JP2005300627A - 洗浄液体除去装置、洗浄液体除去方法及び洗浄方法 - Google Patents
洗浄液体除去装置、洗浄液体除去方法及び洗浄方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 CRUハウジング12を洗浄、乾燥させた後、ノズル部材20の先端20Tを狭部14の内部の所定位置に差し入れる。そして、空気を狭部14内に噴射して、狭部14内に残留した洗浄液体Wを狭部14の外側へ飛ばし、除去する。
【選択図】 図8
Description
14 狭部
14B 底壁
16 洗浄液体除去装置
18 ケーシング
20 ノズル部材
20T 先端
22 空気供給チューブ
24 アクチュエータ
26 ポンプ
28 制御装置
30 洗浄装置
32 洗浄ハウジング
34 洗浄ノズル
40 乾燥装置
42 乾燥ハウジング
44 乾燥風ノズル
50 低湿度乾燥装置
52 支持部材
W 洗浄液体
Claims (7)
- 洗浄液体によって洗浄された被洗浄物に対しこの被洗浄物の狭部に接近可能とされ、狭部内への気体の吹き付け又は狭部内からの洗浄液体の吸引により洗浄液体の除去が可能とされたノズル部材、
を有することを特徴とする洗浄液体除去装置。 - 前記ノズル部材が、前記被洗浄物の狭部の複数に対応して複数設けられていることを特徴とする請求項1に記載の洗浄液体除去装置。
- 請求項1又は請求項2に記載の洗浄液体除去装置によって、被洗浄物の狭部から洗浄液体を除去する洗浄液体除去方法であって、
前記ノズル部材の先端を前記狭部の内側に位置させて洗浄液体の除去を行うことを特徴とする洗浄液体除去方法。 - 請求項1又は請求項2に記載の洗浄液体除去装置によって、被洗浄物の狭部から洗浄液体を除去する洗浄液体除去方法であって、
前記ノズル部材の先端を前記狭部の外側に位置させて洗浄液体の除去を行うことを特徴とする洗浄液体除去方法。 - 被洗浄物を洗浄液体で洗浄する洗浄工程と、
前記被洗浄物の狭部を特定する特定工程と、
前記特定工程によって特定された狭部に対し請求項3又は請求項4の洗浄液体除去方法によって洗浄液体を除去する洗浄液体除去工程と、
を有することを特徴とする洗浄方法。 - 請求項2に記載の洗浄液体除去装置を適用した請求項5に記載の洗浄方法であって、
前記特定工程において、被洗浄物の複数の狭部を同時に特定することを特徴とする洗浄方法。 - 請求項2に記載の洗浄液体除去装置を適用した請求項5又は請求項6に記載の洗浄方法であって、
前記洗浄液体除去工程において、被洗浄物の複数の狭部から同時に洗浄液体の除去を行うことを特徴とする洗浄方法。
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2004
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