も要求される。
さらには、ガスバリア膜などの製造においては、例えば、高い生産性での大量生産等を目的として、長尺な基板を巻回してなるロールから基板を連続的に送り出して、長尺な基板を長手方向に搬送しつつ連続的に成膜を行い、成膜後の基板を巻き取るような製造方法が行なわれている。このような生産方法では、生産性または生産効率を向上するためには、効率良く成膜を行なって基板の搬送速度を向上する必要がある。このため、ガスバリア膜の成膜にも、ある程度以上の成膜レートが要求される。
その結果、本発明者は、CCP−CVD法により、原料ガスとしてシランガス(SiH4ガス)およびアンモニアガス(NH3ガス)を用い、放電ガスとして窒素ガス(N2ガス)を用いて窒化シリコン膜を成膜する際、成膜のために電極に供給する高周波電力(プラズマを発生させるために高周波電源で必要とされる電力)について、窒化シリコン膜の成膜に要する高周波電力(RF電力(RFパワー))をP(W)とし、シランガス、アンモニアガスおよび窒素ガスの総流量をQ(sccm)とするとき、高周波電力とガスの総流量との比P/Qを0.4〜40とすることにより、酸素、水蒸気などの気体に対するバリア性が優れ、かつ無色で透明性を有する窒化シリコン膜(ガスバリア膜)を、高い成膜レートで製造できることを見出し、本発明を成すに至った。
高周波電力とガスの総流量との比P/Qを、上記範囲とすることにより、緻密で、かつ、酸素、水蒸気などに対して高いバリア性を有するなどの優れたガスバリア性能を有するガスバリア膜を、放電を安定させるとともに、基板へのダメージを少なく形成することができる。
一方、高周波電力とガスの総流量との比P/Qが40を超えると、成膜時に、基板に加わるダメージ大きくなり基板の表面が荒れる。このため、緻密な窒化シリコン膜が得られず、成膜された窒化シリコン膜はWVTR(水蒸気透過度)の値が大きなものとなり、ガスバリア性能が低下する。
また、成膜時に印加する高周波電力における周波数は、特に限定されるものではないが、13.56MHz〜60MHzであることが好ましい。
本発明者の検討によれば、アンモニアガスの流量とシランガスの流量との流量比Qa/Qsは、0.4〜4であることが好ましい。
このアンモニアガスの流量とシランガスの流量との流量比Qa/Qsが0.4未満では、得られる窒化シリコン膜がSiリッチな膜になる。ここで、窒化シリコン膜は透明な膜であるが、Si膜は透明な膜ではない。このため、窒化シリコン膜において、その組成比が純粋なSiに近づくと(Siリッチになると)、窒化シリコン膜が着色されてしまう虞がある。
一方、アンモニアガスの流量とシランガスの流量との流量比Qa/Qsが4を超えると、NH3ガス(アンモニアガス)に起因するHが窒化シリコン膜に取り込まれ、ガスバリア性が低下する虞がある。この場合、WVTR(Water Vapor Transmission Rate)の値が大きくなる。
本発明者の検討によれば、シランガスの流量Qsと全てのガスの総流量Qとの流量比Qs/Qが、0.05〜0.18であることが好ましい。
シランガスの流量とガスの総流量との流量比Qs/Qが0.05未満では、窒化シリコン膜の原材料となるシランガスの量が少なく、成膜レートが低下する可能性がある。
一方、シランガスの流量とガスの総流量との流量比Qs/Qが0.18を超えると、窒化シリコン膜の原材料となるシランガスの量が過剰になり、プラズマ中など、気相中での反応が過剰になり、パーティクルが発生し、このパーティクルが成膜面に付着するなどして、窒化シリコン膜の透明性を低下させる可能性がある。
本発明者の検討によれば、窒化シリコン膜の成膜するときの成膜圧力は、10〜220(Pa)であることが好ましい。
成膜圧力を、上記範囲とすることにより、無色で、かつ透明性が良好な膜を形成することができるとともに、成膜レートについても、所定のものが得られる。
一方、成膜圧力が220Paを超えると、成膜される成膜空間への窒化シリコン膜の原材料となるシランガス、アンモニアガスの供給量が過剰になり、プラズマ中など、気相中での反応が過剰になり、パーティクルが発生し、このパーティクルが成膜面に付着するなどして、窒化シリコン膜の透明性が低下する。
これに対して、本発明においては、150℃以下の低温でも、十分に緻密で、かつ、酸素、水蒸気などに対して高いバリア性を発揮する窒化シリコン膜を形成できる。基板温度を0〜150℃とすることにより、高分子フィルムまたは有機層を有する基板など、耐熱性の低い基板にも、緻密かつ酸素、水蒸気などに対してバリア性に優れた窒化シリコン膜を形成することができる。
本発明においては、基板温度を0〜150℃とすることにより、例えば、高分子フィルムをベースにした、酸素、水蒸気などに対してバリア性が高いガスバリア膜(防湿膜)を有するバリアフィルム(防湿フィルム)を良好な生産性で製造できる。
本発明においては、例えば、図1に示す容量結合型CVD装置を用いて、基板に窒化シリコン膜をガスバリア膜として成膜することができる。
以下、ガスバリア膜(窒化シリコン膜)の成膜に用いるプラズマCVD装置について説明する。
図1は、本発明の実施形態に係るガスバリア膜の成膜方法に利用されるプラズマCVD装置を示す模式図である。
プラズマCVD装置10は、真空チャンバ12、シャワー電極14、下部電極16、制御部18を有する。シャワー電極14と下部電極16とは、所定の隙間Sをあけて対向して配置されている。また、制御部18は、後述するようにCVD装置10の各機器を制御する。
このシャワー電極14は、原料ガス(シランガス、アンモニアガス)および放電ガス(窒素ガス)を導入する供給管20と、これらの混合ガスGを基板Zの上方に均一に供給するシャワーヘッド22とを有する。
原料ガス供給部24は、窒化シリコン膜を成膜するために必要な原料ガスであるシランガスおよびアンモニアガス、ならびに放電ガスとして必要である窒素ガスを、まとめて混合ガスGとして真空チャンバ12内に供給するものである。
本実施形態においては、原料ガス供給部24から、シランガス、アンモニアガスおよび窒素ガスの各ガスが個別に、それぞれ所定の流量で供給され、真空チャンバ12内には、シランガスおよびアンモニアガスならびに窒素ガスが混合された混合ガスGとして供給される。
原料ガス供給部24における混合ガスG(シランガスおよびアンモニアガスならびに窒素ガス)の供給タイミング、ならびに混合ガスG(シランガスおよびアンモニアガスならびに窒素ガス)の流量および各ガスの流量などは、制御部18により制御される。
本実施形態においては、シャワー電極14のシャワーヘッド22の表面22aの面積が成膜面積となる。このシャワーヘッド22の表面22aの面積は、例えば、615cm2である。
本発明においては、シャワーヘッド22の表面22aの面積に応じてガスの流量を変えてもよく、例えば、シャワーヘッド22の表面22aの単位面積当りの流量を設定して成膜をしてもよい。
高周波電源26は、プラズマPを隙間Sに発生させるために用いるものであり、周知のCVD装置に利用される高周波電源が使用可能である。この高周波電源26は、シャワー電極14に印加する高周波電力(RF電力)を変えることができることはもちろん、所定の範囲で任意の周波数を選択することもできる。周波数の範囲は、例えば、13.56MHz〜60MHzの範囲である。この高周波電源26も制御部18により、制御され、任意の周波数が選択される。
この下部電極16の表面16aは、シャワーヘッド22の表面22aに対向して設けられており、シャワーヘッド22の表面22aと同じ形状および大きさである。シャワーヘッド22の表面22aと下部電極16の表面16aとの隙間SでプラズマPが生成される。
また、真空チャンバ12には内部の圧力を測定する圧力センサ(図示せず)が設けられており、この圧力センサも制御部18に接続されている。成膜時における圧力センサによる圧力が成膜圧力となる。
制御部18により、圧力センサによる圧力に基づいて、真空排気部30が制御されて、真空チャンバ12内の原料ガス等を排気することができ、さらには真空チャンバ12内の圧力を所望の圧力に調整することができる。
先ず、基板Zを真空チャンバ12内の下部電極16の表面16aの基板ホルダにセットして、真空チャンバ12を閉塞する。
このとき、真空チャンバ12内の圧力が、成膜条件に応じた所定の圧力となるように、真空チャンバ12内の真空排気部30による排気を調整する。
なお、成膜中は、下部電極16(基板ホルダ)に設けられた温度調節手段によって、基板Zの温度が、例えば、70℃となるように温度制御される。
このガスバリアフィルムは、例えば、有機EL素子の封止フィルムとして利用することができる。この場合、有機EL素子は、封止フィルムのガスバリア性が高いため、発光素子を酸素、水蒸気などから保護することができる。これにより、酸素、水蒸気などによる発光素子の劣化を抑制することができる。なお、ガスバリアフィルムの用途は、有機EL素子に限定されるものではなく、これ以外にも、酸素、水蒸気などから保護する用途に適宜適用できることはいうまでもない。
本実施例においては、図1に示す容量結合型CVD装置10を用いて、下記表1に示す条件で、基板Zの表面Zfに窒化シリコン膜をガスバリア膜として形成し、バリアフィルムを得た。このバリアフィルムについて以下の評価項目で評価した。その結果を下記表1に示す。
また、供給した各種ガスの総流量は、200〜3000sccmの間の任意の流量とし、高周波電源における周波数は、13.56MHz〜60MHzの間の任意の周波数を選択し、高周波電力(RF電力)についても各実施例および比較例に応じて適宜選択した。
WVTR(水蒸気透過度)は、MOCON社製水蒸気透過率測定装置 PERMATRAN−W3/33 MGモジュールを用いて測定した。
先ず、一部にカプトン(登録商標)テープを貼り付けた基板Zを図1に示す真空チャンバ12内の下部電極16の表面16aの基板ホルダにセットして、真空チャンバ12を閉塞する。
次いで、真空チャンバ12内を真空排気部30により排気して、圧力が7×10−4Paとなった時点で、シランガス、アンモニアガスおよび窒素ガスを、それぞれの実施例または比較例に応じた流量で、シャワー電極14から導入した。
さらに、真空チャンバ内の圧力が実施例または比較例に応じた圧力となるように、真空チャンバ12内の排気を調整する。
次いで、それぞれの実施例または比較例に応じて、13.56MHz〜60MHzの間の任意の周波数、および高周波電力を選択し、高周波電源26からシャワー電極14に電力供給して、基板Zの表面に窒化シリコン膜の形成を開始した。
なお、成膜中は、基板ホルダに設けられた温度調節手段によって、基板の温度が70℃となるように温度制御した。
予め設定した時間、窒化シリコン膜を成膜し、その設定した時間経過後、成膜を終了して、真空チャンバ12から、窒化シリコン膜(ガスバリア膜)が形成された基板Zを取り出し、バリアフィルムを得た。
比較例2は、RF電力/総ガス流量(P/Q)が本発明の下限値を未満であり、緻密な膜が得られず、WVTR(水蒸気透過度)が実施例1〜15に比して劣るとともに、成膜レートも低い。このため、総合評価が「×」であった。
12:真空チャンバ
14:上部電極
16:下部電極
18:制御部
20:配管部
22:シャワーヘッド部
24:高周波電源
26:高周波電源
28:整合器
30:真空排気部
32:配管
34:温度調節部
Claims (1)
- 長尺な基板を巻回してなる基板ロールから前記基板を送り出し、前記基板を長手方向に搬送しつつ、容量結合型CVD法を用いて窒化シリコン膜を前記基板にガスバリア膜として成膜し、前記窒化シリコン膜を成膜した基板をロール状に巻回するに際し、
前記窒化シリコン膜の成膜の原料ガスとして、シランガスおよびアンモニアガスを用い、放電ガスとして、窒素ガスを用いるものであり、
前記窒化シリコン膜の成膜に要する高周波電力をP(W)とし、前記シランガス、アンモニアガスおよび窒素ガスの総流量をQ(sccm)とし、前記アンモニアガスの流量をQa(sccm)とし、前記シランガスの流量をQs(sccm)とするとき、前記高周波電力と前記ガスの総流量との比P/Qが0.4〜40であり、前記アンモニアガスの流量と前記シランガスの流量との流量比Qa/Qsが、0.4〜4であり、かつ、前記シランガスの流量と前記ガスの総流量との流量比Qs/Qが、0.05〜0.18であり、
前記窒化シリコン膜の成膜圧力が、10〜220(Pa)であり、
前記窒化シリコン膜の成膜の際の基板の温度を0〜150(℃)とすることを特徴とするガスバリア膜の成膜方法。
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