JP5173386B2 - 3次元フォトニック結晶及び機能素子 - Google Patents
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Description
次に、異方性堆積方法によって、犠牲層1101が形成された基板1100上に、第1の媒質(図中には媒質1と記す)の粒子(スパッタ粒子)を堆積させる。前述した理由によって、溝幅が狭い領域ほど高さが低い構造体が形成される。
150 柱状構造体
201 平坦面
210 第1の構造部分
220 第2の構造部分
230,240 第3の構造部分
Claims (2)
- 第1の媒質により形成された構造体と該第1の媒質よりも屈折率が低い第2の媒質とが3次元方向に周期的に配置されて構成された3次元フォトニック結晶であって、
前記構造体が前記第1の方向に延びる第1層及び第3層と、前記構造体が第2の方向に延びる第2層及び第4層とが、前記第1層から前記第4層の順に積層され、
前記第1層の前記構造体と前記第3層の前記構造体とが、前記第2の方向において半周期ずれて配置され、前記第2層の前記構造体と前記第4層の前記構造体とが前記第1の方向において半周期ずれて配置されており、
前記各層の前記構造体は、前記第1層から前記第4層の積層方向での一端面としての平坦面を有するとともに、
該平坦面に沿った幅及び該平坦面からの高さがそれぞれ第1の幅及び第1の高さである第1の構造部分と、前記幅及び前記高さがそれぞれ前記第1の幅及び前記第1の高さよりも大きい第2の幅及び第2の高さである第2の構造部分と、前記第1及び第2の構造部分の間に設けられ、前記構造体が延びる方向に前記幅及び前記高さが連続的又は段階的に変化する第3の構造部分とを、前記構造体が延びる方向に周期的に有し、
前記第1層から前記第4層における互いに隣接する2層のうち一方の層における前記第1の構造部分での前記平坦面が、他方の層における前記第2の構造部分の前記平坦面とは反対側の面に接していることを特徴とする3次元フォトニック結晶。 - 請求項1に記載の3次元フォトニック結晶のフォトニックバンドギャップ作用を利用して動作することを特徴とする機能素子。
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