JP4637071B2 - 3次元フォトニック結晶及びそれを用いた機能素子 - Google Patents
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Description
Physical Review Letters,Vol.58,pp.2059,1987年
図2(a)〜図2(d)は各々本発明の実施例1の積層構造を有する3次元フォトニック結晶の層面内(xy断面)の要部概略図である。実施例1の3次元フォトニック結晶は図2(a)〜図2(d)に示した第1の層110〜第4の層140の4層を1周期として構成されている。
図4(a)〜図4(d)は実施例2の積層構造を有する3次元フォトニック結晶の層面内(xy断面)の要部概略図である。実施例2の3次元フォトニック結晶は図4(a)〜図4(d)に示した第1の層510〜第4の層540の4層を1周期として構成されている。
図8(a)〜図8(d)は実施例3の積層構造を有する3次元フォトニック結晶の層面内(xy断面)の要部概略図である。実施例3の3次元フォトニック結晶は図8(a)〜図8(d)に示した第1の層910〜第4の層940の4層を1周期として積層して構成されている。
(実施例4)
図9(a)〜図9(i)は、フォトニック結晶の作製プロセスの実施例4の説明図である。
次にフォトニック結晶の作製プロセスの実施例5について説明する。
次に、本発明による3次元フォトニック結晶を用いた機能素子の実施例を示す。図13(a)、(b)は、本発明による3次元フォトニック結晶中に周期を乱す線状の欠陥を配置した導波路1400を有した機能素子の断面図である。
120 第2の層
130 第3の層
140 第4の層
111 長方格子
113 長方格子
131 長方格子
133 長方格子
510 第1の層
520 第2の層
530 第3の層
540 第4の層
511 長方格子
513 長方格子
531 長方格子
533 長方格子
112 円孔
114 円孔
132 円孔
134 円孔
512 円孔
514 円孔
532 円孔
534 円孔
122 6角柱
142 6角柱
910 第1の層
920 第2の層
930 第3の層
940 第4の層
911 長方格子
913 長方格子
931 長方格子
933 長方格子
912 楕円孔
914 楕円孔
932 楕円孔
934 楕円孔
922 円孔
924 円孔
926 円孔
928 円孔
942 円孔
944 円孔
946 円孔
948 円孔
Claims (13)
- 屈折率周期構造を含む複数の層を周期的に積層した3次元フォトニック結晶であって、
該層面内方向の第1の軸に沿って周期a、該層面内方向であって該第1の軸と直交する第2の軸に沿って周期bを有する長方格子1の各格子点と、該長方格子1を該第1の軸に沿ってa/2且つ該第2の軸に沿ってb/4ずらした位置に形成される長方格子2の各格子点に、第2の媒質より成る孔を有し、該孔以外の領域を第1の媒質で満たした周期構造より成る第1の層と、
該長方格子1を第2の軸に沿って+3b/8ずらした位置に形成され、該第1の軸に沿って周期a、該第2の軸に沿って周期bを有する面心長方格子の各格子点に、第3の媒質からなり積層方向に軸を有する柱状構造と、該柱状構造以外の領域を前記第2の媒質で満たした周期構造より成る第2の層と、
前記第1の層に含まれる周期構造が、層面内方向において該第1の層に対して該第1の軸に沿ってa/2且つ該第2の軸に沿ってb/2ずらした位置に形成される周期構造より成る第3の層と、
前記第2の層に含まれる周期構造が、層面内方向において該第2の層と同じ位置に形成される周期構造より成る第4の層を有し、
該第1の層、第2の層、第3の層、第4の層の順に周期的に積層されていることを特徴とする3次元フォトニック結晶。 - 前記第1、第3の層に形成される孔の層面内の断面形状は円形又は楕円形であることを特徴とする請求項1に記載の3次元フォトニック結晶。
- 前記第2、第4の層の柱状構造は、層面内方向において、前記長方格子1及び前記長方格子2の各格子点と、
該長方格子1を前記第1の軸に沿ってa/2且つ前記第2の軸に沿ってb/2ずらした位置に形成される長方格子3の格子点と、
該長方格子2を前記第1の軸に沿ってa/2且つ前記第2の軸に沿ってb/2ずらした位置に配置した長方格子4の格子点に、
該第2の媒質より成る孔を有し、該孔以外の領域で構成されることを特徴とする請求項1または2に記載の3次元フォトニック結晶。 - 前記第2、第4の層に形成される前記孔の層面内の形状は円形または楕円形であることを特徴とする請求項3に記載の3次元フォトニック結晶。
- 前記第2の層及び前記第4の層内に形成された前記孔の層面内の形状が、前記第1の層及び前記第3の層内に形成された前記孔の層面内の形状と等しいことを特徴とする請求項4に記載の3次元フォトニック結晶。
- 前記柱状構造は、層面内の断面形状が多角形であることを特徴とする請求項1または2に記載の3次元フォトニック結晶。
- 前記第1の媒質と前記第3の媒質は異なる媒質であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の3次元フォトニック結晶。
- 前記第1の媒質と前記第3の媒質が同一の媒質であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の3次元フォトニック結晶。
- 請求項1乃至8のいずれか1項に記載の3次元フォトニック結晶と、該3次元フォトニック結晶の内部に周期欠陥部を有していることを特徴とする機能素子。
- 前記周期欠陥部は、線状の周期欠陥部であり、該線状の周期欠陥部により導波路を形成していることを特徴とする請求項9に記載の機能素子。
- 前記周期欠陥部は孤立した周期欠陥部であり、該孤立した周期欠陥部により共振器を形成していることを特徴とする請求項9に記載の機能素子。
- 前記共振器は発光作用を呈する活性媒質を有していることを特徴とする請求項11に記載の機能素子。
- 請求項1に記載の3次元フォトニック結晶の作製方法であって、基板上に第1の屈折率周期構造を有する層を形成する工程と、該第1の屈折率周期構造を有する層上に薄膜を形成する工程と、該薄膜に第2の屈折率周期構造を該薄膜の膜厚よりも深くエッチングして形成する工程とを用いて作製することを特徴とする3次元フォトニック結晶の作製方法。
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