JP2005324167A - 洗浄液体除去装置、洗浄液体除去方法及び洗浄方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 短時間且つ低コストで被洗浄物からの洗浄液体を除去可能な洗浄液体除去装置、洗浄液体除去方法及び洗浄方法を得る。
【解決手段】 吸引ノズル６８をギヤ本体２４にかぶせた状態で内部を吸引することで、ギヤ部材２２をゴムパッキン６２の弾性力に抗して移動させることで、ギヤ本体２４と底板１８との間の隙間Ｄ１を広げ、この部分に残留した洗浄液体を短時間且つ低コストで確実に除去できるようにする。
【選択図】 図３

Description

本発明は、洗浄液体除去装置、洗浄液体除去方法及び洗浄方法に関する。

従来から、たとえば特許文献１に記載されているように、画像形成装置内の各種カートリッジをリユースするために、カートリッジを洗浄することが行われている。洗浄後には、洗浄に使用した水などの液体（「洗浄液体」という）が、たとえば、放置による自然乾燥や、乾燥風の吹きつけ等によってカートリッジから除去される。

しかしながら、残留した洗浄液体を単に乾燥させて除去すると、除去に多くの時間やコストを要することがある。

また、カートリッジには、２つの位置を移動可能とされ、弾性部材の弾性力を受けて、いずれか一方の位置へ押圧された移動部材を有するものがある（たとえば、トナーカートリッジのスクリュウオーガに回転駆動力を伝達するためのギヤ部材など）。このようなカートリッジでは、移動部材が弾性力で移動した状態では、移動部材とカートリッジ本体との隙間が狭くなっているので、隙間部分の洗浄液体の除去がさらに難しい。

特許文献２には、電子写真感光体の長手方向両側を切断し、さらに内部の充填部材を加圧して取り出す充填部材の再生方法が記載されている。しかし、このような方法では、切断や加圧に多くの時間やコストがかかる。
特開２００３−２７１０４０号公報 特開平９−１０６２１９号公報

本発明は上記事実を考慮し、短時間且つ低コストで被洗浄物からの洗浄液体を除去可能な洗浄液体除去装置、洗浄液体除去方法及び洗浄方法を得ることを課題とする。

請求項１に記載の発明では、被洗浄物本体と、弾性部材からの弾性力で移動した第１位置と弾性力に抗して移動した第２位置との間で移動可能な移動部材と、を備え、洗浄液体によって洗浄された被洗浄物に対し、前記移動部材への気体の吹き付け又は吸引により移動部材を第２位置へと移動させると共に被洗浄物本体と移動部材との間の洗浄液体を除去するノズル部材、を有することを特徴とする。

すなわち、この洗浄液体除去装置では、ノズル部材から、被洗浄物の移動部材に対し気体の吹き付け又は吸引を行うことで、移動部材を第２位置へと移動させる。これにより、被洗浄物の被洗浄物本体と移動部材との間に隙間が生じる（又は、隙間が大きくなる）ので、これらの間に残留した洗浄液体を短時間且つ低コストで除去できる。

請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の発明において、前記ノズル部材が、前記被洗浄物本体との間に少なくとも１つの間隙を構成して前記移動部材を覆うように被洗浄物本体に密着するノズル本体と、前記ノズル本体に接続されノズル本体内から空気を吸引する吸引部材と、を含んで構成されていることを特徴とする。

したがって、ノズル本体を、移動部材を覆うようにして被洗浄物本体に密着させると、被洗浄物本体とノズル本体との間に少なくとも１つの隙間が構成される。ここで、吸引部材によってのノズル本体内を吸引することで、移動部材を第２位置へと移動させることができる。また、上記の隙間が空気の通路となるので、吸引によって、移動部材の周囲の洗浄液体（特に、被洗浄物本体と移動部材との間に溜まった洗浄液体）を除去できる。

請求項３に記載の発明では、洗浄流体によって洗浄された被洗浄物に対し、この被洗浄物の少なくとも一部を減圧して被洗浄物に付着した洗浄液体を除去する減圧工程、を有することを特徴とする。

このように、洗浄後に洗浄液体が付着している被洗浄物に対し、減圧工程によって被洗浄物の少なくとも一部を減圧することで、より短時間且つ低コストで、付着した洗浄液体を除去することが可能となる。

この減圧工程は、被洗浄物の全部に対して行ってもよいし、たとえば、水分除去が難しい一部の箇所にのみ行ってもよい。たとえば、画像形成装置内のカートリッジには、たとえばネジ止め用のへこみ部分など、外面から内側に入り込んだ凹部や孔部（これらをまとめて「狭部」という）が設けられていることが多いので、請求項４に記載のように、前記減圧工程が、被洗浄物の狭部を含む部位に対して行われると、この狭部から効果的に洗浄液体を除去できる。

請求項５に記載の発明では、請求項４に記載の発明において、前記減圧工程で、前記請求項１又は請求項２に記載のノズル部材から移動部材へ気体の吹き付け又は吸引によって移動部材を第２位置へと移動させると共に被洗浄物本体と移動部材との間の洗浄液体を除去することを特徴とする。

すなわち、請求項１又は請求項２に記載のノズル部材から移動部材へ気体の吹き付け又は吸引して移動部材を第２位置へと移動させるので、被洗浄物本体と移動部材との間に隙間を生じさせる（又は、隙間を大きくする）ことができる。そして、この状態で、被洗浄物本体と移動部材との間の洗浄液体を除去するので、これらの間に残留した洗浄液体を短時間且つ低コストで除去できる。

請求項６に記載の発明では、請求項３〜請求項５のいずれか１項に記載の発明において、前記減圧工程を、前記移動部材又は前記狭部を下方に向けて行うことを特徴とする。

これにより、重力を利用して洗浄液体を流下させることができるので、より効率的な洗浄液体の除去が可能となる。

請求項７に記載の発明では、被洗浄物を洗浄水によって洗浄する洗浄工程と、前記洗浄工程の後に被洗浄物に対して施される請求項３〜請求項６のいずれか１項に記載の減圧工程と、を有することを特徴とする。

この洗浄方法では、まず、洗浄工程において、被洗浄物が洗浄液体で洗浄される。その後、請求項３〜請求項６のいずれか１項に記載の減圧工程が被洗浄物に対して施される。このため、被洗浄物に付着した洗浄液体を、より短時間且つ低コストで除去することが可能となる。特に、請求項５に記載の減圧工程を行うと、被洗浄物本体と移動部材との間に隙間を生じさせる（又は、隙間を大きくする）ので、これらの間に残留した洗浄液体を短時間且つ低コストで除去できる。

請求項８に記載の発明では、請求項７に記載の発明において、前記洗浄工程と前記減圧工程の間で前記被洗浄物を乾燥させる乾燥工程、をさらに有することを特徴とする。

すなわち、請求項７の洗浄方法において、洗浄工程と減圧工程との間で、被洗浄物を自然乾燥させてもよいが、請求項８に記載のように、を行うことで、より短時間且つ低コストで被洗浄物から洗浄液体を除去することが可能となる。

本発明は上記構成としたので、短時間且つ低コストで被洗浄物からの洗浄液体を除去できる。

図１には、本発明の洗浄方法（及び洗浄液体除去方法）で洗浄の対象となる被洗浄物の一例である、トナーカートリッジ１２が示されている。トナーカートリッジ１２は、画像形成装置内において、トナーを一時的に保持し、必要に応じて、画像形成本体にトナーを供給するために使用される。このトナーカートリッジ１２は、画像形成装置の本体から取り出され、洗浄を含むの所定の工程を経て再生され、リユース可能となる。

トナーカートリッジ１２は、略円筒状に形成された筒部１４を有している。筒部１４の長手方向一端側は開口部１６とされており、この開口部１６から、トナーカートリッジ１２内にトナーを補充することができる。通常の使用状態では、開口部１６は図示しない蓋部材によって閉塞され、トナーは不用意に漏れ出さないが、洗浄時には、蓋部材を外し、開口部１６から洗浄水を筒部１４内に噴射する。

筒部１４の長手方向他端側は、底板１８によって閉塞されているが、底板１８の中央には保持孔２０が形成されており、この保持孔２０に、ギヤ部材２２が保持されている。

ギヤ部材２２は、トナーカートリッジ１２の外側に位置するギヤ本体２４と、トナーカートリッジ１２の内側位置するオーガ取付部２６、及びギヤ本体２４とオーガ取付部２６とを連結する中間連結部２８で構成されている。底板１８には、リング状のゴムパッキン６２が保持孔２０と同軸で取り付けられており、ゴムパッキン６２の内縁が、中間連結部２８に弾性的に密着している。これにより、保持孔２０からもトナーが不用意に漏れ出さないようになっている。また、ギヤ本体２４は、底板１８に接触又は接近する第１位置（図２参照）と、オーガ取付部２６がゴムパッキン６２を介して底板１８に密着する第２位置（図３参照）との間を移動可能とされているが、通常状態では、ゴムパッキン６２の弾性力を受けて、第１位置へと移動している。

筒部１４内には、らせん状のスクリュウオーガ６４が収容され、その一端がオーガ取付部２６に取り付けられている。トナーカートリッジ１２が画像形成装置に取り付けられた状態で、図示しないモータの回転駆動力がギヤ本体２４に伝達されると、スクリュウオーガ６４が筒部１４内で回転し、トナーを攪拌する。

図４〜図９には、本発明の第１実施形態の洗浄方法の各工程が順に示されている。トナーカートリッジ１２は図示しないコンベアに載置されるようになっており、コンベアの駆動によって、洗浄装置３０（図４及び図５参照）から、乾燥装置４０（図６及び図７参照）、さらに洗浄液体除去装置６０（図８参照）、最後に低湿度乾燥装置５０（図９参照）へと順に送られる。

図４及び図５に示す洗浄装置３０は、トナーカートリッジ１２を所定位置に保持する洗浄ハウジング３２を有している。洗浄ハウジング３２内には、ギヤ本体２４を保持するギヤ保持部材３６と、筒部１４に外側から接触しつつ回転することで摩擦により筒部１４を回転させる回転ローラ３８、及び複数の洗浄ノズル３４が配置されている。洗浄工程では、ギヤ保持部材３６によってギヤ本体２４を保持してギヤ部材２２を固定する、筒部１４が自由に回転可能となるので、回転ローラ３８を筒部１４に接触させて回転させる。この状態で、洗浄液体Ｗをトナーカートリッジ１２に向かって噴射して、トナーカートリッジ１２に付着したトナーや、埃等の異物を除去することができる。

ここで、特に、図５に二点鎖線で示すように、筒部１４の内部を洗浄する洗浄ノズル３４Ａは、中心線Ｃ１に沿って、開口部１６側と底板１８側とを往復移動可能とされている。このように筒部１４内を往復する（好ましくは往復を繰り返す）ことで、筒部１４内をより確実に洗浄することができる。

なお、洗浄ノズル３４からの洗浄水の噴射圧は、筒部１４を確実に洗浄できれば限定されないが、特に、筒部１４の内部の洗浄を行う洗浄ノズル３４Ａでは、より高圧の洗浄水を噴射することが好ましい。

洗浄終了後、トナーカートリッジ１２は、ギヤ保持部材３６によってギヤ本体２４を保持され、且つ回転ローラ３８が筒部１４に接触した状態のまま、コンベヤで乾燥装置４０に送られる。

乾燥装置４０では、図６に示すように、乾燥ハウジング４２内に乾燥風ノズル４４が設けられている。この乾燥風ノズル４４の先端は、図７に詳細に示すように、先端から順に第１面４６Ａ、第２面４６Ｂ、第３面４６Ｃ及び第４面４６Ｄが設けられた略半球状のエアー噴射部４６とされ、ぞれぞれの面に、１又は複数のエアー噴射孔４８が形成されている。乾燥風ノズル４４の中心線Ｃ２を基準として、第１面４６Ａは０度、第２面４６Ｂは４５度、第３面４６Ｃは９０度、第４面４６Ｄは１３５度の角度を成しており、エアー噴射孔４８からの乾燥風がほぼ全ての方向へと均等に噴射されるようになっている。

なお、各面に形成するエアー噴射孔４８の数は特に限定されないが、例えば第２面４６Ｂ、第３面４６Ｃ及び第４面では、複数のエアー噴射孔４８を形成することが、乾燥風の均等な噴射のためには好ましい。さらに、複数のエアー噴射孔４８を、周方向（中心線Ｃ２周り）に均等に配置することが好ましい。本実施形態では、第１面４６Ａには１つ、第２面４６Ｂ、第３面４６Ｃ及び第４面にはそれぞれ４つのエアー噴射孔４８を、周方向に均等に形成している。

各面のエアー噴射孔４８の径も特に限定されないが、本実施形態では、第１面４６Ａではφ１．０ｍｍ、第２面４６Ｂ及び第３面４６Ｃではφ０．９ｍｍ、第４面４６Ｄではφ０．７ｍｍとした。

エアー噴射孔４８からの乾燥風の噴射圧力は、０．５ＭＰａ以上が好ましく、０．７ＭＰａ以上がさらに好ましい。

また、乾燥風ノズル４４は、筒部１４の中心線Ｃ１に沿って、開口部１６側から底板１８側へと前進し、底板１８に向かって所定の位置に達すると後退して、往復運動を繰り返すようになっている。このように筒部１４内を往復する（好ましくは往復を繰り返す）ことで、筒部１４内をより確実に乾燥させることができる。この所定位置とは、乾燥風ノズル４４から吐出される乾燥風によって、底板１８に残留した洗浄液体が吹き飛ばされ乾燥させやすい位置であり、本実施形態では一例として、底板１８と乾燥風ノズル４４の先端との距離を、２０ｍｍに設定している。

図５には、本実施形態の洗浄液体除去装置６０が示されている。洗浄液体除去装置６０は、乾燥ハウジング４２（図６参照）内に配置される吸引エジェクター６６を有している。吸引エジェクター６６には、ギヤ本体２４を覆うようにして外側からかぶせることが可能な大きさの、円筒状の吸引ノズル６８が設けられている。吸引ノズル６８には、配管７０を通じてエアーコンプレッサー７６が接続されており、吸引ノズル６８内を吸引することができる。

吸引ノズル６８の先端部６８Ｔ（口部）には、少なくとも１箇所の窪み７２が形成されており、図３に示すように、先端６８Ｔが底板１８に密着した状態でこの窪み７２によって間隙７４が構成され、吸引ノズル６８の内部と外部とが連通される。したがって、この状態でエアーコンプレッサー７６を駆動すると、間隙７４を通じて外部から吸引ノズル６８内に空気が流入するが、流入量以上の空気を吸引することで吸引ノズル６８内は負圧となるので、ギヤ部材２２をゴムパッキン６２の弾性力に抗して、図３矢印Ａ方向へ、すなわち第１位置から第２位置へと移動させることができる。また、窪み７２を流れるエアーにより、ギヤ部材２２に付着した水分を吸引除去できる。特に、ギヤ部材２２の矢印Ａ方向への移動により、ギヤ本体２４と底板１８との間に隙間Ｄ１を構成することができる（若しくは隙間Ｄ１を大きく広げることができる）ので、この部分に残留した洗浄液体を確実に吸引できる。

なお、窪み７２の数は、吸引ノズル６８の外部から内部へと空気を吸引可能であれば特に限定されず、１つであってもよいが、吸引ノズル６８の周方向に均等に複数設けると、周囲全体から空気を吸引可能となるので好ましい。また、窪み７２の大きさも特に限定されないが、あまりに大きくすると、空気の流動の抵抗が小さくなり、吸引ノズル６８内を所定の負圧にすることが難しくなるので、必要な空気の流れが得られる範囲で、過度に大きくしないことが好ましい。図８に示した例では、幅（筒部１４の周方向の長さ）２ｍｍ、高さ（筒部１４の軸方向の長さ）１ｍｍ（断面積２ｍｍ²）の窪みを筒部１４の周方向に均等に４つ形成し、１０秒間吸引することで、ギヤ部材２２を図３矢印Ａ方向に均等に移動させると共に、均一に且つ効率的に水分除去が行えるようにしている。

吸引ノズル６８内を吸引する吸引圧力は、短時間で効率的に水分除去が完了できれば特に限定されない。表１には、吸引圧力と、必要吸引時間（水分除去に必要な吸引時間）との関係の一例が示されている。

この表の「評価」において、「○」は、必要吸引時間が短く、実用上も何ら問題がないことを、「◎」は、「○」よりも必要吸引時間が短く、特に好ましいことを、「△」は、「○」よりも必要吸引時間は長くなるが、実用可能な範囲であることを、「×」は、吸引時間が長く、実用上は不適であることをそれぞれ示す。

この表からは、短時間での水分除去には、吸引圧力が１００ｍｍＨｇ（１３．３ｋＰａ）以上であることが好ましく、１４０ｍｍＨｇ（１８．７ｋＰａ）以上であればより好ましく、１６０ｍｍＨｇ（２１．３ｋＰａ）以上であれば特に好ましことが分かる。

図９には、低湿度乾燥装置５０が示されている。低湿度乾燥装置５０は、網目状の支持部材５２を有している。この支持部材５２上にトナーカートリッジ１２を支持した状態で、所定温度（たとえば４０℃）の乾燥風を所定時間（たとえば３０分）当てることで、再度トナーカートリッジ１２の全体を乾燥させることができる。なお、この低湿度乾燥装置５０では、複数（図５では２つ）のトナーカートリッジ１２を並べて配置し、同時に乾燥させることが可能である。

以上の構成とされた本実施形態では、まず、洗浄工程として、トナーカートリッジ１２を洗浄装置３０で洗浄する。このとき、ギヤ本体２４をギヤ保持部材３６で保持して固定し、回転ローラ３８で筒部１４を回転させつつ、複数の洗浄ノズル３４から洗浄水を噴射して洗浄するので、トナーカートリッジ１２全体を洗浄できる。特に、洗浄ノズル３４Ａを中心線Ｃ１に沿って往復させることで、筒部１４内をより確実に洗浄することができる。

なお、洗浄に使用する洗浄液体Ｗとしてはたとえば水道水を使用し、低コストで洗浄することが可能である。さらに、トナーカートリッジ１２の材質に応じて、影響を与えない液体（アルコールや有機溶剤、界面活性剤等）を使用することも可能である。

洗浄後、乾燥工程として、図４に示す乾燥装置４０でトナーカートリッジ１２を乾燥させる。乾燥工程においても、回転ローラ３８で筒部１４を回転させると同時に、乾燥風ノズル４４を中心線Ｃ１に沿って往復（たとえば２往復程度）させることで、筒部１４内をより確実に乾燥させることができる。

次に、トナーカートリッジ１２のギヤ本体２４を覆うように、吸引エジェクター６６の吸引ノズル６８を外側からかぶせ、エアーコンプレッサー７６を駆動して、吸引ノズル６８内を吸引する。吸引ノズル６８内が減圧されるので（減圧工程）、ギヤ部材２２がゴムパッキン６２の弾性力に抗して、第１位置から第２位置へと図３矢印Ａ方向に移動し、さらに、窪み７２を通じて空気が流れるので、ギヤ部材２２の周囲（特に、ギヤ本体２４と底板１８との間）の洗浄液体を吸引し、除去することができる。特に、ギヤ部材２２の矢印Ａ方向への移動により、ギヤ本体２４と底板１８との間に隙間Ｄ１を構成することができる（若しくは隙間Ｄ１を大きく広げることができる）ので、この部分に残留した洗浄液体を確実に吸引できる。

なお、図８では、トナーカートリッジ１２を略水平として上記の減圧工程を行っているが、ギヤ本体２４を下方に向けてこの減圧工程を行うと、洗浄液体を吸引するだけでなく、吸引方法と同方向に重力によって流下させることができるので、より効率的な洗浄液体の除去が可能となる。このとき、トナーカートリッジ１２を鉛直方向とすることが好ましいが、斜めになっていてもよい。

そして最後に、図６に示すように、低湿度乾燥装置５０によって、再度トナーカートリッジ１２の全体を乾燥させる。

このように、本実施形態では、吸引ノズル６８をギヤ本体２４にかぶせた状態で内部を吸引することで、ギヤ部材２２をゴムパッキン６２の弾性力に抗して移動させることで、ギヤ本体２４と底板１８との間の隙間Ｄ１を広げ、この部分に残留した洗浄液体を短時間且つ低コストで確実に除去できるようにしている。

なお、ギヤ部材２２とゴムパッキン６２との関係等によっては、ギヤ部材２２がゴムパッキン６２の弾性力で、図３矢印Ａ方向に移動されて、オーガ取付部２６が底板１８に接近（あるいは接触）していることもある。この場合には、図１０に示すように、筒部１４の内部から、吸引エジェクター６６によってオーガ取付部２６を取り囲むように吸引してギヤ部材２２を矢印Ｂ方向に移動させ、オーガ取付部２６と底板１８との間隔Ｄ２を広げるようにしてもよい。

また、上記では、本発明の洗浄方法における洗浄対象物としてトナーカートリッジ１２を挙げたが、洗浄対象物はこれに限定されず、画像形成装置内で脱着可能な各種のカートリッジやハウジング（たとえばＣＲＵハウジング）等に適用可能である。これらの中には、上記のギヤ部材２２を有していないものが多いが、たとえば、画像形成装置の装置本体にネジで固定するためのネジ孔として作用する狭部が形成されることが多い。このような狭部は、洗浄液体が乾燥工程後でも残留しやすいので、本発明のように、吸引（減圧）によって洗浄液体を除去することが好ましい。さらに、狭部だけでなく、洗浄対象物全体を減圧雰囲気下において、より乾燥が促進されるようにしてもよい。

上記実施形態で説明したように、洗浄対象物が、第１位置と第２位置とを移動し、弾性力によって第１位置へ移動している移動部材を備えた洗浄対象物では、空気の吸引ではなく吹き付けによって移動部材を第２位置へと移動させてもよい。

本発明の洗浄方法における洗浄対象物の一例であるトナーカートリッジを示す斜視図である。 本発明の洗浄方法における洗浄対象物の一例であるトナーカートリッジのギヤ部材近傍をギヤ部材が第１位置に移動している状態で示す断面図である。 本発明の洗浄方法における洗浄対象物の一例であるトナーカートリッジのギヤ部材近傍をトナーカートリッジ外部から吸引してギヤ部材が移動している状態で示す断面図である。 本発明の洗浄方法に適用される洗浄装置の概略構成を示す斜視図である。 洗浄装置によってトナーカートリッジを洗浄している状態を示す断面図である。 本発明の洗浄方法に適用される乾燥装置の概略構成を示す斜視図である。 乾燥装置によってトナーカートリッジを乾燥している状態を示す断面図である。 本発明の洗浄液体除去装置とトナーカートリッジとを示す斜視図である。 本発明の洗浄方法に使用される低湿度乾燥装置の概略構成を示す斜視図である。 本発明の洗浄方法における洗浄対象物の一例であるトナーカートリッジのギヤ部材近傍をトナーカートリッジ内部から吸引してギヤ部材が移動している状態で示す断面図である。

符号の説明

１２ トナーカートリッジ（被洗浄物）
１４ 筒部（被洗浄物本体）
１６ 開口部
１８ 底板
２０ 保持孔
２２ ギヤ部材（移動部材）
２４ ギヤ本体
２６ オーガ取付部
２８ 中間連結部
３０ 洗浄装置
３２ スクリュウオーガ
３２ 洗浄ハウジング
３４ 洗浄ノズル
３４Ａ 洗浄ノズル
３６ ギヤ保持部材
３８ 回転ローラ
４０ 乾燥装置
４２ 乾燥ハウジング
４４ 乾燥風ノズル
４６ エアー噴射部
４８ エアー噴射孔
５０ 低湿度乾燥装置
５２ 支持部材
６０ 洗浄液体除去装置
６２ ゴムパッキン
６４ スクリュウオーガ
６６ 吸引エジェクター（ノズル部材）
６８ 吸引ノズル（ノズル本体）
７０ 配管（吸引部材）
７２ 窪み
７６ エアーコンプレッサー（吸引部材）
Ｃ１ 中心線
Ｃ２ 中心線
Ｗ 洗浄液体

Claims (8)

1. 被洗浄物本体と、弾性部材からの弾性力で移動した第１位置と弾性力に抗して移動した第２位置との間で移動可能な移動部材と、を備え、洗浄液体によって洗浄された被洗浄物に対し、
   前記移動部材への気体の吹き付け又は吸引により移動部材を第２位置へと移動させると共に被洗浄物本体と移動部材との間の洗浄液体を除去するノズル部材、
   を有することを特徴とする洗浄液体除去装置。
2. 前記ノズル部材が、
   前記被洗浄物本体との間に少なくとも１つの間隙を構成して前記移動部材を覆うように被洗浄物本体に密着するノズル本体と、
   前記ノズル本体に接続されノズル本体内から空気を吸引する吸引部材と、
   を含んで構成されていることを特徴とする請求項１に記載の洗浄液体除去装置。
3. 洗浄流体によって洗浄された被洗浄物に対し、この被洗浄物の少なくとも一部を減圧して被洗浄物に付着した洗浄液体を除去する減圧工程、
   を有することを特徴とする洗浄液体除去方法。
4. 前記減圧工程が、被洗浄物の狭部を含む部位に対して行われることを特徴とする請求項３に記載の洗浄液体除去方法。
5. 前記減圧工程で、前記請求項１又は請求項２に記載のノズル部材から移動部材へ気体の吹き付け又は吸引によって移動部材を第２位置へと移動させると共に被洗浄物本体と移動部材との間の洗浄液体を除去することを特徴とする請求項４に記載の洗浄液体除去方法。
6. 前記減圧工程を、前記移動部材又は前記狭部を下方に向けて行うことを特徴とする請求項３〜請求項５のいずれか１項に記載の洗浄液体除去方法。
7. 被洗浄物を洗浄水によって洗浄する洗浄工程と、
   前記洗浄工程の後に被洗浄物に対して施される請求項３〜請求項６のいずれか１項に記載の減圧工程と、
   を有することを特徴とする洗浄方法。
8. 前記洗浄工程と前記減圧工程の間で前記被洗浄物を乾燥させる乾燥工程、
   をさらに有することを特徴とする請求項７に記載の洗浄方法。

Images