JP2013195715A - 半導体光変調素子及び半導体光変調素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体材料により形成されており、入射した光が伝播する光変調導波路と、前記光変調導波路の側面の両側において、前記光変調導波路の各々の側面と接続されている半導体材料により形成された接続構造部と、前記光変調導波路及び前記接続構造部の下側に形成された下部酸化膜層と、前記接続構造部と接している下部酸化膜層の一部を除去することに形成された空間部と、を有することを特徴とする半導体光変調装置により上記課題を解決する。
【選択図】 図4
Description
ところで、このような光変調器は、例えば、図2に示されるように、光導波路910は、基板901の上に形成された酸化膜層902の上に形成されている。具体的には、基板901はシリコンにより形成されており、酸化膜層902は酸化シリコン層により形成されており、光導波路910はシリコン層により形成されている。従って、SOI(Silicon on Insulator)基板を用いて形成することが可能であり、この場合、光導波路910は、SOI層により形成され、酸化膜層902はBOX(buried oxide)層により形成される。
(半導体光変調素子)
第1の実施の形態における半導体光変調素子について、図3から図5に基づき説明する。図3は、本実施の形態における半導体光変調素子であるマッハツェンダ型の光変調器の上面図であり、図4は、図3における一点鎖線3Aにより囲まれた領域の拡大図である。また、図5(a)は、図4における一点鎖線4A−4Bにおいて切断された断面図であり、図5(a)は、図4における一点鎖線4C−4Dにおいて切断された断面図であり、図5(c)は、図4における一点鎖線4E−4Fにおいて切断された断面図である。
次に、従来の半導体光変調素子と本実施の形態における半導体光変調素子とにおいて、エネルギー密度分布におけるシミュレーションを行なった結果について説明する。具体的には、本実施の形態における半導体光変調素子のモデルとして、図6に示す構造のものを想定し、従来の半導体光変調素子の構造のモデルとして、図2に示す構造のものを想定した。尚、シミュレーションは、3次元電磁界計算により行なったものであり、後述するように光変調導波路20の高さH1は220nmであり、光変調導波路920の高さも同じ高さである。
次に、本実施の形態における半導体光変調素子の製造方法について、図10〜図18に基づき説明する。尚、図10〜図18においては、便宜上、ストレート光導波路11a及び11bは省略されている。
Ion Etching)等により、レジストパターンが形成されていない領域の半導体層50を除去することにより、光変調導波路20、接続構造部21及び22、ストレート光導波路11a及び11bを形成することができる。この後、不図示のレジストパターンを有機溶剤等により除去する。尚、図11は、この工程における断面図であり、図11(a)は、図4における一点鎖線4A−4Bに相当する部分の断面図であり、図11(b)は、図4における一点鎖線4C−4Dに相当する部分の断面図である。
次に、第2の実施の形態について説明する。本実施の形態は、接続構造部21及び22に代えてフォトニック結晶を形成した構造のものである。図19に基づき、本実施の形態における半導体光変調素子について説明する。尚、図19(a)は、本実施の形態における半導体光変調素子の上面図であり、図19(b)は、図19(a)における一点鎖線19A−19Bにおいて切断した断面図である。本実施の形態における半導体光変調素子は、コア層となる光変調導波路120の両側、即ち、光変調導波路120と共通電極30との間及び、光変調導波路120と第1の信号電極31等との間にフォトニック結晶領域121及び122が形成されているものである。フォトニック結晶領域121及び122においては、直径215nmの円柱形の空孔123が、400nmのピッチにより、2次元周期で形成されており、この2次元周期で形成された空孔123によりフォトニック結晶が形成される。一方、光変調導波路120においては、このような空孔123が形成されていないため、光を伝播させることができる。このような本実施の形態における半導体装置においては、2次元フォトニック結晶のスローライト効果を利用した高効率な位相シフタを得ることができる。尚、スローライト効果を利用する場合においても、伝播光の広がりによる吸収損失が問題となる。しかしながら、本実施の形態における半導体光変調素子では、フォトニック結晶領域121及び122における上側の上部酸化膜層40の一部が除去され開口部41が形成されており、下側の酸化膜層61の一部が除去され空間部62が形成されている。これにより、モードミスマッチ等による光損失を低減することができる。
(半導体光変調素子)
次に、第3の実施の形態について説明する。本実施の形態における半導体光変調素子は、第1の実施の形態における半導体光変調素子の空間部62の相当する部分に低屈折率材料層を形成した構造のものである。
次に、本実施の形態における半導体光変調素子の製造方法について、図22〜図31に基づき説明する。尚、図22〜図31においては、便宜上、ストレート光導波路11a及び11bは省略されている。
(半導体光変調素子)
図32及び図33に基づき第4の実施の形態における半導体光変調素子について説明する。図32は、本実施の形態における半導体光変調素子において、第1の実施の形態において説明した図3における一点鎖線3Aにより囲まれた領域の拡大図である。また、図33(a)は、図32における一点鎖線32A−32Bにおいて切断された断面図である。図33(a)は、図32における一点鎖線32C−32Dにおいて切断された断面図である。図33(c)は、図32における一点鎖線32E−32Fにおいて切断された断面図である。
次に、本実施の形態における半導体光変調素子の製造方法について、図36〜図38に基づき説明する。尚、図36〜図38は、図32における一点鎖線32A−32Bに相当する部分の各々の工程における断面図である。尚、図36〜図38においては、便宜上、ストレート光導波路11a及び11bは省略されている。
(付記1)
半導体材料により形成されており、入射した光が伝播する光変調導波路と、
前記光変調導波路の側面の両側において、前記光変調導波路の各々の側面と接続されている半導体材料により形成された接続構造部と、
前記光変調導波路及び前記接続構造部の下側に形成された下部酸化膜層と、
前記接続構造部と接している下部酸化膜層の一部を除去することに形成された空間部と、
を有することを特徴とする半導体光変調装置。
(付記2)
前記光変調導波路及び前記接続構造部の上側に形成された上部酸化膜層と、
前記上部酸化膜層において、前記接続構造部の上の一部又は全部に形成された開口部と、
を有することを特徴とする付記1に記載の半導体光変調装置。
(付記3)
前記空間部には、前記下部酸化膜層よりも低い屈折率を有する材料により低屈折率材料層が形成されていることを特徴とする付記1または2に記載の半導体光変調装置。
(付記4)
前記空間部と前記開口部とは、前記接続構造部を介して、対応する領域に形成されていることを特徴とする付記3に記載の半導体光変調装置。
(付記5)
前記接続構造部は、前記光変調導波路の側面より延びる複数の棒形状のものにより形成されているものであって、
前記光変調導波路と前記接続構造部とは、略同じ厚さで形成されていることを特徴とする付記1から4のいずれかに記載の半導体光変調装置。
(付記6)
前記接続構造部は、フォトニック結晶により形成されているものであることを特徴とする付記1から4のいずれかに記載の半導体光変調装置。
(付記7)
半導体材料により形成されており、入射した光が伝播する光変調導波路と、
前記光変調導波路の側面の両側に形成されており、前記光変調導波路の側面と接続されている半導体材料により形成された接続構造部と、
前記光変調導波路及び前記接続構造部の上側に形成された上部酸化膜層と、
前記上部酸化膜層において、前記接続構造部の上の一部又は全部に形成された開口部と、
を有することを特徴とする半導体光変調装置。
(付記8)
前記接続構造部は、前記光変調導波路よりも厚さが薄いことを特徴とする付記7に記載の半導体光変調装置。
(付記9)
前記光変調導波路において光が出射する側に形成された光導波路を有することを特徴とする付記1から8のいずれかに記載の半導体光変調装置。
(付記10)
前記光変調導波路において光が入射する側に形成された光導波路を有することを特徴とする付記1から9のいずれかに記載の半導体光変調装置。
(付記11)
前記光変調導波路の側面の一方の側に形成された一方の接続構造部は、第1の導電型の領域を有しており、
前記光変調導波路の側面の他方の側に形成された他方の接続構造部は、第2の導電型の領域を有していることを特徴とする付記1から10のいずれかに記載の半導体光変調素子。
(付記12)
前記第1の導電型はn型であり、前記第2の導電型はp型であることを特徴とする付記11に記載の半導体光変調素子。
(付記13)
前記一方の接続構造部における前記第1の導電型の領域は、共通電極に接続されており、
前記他方の接続構造部における前記第2の導電型の領域は、信号電極に接続されているものであることを特徴とする付記11または12に記載の半導体光変調素子。
(付記14)
前記光変調導波路、前記接続構造部は、共通の半導体層により形成されており、
前記半導体層は、基板の上に形成されている下部酸化膜層の上に形成されていることを特徴とする付記1から13のいずれかに記載の半導体光変調素子。
(付記15)
前記半導体材料は、シリコンを含むものであることを特徴とする付記1から14のいずれかに記載の半導体光変調素子。
(付記16)
前記酸化膜層及び前記上部酸化膜層は、酸化シリコンを含むものであることを特徴とする付記1から15のいずれかに記載の半導体光変調装置。
(付記17)
基板上に下部酸化膜層が形成されており、前記下部酸化膜層の上に半導体層が形成されているものにおいて、前記半導体層の一部を除去することにより、光変調導波路及び前記光変調導波路の側面の両側において接続されている接続構造部を形成する工程と、
前記光変調導波路の側面の一方の側に形成された一方の接続構造部の全部又は一部に、第1の導電型の領域を形成し、他方の側に形成された他方の接続構造部の全部又は一部に、第2の導電型の領域を形成する工程と、
前記光変調導波路及び前記接続構造部の上に、上部酸化膜層を形成する工程と、
前記接続構造部の上の前記上部酸化膜層の全部または一部を除去することにより、開口部を形成する工程と、
前記開口部に対応する部分の前記下部酸化膜層において、前記接続構造部と接している前記下部酸化膜層の一部を除去することにより空間部を形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体光変調装置の製造方法。
(付記18)
前記空間部は、気相状態におけるフッ酸により、前記下部酸化膜層の一部を除去することにより形成されるものであることを特徴とする付記17に記載の半導体光変調装置の製造方法。
(付記19)
前記空間部に、前記下部酸化膜層よりも屈折率の低い材料により低屈折率材料層を形成する工程を有することを特徴とする付記18に記載の半導体光変調装置の製造方法。
(付記20)
前記一方の接続構造部の第1の導電型の領域に接続される共通電極と、前記他方の接続構造部の第2の導電型の領域に接続される信号電極とを形成する工程とを有する付記17から19のいずれかに記載の半導体光変調装置の製造方法。
10b 光導波路(出射側)
11 第1の光導波路
11a 接続構造部
11b 接続構造部
12 第2の光導波路
20 光変調導波路
21 接続構造部
21a n型領域
22 接続構造部
22a p型領域
30 共通電極
31 第1の信号電極
32 第2の信号電極
40 上部酸化膜層
41 開口部
50 半導体層
60 基板
61 酸化膜層(下部酸化膜層)
62 空間部
70 電圧信号源
Claims (10)
- 半導体材料により形成されており、入射した光が伝播する光変調導波路と、
前記光変調導波路の側面の両側において、前記光変調導波路の各々の側面と接続されている半導体材料により形成された接続構造部と、
前記光変調導波路及び前記接続構造部の下側に形成された下部酸化膜層と、
前記接続構造部と接している下部酸化膜層の一部を除去することに形成された空間部と、
を有することを特徴とする半導体光変調装置。 - 前記光変調導波路及び前記接続構造部の上側に形成された上部酸化膜層と、
前記上部酸化膜層において、前記接続構造部の上の一部又は全部に形成された開口部と、
を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体光変調装置。 - 前記空間部には、前記下部酸化膜層よりも低い屈折率を有する材料により低屈折率材料層が形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体光変調装置。
- 前記接続構造部は、前記光変調導波路の側面より延びる複数の棒形状のものにより形成されているものであって、
前記光変調導波路と前記接続構造部とは、略同じ厚さで形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の半導体光変調装置。 - 前記接続構造部は、フォトニック結晶により形成されているものであることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の半導体光変調装置。
- 半導体材料により形成されており、入射した光が伝播する光変調導波路と、
前記光変調導波路の側面の両側に形成されており、前記光変調導波路の側面と接続されている半導体材料により形成された接続構造部と、
前記光変調導波路及び前記接続構造部の上側に形成された上部酸化膜層と、
前記上部酸化膜層において、前記接続構造部の上の一部又は全部に形成された開口部と、
を有することを特徴とする半導体光変調装置。 - 前記光変調導波路において光が出射する側に形成された光導波路を有することを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の半導体光変調装置。
- 前記光変調導波路の側面の一方の側に形成された一方の接続構造部は、第1の導電型の領域を有しており、
前記光変調導波路の側面の他方の側に形成された他方の接続構造部は、第2の導電型の領域を有していることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の半導体光変調素子。 - 基板上に下部酸化膜層が形成されており、前記下部酸化膜層の上に半導体層が形成されているものにおいて、前記半導体層の一部を除去することにより、光変調導波路及び前記光変調導波路の側面の両側において接続されている接続構造部を形成する工程と、
前記光変調導波路の側面の一方の側に形成された一方の接続構造部の全部又は一部に、第1の導電型の領域を形成し、他方の側に形成された他方の接続構造部の全部又は一部に、第2の導電型の領域を形成する工程と、
前記光変調導波路及び前記接続構造部の上に、上部酸化膜層を形成する工程と、
前記接続構造部の上の前記上部酸化膜層の全部または一部を除去することにより、開口部を形成する工程と、
前記開口部に対応する部分の前記下部酸化膜層において、前記接続構造部と接している前記下部酸化膜層の一部を除去することにより空間部を形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体光変調装置の製造方法。 - 前記空間部は、気相状態におけるフッ酸により、前記下部酸化膜層の一部を除去することにより形成されるものであることを特徴とする請求項9に記載の半導体光変調装置の製造方法。
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