JP6353474B2 - 光変調器 - Google Patents
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Description
図8は、本発明の第1の実施形態に係るSi光変調器を示す上面透視図である。図8のSi光変調器800は、マッハツェンダ変調器であり、入力光導波路801と、入力光導波路801からの光が分岐されて道破される光導波路802及び803と、光導波路802からの光と光導波路803からの光とを合波する出力光導波路804とを備える。
図11は、本発明の第2の実施形態に係るSi光変調器を示す上面透視図である。図11のSi光変調器1100は、マッハツェンダ変調器であり、入力光導波路1101と、入力光導波路1101からの光が分岐されて導波される光導波路1102及び1103と、光導波路1102からの光と光導波路1103からの光とを合波する出力光導波路1104とを備える。
図12は、本発明の第3の実施形態に係るSi光変調器を示す上面透視図である。図12のSi光変調器1200は、マッハツェンダ変調器であり、入力光導波路1201と、入力光導波路1201からの光が分岐されて道破される光導波路1202及び1203と、光導波路1202からの光と光導波路1203からの光とを合波する出力光導波路1204とを備える。
図13は、本発明の第4の実施形態に係るSi光変調器を示す上面透視図である。図13のSi光変調器1300は、マッハツェンダ変調器であり、入力光導波路1301と、入力光導波路1301からの光が分岐されて道破される光導波路1302及び1303と、光導波路1302からの光と光導波路1303からの光とを合波する出力光導波路1304とを備える。
110、130、910、940 SiO2クラッド層
120、920、930 Si層
101、101−1、101−2、921−1、921−2、931−1、931−2 リブ部
102、102−1、102−2、103、923−1、923−2、924、933−1、933−2、934 スラブ部
121、121−1、121−2、821−1、821−2、1021−1、1021−2、1121−1、1121−2、1221−1、1221−2、1321−1、1321−2 中濃度p型半導体領域
122、122−1、122−2、822−1、822−2、1022−1、1022−2、1122−1、1122−2、1222−1、1222−2、1322−1、1322−2 中濃度n型半導体領域
123、123―1、123−2、823−1、823−2、1023−1、1023−2、1123−1、1123−2、1223−1、1223−2、1323−1、1323−2 高濃度p型半導体領域
124、824、1024、1124、1224、1324 高濃度n型半導体領域
200、800、1000、1100、1200、1300 Si光変調器
221、222、501、502、811、812、1011、1012、1111、1112、1211、1212 RF電極
223、813、814、1013、1014、1113、1114、1115、1213、1313 DC電極
211、212、213、214、801、802、803、804、1001、1002、1003、1004、1101、1102、1103、1104、1201、1202、1203、1204、1301、1302、1303、1304 光導波路
701 構造体
Claims (7)
- RF信号を印加するための2本のRF電極と、
少なくとも1つの給電ラインを有し、前記2本のRF電極の間に、RF信号の伝搬方向に対して配置された少なくとも1つのDC電極と、
前記2本のRF電極と接する2つの第1導電型半導体領域と、
前記DC電極と接する第2導電型半導体領域と、
前記第1導電型半導体領域と前記第2導電型半導体領域の間に形成された光導波路と
を備える光変調器であって、
前記少なくとも1つ以上配置されたDC電極において共振が発生する長さが、前記RF電極に印加されるRF信号の最短波長の1/2より短くなることを特徴とする光変調器。 - 前記DC電極は、少なくとも2つ以上直列に配置され、前記2つ以上のDC電極の最長の長さが、前記RF電極に印加されるRF信号の最短波長の1/2より短くなることを特徴とする請求項1に記載の光変調器。
- 前記少なくとも1つのDC電極端と、前記電極端に最近接する給電ライン接続部の間の長さのうち、最も長いものが、前記RF電極に印加されるRF信号の最短波長の1/2より短くなることを特徴とする請求項1に記載の光変調器。
- 前記少なくとも1つのDC電極内において、隣り合う前記給電ライン間の長さのうちで最も長いものが、前記RF電極に印加されるRF信号の最短波長の1/2より短くなることを特徴とする請求項1に記載の光変調器。
- 前記DC電極と前記第2導電型半導体領域のドーピング範囲が、前記RF信号の伝搬方向に対して2つ以上の領域にそれぞれ分割されている構造を持つことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の光変調器。
- 前記少なくとも1つのDC電極は、複数本の前記給電ラインを備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の光変調器。
- 前記光導波路は、シリコンで形成されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の光変調器。
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