JP2005292583A - マイクロレンズアレイ基板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明に係るマイクロレンズアレイ基板1は、石英基板2またはガラス基板の表面内に連続した複数のレンズ状凹部6が形成され、前記レンズ状凹部6内に樹脂が充填されてマイクロレンズアレイ8が形成され、前記石英基板2またはガラス基板の前記マイクロレンズアレイ周縁部に対応する部分が、基板表面に向ってテーパー状21に形成されているマイクロレンズアレイ8であることを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
<第1実施の形態>
図1及び図2に、本発明に係るマイクロレンズアレイ基板およびその製造方法の一実施の形態を示す。本例は、液晶プロジェクタを構成する液晶パネル用のマイクロレンズアレイ基板について説明する。
先ず、図1Aに示すように、透明基板である平行平板の石英基板またはガラス基板、本例では石英基板2を用意する。この平行平板の石英基板の表面上に所要の厚さのフォトレジスト層3aを形成する。本例ではスピンコート法によりフォトレジスト層3aを形成する。
マイクロレンズアレイ8が多重露光法を用いて形成されるので、レンズ曲面として球面状あるいは非球面状のものが得られ、目的に合ったレンズ曲面のマイクロレンズアレイ基板を提供することができる。
マイクロレンズアレイ8が形成された表面側に所要の薄い厚さのカバーガラス板10が形成され、このカバーガラス板10表面には隣り合うマイクロレンズ11の境界部分に一致した位置にブラックマトリックス15が形成されていることにより、ブラックマトリックス15はマイクロレンズ11に最も近い位置に形成されることになる。このようなブラックマトリックス15を有することにより、液晶パネルを構成したときに、隣り合うマイクロレンズ11間の境界部分の先鋭な頂点に光が照射され、迷光成分が発生したとしても、ブラックマトリックス15によって迷光成分のTFT回路側へ入射することを確実に阻止することができる。
カバー表層厚d2を5μm以上30μm以下、さらに樹脂厚d3を1μm以上5μm以下に薄くすることにより、高解像度化に伴ってマイクロレンズ11が微細化した場合にも、光を目的の領域に集光させることができる。すなわち、微細化したマイクロレンズ11のレンズ焦点深度を目的の領域に合わせることができる。つまり、光路設計の自由度が上がる。
次に、図3〜図4に、本発明に係るマイクロレンズアレイ基板及びその製造方法の他の実施の形態を示す。本例も、液晶プロジェクタを構成する液晶パネル用のマイクロレンズアレイ基板に適用した場合である。
本実施の形態においては、図3Aから図3Cまでの工程は、前述の図1Aから図1Cまでの工程と同じであるので、重複説明を省略する。
図5に、本発明に係るマイクロレンズアレイ基板81の第3の実施の形態を示す。
本例も、液晶プロジェクタを構成する液晶パネル用のマイクロレンズアレイ基板に適用した場合である。
本実施の形態においては、図1Aから図2Hまでの工程は同じであるので、重複説明は省略する。
図10Aに示すように、前述の図5で得られたマイクロレンズアレイ基板81を、図示せざるも分割線より分割して各液晶パネルに対応したマイクロレンズアレイ基板101を形成する。すなわち、表面側のレンズ状凹部6に樹脂層9を充填して連続した複数のマイクロレンズ11からなるマイクロレンズアレイ8を形成した石英基板2上に、カバーガラス板10を貼り合わせ、カバーガラス板10上に格子状のブラックマトリックス15を形成し、さらに透明保護層であるシリコン酸化膜19と対向電極17を形成したマイクロレンズアレイ基板101を用意する。
また、TFT基板として、マイクロレンズアレイ118を省略した構成のTFT基板を用いて、本発明のマイクロレンズアレイ基板との組み合わせで液晶パネルを構成することもできる。
Claims (6)
- 石英基板またはガラス基板の表面内に連続した複数のレンズ状凹部が形成され、
前記レンズ状凹部内に樹脂が充填されてマイクロレンズアレイが形成され、
前記石英基板またはガラス基板の前記マイクロレンズアレイ周縁部に対応する部分が、
基板表面に向ってテーパー状に形成されている
ことを特徴とするマイクロレンズアレイ基板。 - 前記石英基板またはガラス基板の表面に、前記樹脂を挟んでカバーガラス部材が貼り合わされている
ことを特徴とする請求項1記載のマイクロレンズアレイ基板。 - 前記テーパーは、階段状に形成される
ことを特徴とする請求項1記載のマイクロレンズアレイ基板。 - 前記テーパーは、下に凸状の曲線で形成される
ことを特徴とする請求項1記載のマイクロレンズアレイ基板。 - 前記テーパーは、上に凸状の曲線で形成される
ことを特徴とする請求項1記載のマイクロレンズアレイ基板。 - 前記テーパーは、多重露光で形成される
ことを特徴とする請求項1記載のマイクロレンズアレイ基板。
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