JP2005294753A - 半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】 オーバーフロー層から活性層への不純物の拡散を抑制し、発光効率の低下を抑制することを可能にする。
【解決手段】 結晶基板1上に形成された第1導電型の第1クラッド層2と、第1クラッド層上に形成された活性層4と、活性層上に形成され活性層に不純物が拡散するのを防止する拡散防止層51と、拡散防止層上に形成され活性層に注入されたキャリアのオーバーフローを防止する第1導電型と異なる第2導電型のオーバーフロー防止層5と、オーバーフロー防止層上に形成された第2導電型の第2クラッド層7とを備えている。
【選択図】 図1
【解決手段】 結晶基板1上に形成された第1導電型の第1クラッド層2と、第1クラッド層上に形成された活性層4と、活性層上に形成され活性層に不純物が拡散するのを防止する拡散防止層51と、拡散防止層上に形成され活性層に注入されたキャリアのオーバーフローを防止する第1導電型と異なる第2導電型のオーバーフロー防止層5と、オーバーフロー防止層上に形成された第2導電型の第2クラッド層7とを備えている。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体発光素子に関する。
波長400nm帯の青紫色のレーザ光を発光する半導体発光素子は次世代DVD(digital versatile disk)などへの開発が進んでいる。その素子構造としては、例えば、GaN基板上にInGaAlN系材料で構成したダブルヘテロ接合を有し、上部クラッド層をリッジ形状にしたリッジ導波路型半導体発光素子が知られている(例えば、特許文献1参照)。このリッジ導波路型半導体発光素子は、n型のGaN基板上にAl0.05Ga0.95Nからなるノンドープのn型コンタクト層が形成されている。このノンドープのn型コンタクト層上にはSiがドープされたAl0.05Ga0.95Nからなるn型コンタクト層が形成され、このn型コンタクト層の一部の領域にn側電極が設けられ、このn側電極が設けられていない領域上にはSiがドープされIn0.08Ga0.92Nからなるn型クラック防止層が設けられている。n型クラック防止層上に、ノンドープのAl0.14Ga0.86Nからなる層とSiをドープしたGaNからなる層を交互に160回積層した多層膜(超格子構造)からなるn型クラッド層が形成されている。このn型クラッド層上にノンドープのGaNからなるn型ガイド層が形成されている。n型ガイド層上にはSiがドープされたIn0.01Ga0.99Nからなる障壁層とアンドープのIn0.11Ga0.89Nからなる井戸層を交互に3回積層しその上に障壁層を積層した多重量子井戸構造(MQW)の活性層が形成されている。この活性層上にはMgがドープされたAl0.4Ga0.6Nからなるp型オーバーフロー防止層が形成されている。このp型オーバーフロー防止層上にはノンドープのAl0.1Ga0.9Nからなる層とMgがドープされたGaNからなる層が交互に100回積層された多層膜(超格子構造)からなりリッジ形状に形成されたp型クラッド層が形成されている。このp型クラッド層の側部にはZr酸化物からなる保護膜が形成され、上記p型クラッド層上にはMgがドープされたGaNからなるp型コンタクト層が形成されている。そして、上記p型クラッド層および保護膜上にはp側電極が形成された構成となっている。
オーバーフロー防止層はバンドギャップが広いため、n側電極から注入された電子を遮り、電子を活性層に閉じ込めることができるが、オーバーフロー防止効果を高くするためにはバンドギャップが大きくなるようにオーバーフロー防止層の不純物濃度を高くする必要がある。この場合、不純物が活性層まで拡散してしまい、発光再結合が阻害され、発光効率が低下するという問題があった。
特開2000−299497号公報
本発明は、オーバーフロー層から活性層への不純物の拡散を抑制し、発光効率が低下するのを抑制することのできる半導体発光素子を提供することを目的とする。
本発明の一態様による半導体発光素子は、結晶基板上に形成された第1導電型の第1クラッド層と、前記第1クラッド層上に形成された活性層と、前記活性層上に形成され前記活性層に不純物が拡散するのを防止する拡散防止層と、前記拡散防止層上に形成され前記活性層に注入されたキャリアのオーバーフローを防止する前記第1導電型と異なる第2導電型のオーバーフロー防止層と、前記オーバーフロー防止層上に形成された第2導電型の第2クラッド層とを備えたことを特徴とする。
本発明によれば、オーバーフロー層から活性層への不純物の拡散を抑制し、発光効率が低下するのを抑制することができる。
以下本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態による半導体発光素子の構成を図1に示す。
本発明の第1実施形態による半導体発光素子の構成を図1に示す。
GaNからなるn型基板1上に層厚が0.5μm以上2.0μm以下のAl0.08Ga0.92Nからなるn型クラッド層2が形成されている。このn型クラッド層2上に層厚が0.01μm以上0.1μm以下のGaNからなるn型光ガイド層3が形成されている。このn型光ガイド層3上に、層厚が3nm以上10nm以下のSiがドープされたIn0.02Ga0.98Nからなる障壁層と層厚が2nm以上5nm以下のノンドープのIn0.15Ga0.85Nからなる井戸層を交互に2乃至4回積層した後に層厚が3nm以上10nm以下のSiがドープされたIn0.02Ga0.98Nからなる障壁層が形成された多重量子井戸MQW(Multiple Quantum Well)構造の活性層4が設けられている。この活性層4上に層厚が0.02μm以上0.1μm以下のノンドープのGaNからなる拡散防止層51が形成されている。この拡散防止層51上に層厚が5nm以上20nm以下のAl0.2Ga0.8Nからなるp+型のオーバーフロー防止層5が設けられている。拡散防止層51は薄すぎるとp+型オーバーフロー防止層5の不純物が活性層4まで拡散してしまい、厚すぎるとオーバーフロー防止層5が活性層4から離れてしまい、オーバーフロー防止の効果が無くなってしまう。
オーバーフロー防止層5上に層厚が0.01μm以上0.1μm以下のGaNからなるp型の光ガイド層6が形成されている。この光ガイド層6上には層厚が0.5μm以上2.0μm以下のAl0.08Ga0.92Nからなるp型のクラッド層7が形成されている。クラッド層7上に層厚が0.02μm以上0.2μm以下のGaNからなるp+型のコンタクト層8が設けられている。なお、クラッド層7の途中までコンタクト層8およびクラッド層7がリッジ形状に形成され、リッジ形状に形成されたクラッド層7およびコンタクト層8の部分がリッジ型導波路10となる。なお、リッジ型導波路10は紙面に垂直な方向に延在している。すなわち、紙面に垂直かつ上からみるとリッジ型導波路10はストライプ形状となっている。
リッジ型導波路10の上部以外の全表面に層厚が0.2μm以上0.7μm以下のSiO2からなる保護膜9を形成し、リッジ型導波路10上にp側電極11を形成し、GaN基板1の下にn側電極12を設けた構成となっている。なお、p側電極11はPt、Pd、Ni、Au等から選択された少なくとも一つの金属からなる層、選択された2つ以上の金属を積層した積層膜、またはそれらの金属の合金から構成することができる。また、n側電極12はTi、Pt、Au、Al等から選択された少なくとも一つの金属からなる層、選択された2つ以上の金属を積層した積層膜、またはそれらの金属の合金から構成することもできる。なお、クラッド層2およびクラッド7は、層厚が1nm以上5nm以下のAl0.16Ga0.84Nからなる層とGaNからなる層を交互に成長した超格子層とすることもできる。また、オーバーフロー防止層5および拡散防止層51を形成する際の温度が活性層4の形成温度より高くすることが好ましい。
比較例として、本実施形態による半導体発光素子の拡散防止層51を形成しないでかつ活性層4に不純物が拡散していない半導体発光素子を比較例1、拡散防止層51を形成しないでかつ活性層4に不純物が拡散した半導体発光素子を比較例2として形成した。これらの比較例1および比較例2は、図5に示す構造を有している。
本実施形態による半導体発光素子と、比較例1および比較例2の半導体発光素子の印加電流に対する光出力の特性(I−L特性)をシミュレーションした。上記特性を雰囲気が室温の場合を図2に示し、雰囲気が100℃の場合を図3に示す。
不純物が活性層4まで拡散した比較例2の場合、本実施形態および比較例1に比べてしきい値電流が増加し、効率(I−L特性グラフの傾き)も低下し、高温でのI−L特性の飽和が顕著になってしまうことが分かる。これは不純物拡散によるp−n接合の位置ずれや準位が作られることによる非発光の再結合が増加することが原因である。
これに対し、本実施形態では、比較例1および比較例2に比べてしきい値電流が低下するとともに効率が増加し、I−L特性の飽和が見られない。すなわち、比較例1の活性層に不純物の拡散がない場合よりも改善されていることが分かる。これは、本実施形態では、活性層4とオーバーフロー防止層5との間に拡散防止層51が設けられているため、屈折率の低いオーバーフロー防止層5が活性層4から少し離れ、活性層4への光の閉じ込めが増加したためと思われる。
以上説明したように、本実施形態によればオーバーフロー層から活性層への不純物の拡散を抑制し、発光効率が低下するのを抑制することができる。
なお、n型のクラッド層2およびp型のクラッド層7はAlsGa1−sNであるかまたはAlsGa1−sN/GaNからなる超格子(0.0<s≦0.3)であることが好ましい。
また、活性層4はInxGa1−xN/InyGa1−yNからなる多重量子井戸活性層(0.05≦x≦1.0、0≦y≦1.0、x>y)であることが好ましい。
また、オーバーフロー防止層5はAltGa1−tNからなり、オーバーフロー防止層5におけるAlの化学量論比tはクラッド層2、7におけるAlの化学量論比sより大きいことが好ましい。
また、拡散防止層51はAluGa1−uN(0≦u<t)からなり、拡散防止層51におけるAlの化学量論比uは0以上でかつオーバーフロー防止層5におけるAlの化学量論比tよりも小さいことが好ましい。このように構成することにより、屈折率が大きくなり、活性層への光の閉じこめを強くすることができる。
また、オーバーフロー防止層5は不純物濃度が5×1018/cm−3以上でかつ拡散防止層はノンドープであることが好ましい。このように構成することにより、キャリアの活性層からのオーバーフローを、より防止することができる。
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態による半導体発光素子の構成を図4に示す。
次に、本発明の第2実施形態による半導体発光素子の構成を図4に示す。
本実施形態による半導体発光素子は、図1に示す第1実施形態による半導体発光素子において、ノンドープのGaNからなる拡散防止層51をやや厚め、例えば0.1μm〜0.15μmにして光ガイド機能も持たせ、GaNからなるp型の光ガイド層6を除去した構成となっている。オーバーフロー防止層5は活性層4に近いほど効果が大きいが、不純物の濃度を高くすることにより障壁を高くできるため、活性層4とオーバーフロー防止層が少し離れても、オーバーフロー防止効果を維持することができる。したがって、本実施形態においては、オーバーフロー防止層5の不純物の濃度が第1実施形態に比べて高くなるように構成されている。
この実施形態も、第1実施形態と同様に、オーバーフロー層から活性層への不純物の拡散を抑制し、発光効率が低下するのを抑制することができる。
1 n型基板
2 n型クラッド層
3 n型光ガイド層
4 MQW構造の活性層
5 p型オーバーフロー防止層
51 拡散防止層
6 p型光ガイド層
7 p型クラッド層
8 p型コンタクト層
9 保護膜
10 リッジ構造
11 p側電極
12 n側電
2 n型クラッド層
3 n型光ガイド層
4 MQW構造の活性層
5 p型オーバーフロー防止層
51 拡散防止層
6 p型光ガイド層
7 p型クラッド層
8 p型コンタクト層
9 保護膜
10 リッジ構造
11 p側電極
12 n側電
Claims (4)
- 結晶基板上に形成された第1導電型の第1クラッド層と、
前記第1クラッド層上に形成された活性層と、
前記活性層上に形成され前記活性層に不純物が拡散するのを防止する拡散防止層と、
前記拡散防止層上に形成され前記活性層に注入されたキャリアのオーバーフローを防止する前記第1導電型と異なる第2導電型のオーバーフロー防止層と、
前記オーバーフロー防止層上に形成された第2導電型の第2クラッド層と
を備えたことを特徴とする半導体発光素子。 - 前記第1導電型の第1クラッド層および第2導電型の第2クラッド層がAlsGa1−sNからなる層かまたはAlsGa1−sN/GaNからなる超格子(0.0<s≦0.3)層であり、前記活性層がInxGa1−xN/InyGa1−yNからなる多重量子井戸活性層(0.05≦x≦1.0、0≦y≦1.0、x>y)であり、前記オーバーフロー防止層がAltGa1−tN(t>s)からなる層であり、前記拡散防止層がAluGa1−uN(0≦u<t)からなる層であることを特徴とする請求項1記載の半導体発光素子。
- 前記オーバーフロー防止層の不純物濃度が5×1018/cm−3以上であり、前記拡散防止層がノンドープ層であることを特徴とする請求項1または2記載の半導体発光素子。
- 前記オーバーフロー防止層の層厚が5nm以上20nm以下であり、前記拡散防止層の層厚が0.1μm以上0.15μm以下であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体発光素子。
Priority Applications (5)
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