JP2005292245A - 光学素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光学研磨された第1の基板1と光学研磨された第2の基板2とを直接接合してなる光学素子において、第1の基板1内に光導波路5を備え、少なくとも光導波路5の下の直接接合面4に微小な空孔3を備えた光学素子であり、これにより中間層が不要となり、低価格化および接合強度の向上が図れる。
【選択図】図1
Description
以下に本発明の実施の形態1における光学素子について、図面を参照しながら説明する。
以下に本発明の実施の形態2を用いて、図面を参照しながら説明する。
2 第2の基板
3 空孔
4 直接接合部
5 光導波路
6 ノッジ部
7 凹部
21 保持基板
22 ガラス基板
23 光導波路部
24 薄膜層SiO2 SiN
Claims (14)
- 光学研磨された第1の基板と光学研磨された第2の基板とを直接接合してなる光学素子において、前記第1の基板内に光導波路を備え、少なくとも前記光導波路の下の直接接合面に微小な空孔を備えた光学素子。
- 第1の基板と第2の基板の屈折率がほぼ等しい、もしくは第1の基板の屈折率が、第2の基板の屈折率より小さい請求項1に記載の光学素子。
- 光導波路がリッジ型光導波路である請求項1に記載の光学素子。
- 光導波路のリッジ部の側面にノッジ形状を有する請求項3に記載の光学素子。
- 光導波路の側面に形成される屈折率の異なるクラッド層が微小な凹部によって形成されることを特徴とする請求項1に記載の光学素子。
- 光導波路の側面に形成される屈折率の異なるクラッド層を構成する凹部の配列において、光導波路側面の凹部の深さを、光導波路外側の深さより深くした請求項5に記載の光学素子。
- 光導波路の幅が光導波路を伝搬する光の波長の2倍から10倍である請求項1に記載の光学素子。
- 光導波路の層の高さが光導波路を伝搬する光の波長の2倍から5倍である請求項1に記載の光学素子。
- 微小な空孔の幅が光導波路を伝搬する光の波長の1/2以下である請求項1に記載の光学素子。
- 微小な空孔の高さが光導波路を伝搬する光の波長の1/5以上である請求項1に記載の光学素子。
- 微小な空孔の配列が周期的でない請求項1に記載の光学素子。
- 微小な空孔がストライプ状であり、前記空孔の幅が光導波路を伝搬する光の波長の1/2以下である請求項1に記載の光学素子。
- 第1の基板もしくは第2の基板の直接接合面の少なくとも一部に微小な凹部を形成した後、第1の基板と第2の基板とを直接接合することにより直接接合面に微小な空孔を形成し、前記空孔の上の前記第1の基板を加工することにより光導波路を形成する光学素子の製造方法。
- 光導波路の形成においてフォトレジストをマスクとして用いるドライエッチングによってリッジ形成するとともに、同時にノッジ部を形成する請求項13に記載の光学素子の製造方法。
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