JP2005331812A - 3次元フォトニック結晶構造及びその製造方法 - Google Patents
3次元フォトニック結晶構造及びその製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 第1の基板上にフォトニック結晶形成層と選択エッチング層を持った第1のウエハを形成し、第2の基板上にフォトニック結晶を積層した第2のウエハを形成する。第2のウエハ上に、アライメントマークとフォトニック結晶1層分のパタンを形成する。第1のウエハのフォトニック結晶形成層が、前記第2のウエハ上のパタンと向き合うように、第1と第2のウエハを貼り合わせ、選択エッチングにより、第1のウエハの基板及び選択エッチング層を除去して、第2のウエハ上のパタン上にフォトニック結晶形成層のみ残し、第2のウエハ上のアライメントマークを元に、残したフォトニック結晶形成層の上にフォトニック結晶1層分のパタンを描画し、パタン形成する。
【選択図】 図8
Description
cloning法も完全バンドギャップ形成が困難、SiO2などの絶縁物やポリSiなどの多結晶材料しか使えず、発光デバイス応用で重要なIII-V族半導体単結晶が使えない。人口opalも絶縁体やアモルファスSi,
アモルファスCdSなどの単結晶材料が使えない。レーザー干渉は特定の感光性有機材料しか使えない等欠点がある。
光デバイス向きの3次元フォトニック結晶作製法としては、京都大学の野田、山本らの方法(A)と理研の青木らの方法(B)(特許文献2参照)がある。それについて説明する。
精密位置あわせ、貼りあわせ、選択エッチングを繰り返して3次元構造を形成する。という方法である。
3次元フォトニック結晶10は、2次元フォトニック結晶プレート14aと2次元フォトニック結晶プレート14bと重ね合わせることにより製造するものであるが、その重ね合わせの処理は、マイクロマニュピュレーションによりプローブを利用して行われる。
上述した(A)及び(B)の方法は、現在の光デバイスに主流として使われているIII-V族半導体単結晶が使え、なおかつあらかじめ作製した2次元パタンを積層することから任意の位置に結晶欠陥や発光体を埋め込むことが容易であるということで、冒頭で述べた他の方法よりもデバイス形成上有利である。
I. 図1に示すような、フォトニック結晶形成層と選択エッチング層を持ったウエハをエピタキシャル成長などで用意する。たとえば、ガリウム砒素(GaAs)基板に、選択エッチング層としてアルミニウムガリウム砒素(AlGaAs)、フォトニック結晶形成層にガリウム砒素(GaAs)とする。ガリウム砒素のみ溶解する溶液(例:アンモニア・過酸化水素水混合溶液)とアルミニウムガリウム砒素のみ溶解する溶液(例:バッファード弗酸)を使用して、ガリウム砒素基板、アルミニウムガリウム砒素層を順次溶解していくことにより、フォトニック結晶形成層のガリウム砒素層のみを残すことが出来る。この他、インジウム燐(InP)基板に、選択エッチング層としてインジウムガリウム砒素燐(InGaAsP)、フォトニック結晶形成層としてインジウム燐(InP)という組み合わせや、基板にガリウム砒素、選択エッチング層にアルミニウムガリウム砒素、フォトニック結晶層にインジウムガリウム砒素燐など、基板は溶解するが選択エッチング層は溶解しない、選択エッチング層は溶解するがフォトニック結晶層は溶解しないというウェット、もしくはドライエッチングが可能な組み合わせの材料を使用することが出来る。
IV. 図6に示すように、選択エッチングにより、ウエハの基板、選択エッチング層を除去して、IIで作製した構造上にフォトニック結晶形成層のみ残す。
以上を繰り返して図8のような立体構造を作製する。
Claims (5)
- 第1の基板上にフォトニック結晶形成層と選択エッチング層を持った第1のウエハと、
該第1のウエハのフォトニック結晶形成層に向き合うようにパタンを形成した第2のウエハと、
第1と第2のウエハを貼り合わせ、第1のウエハの基板及び選択エッチング層を除去して、第2のウエハ上のパタン上にフォトニック結晶形成層のみ残し、第2のウエハ上のアライメントマークを元に、残したフォトニック結晶形成層の上に形成されたフォトニック結晶パタンと、
から成る3次元フォトニック結晶構造。 - 第1の基板上にフォトニック結晶形成層と選択エッチング層を持った第1のウエハを形成し、
第2の基板上にフォトニック結晶を積層した第2のウエハを形成し、該第2のウエハ上に、アライメントマークとフォトニック結晶1層分のパタンを形成し、
前記第1のウエハのフォトニック結晶形成層が、前記第2のウエハ上のパタンと向き合うように、第1と第2のウエハを貼り合わせ、
選択エッチングにより、第1のウエハの基板及び選択エッチング層を除去して、第2のウエハ上のパタン上にフォトニック結晶形成層のみ残し、
第2のウエハ上のアライメントマークを元に、残したフォトニック結晶形成層の上にフォトニック結晶1層分のパタンを描画し、パタン形成する
ことから成る3次元フォトニック結晶構造の製造方法。 - 前記第2のウエハ上のパタンの形成は、微細パタンを描画後、ドライエッチングによりウエハ上にパタンを転写することにより行う請求項2に記載の3次元フォトニック結晶構造の製造方法。
- 前記第2のウエハ上のパタンは、選択エッチング層を持った構造上に形成したものである請求項2に記載の3次元フォトニック結晶構造の製造方法。
- 前記第2のウエハに貼り合わせる第1のウエハは、前記アライメントマークと重なる部分のフォトニック結晶形成層を除去した後に貼り合せ、そして、選択エッチングで基板と選択エッチング層を除去した後、前記アライメントマークを基準に、フォトニック結晶パタンと別のアライメントマークを描画する請求項2に記載の3次元フォトニック結晶構造の製造方法。
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- 2004-05-21 JP JP2004151479A patent/JP4186073B2/ja not_active Expired - Fee Related
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