JP2005286062A - 加工装置 - Google Patents
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- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 32
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 27
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 33
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 22
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 10
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 4
- 238000012546 transfer Methods 0.000 abstract description 27
- 230000001788 irregular Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 25
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 18
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 13
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 7
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 7
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 6
- 238000001444 catalytic combustion detection Methods 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000013067 intermediate product Substances 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000007943 implant Substances 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012858 packaging process Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/02—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles
- B29C43/021—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles characterised by the shape of the surface
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- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
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- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/02—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles
- B29C43/14—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles in several steps
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- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0002—Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping
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- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/02—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles
- B29C43/021—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles characterised by the shape of the surface
- B29C2043/023—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles characterised by the shape of the surface having a plurality of grooves
- B29C2043/025—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles characterised by the shape of the surface having a plurality of grooves forming a microstructure, i.e. fine patterning
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- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/02—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles
- B29C43/14—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles in several steps
- B29C2043/141—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles in several steps for making single layer articles
- B29C2043/142—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles in several steps for making single layer articles by moving a single mould or the article progressively, i.e. portionwise
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- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C43/36—Moulds for making articles of definite length, i.e. discrete articles
- B29C43/361—Moulds for making articles of definite length, i.e. discrete articles with pressing members independently movable of the parts for opening or closing the mould, e.g. movable pistons
- B29C2043/3615—Forming elements, e.g. mandrels or rams or stampers or pistons or plungers or punching devices
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- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/02—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles
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- Mathematical Physics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
【解決手段】 凹凸のパターンを形成したモールドを、基板上のレジストに接触することによって前記レジストにパターンを転写する加工装置であって、前記レジストを前記基板と前記モールドとの間に供給する手段と、前記モールドを介して紫外線を前記レジストに照射して当該レジストを硬化させるための照明光学系とを有することを特徴とする加工装置を提供する。
【選択図】 図1
Description
以上、本発明の実施の形態を説明してきたが、本発明はこれらの実施の形態に限定されず、その要旨の範囲内において様々な変形及び変更が可能である。
120 照明光学系
150 レジスト供給ノズル
152 供給量制御部
Claims (17)
- 凹凸のパターンを形成したモールドを、基板上のレジストに接触することによって前記レジストにパターンを転写する加工装置であって、
前記レジストを前記基板と前記モールドとの間に供給する手段と、
前記モールドを介して紫外線を前記レジストに照射して当該レジストを硬化させるための照明光学系とを有することを特徴とする加工装置。 - 前記照明光学系は、前記基板の外形を超えた前記紫外線の照射を制限する遮光部を有する請求項1記載の加工装置。
- 前記基板は、それぞれに前記パターンが転写される複数のショットを有し、
前記複数のショットは、前記基板の中央部と周辺部では形状が異なり、
前記照明光学系は、前記基板の周辺部のショットに対応した照射領域を規定する遮光部を有することを特徴とする請求項1記載の加工装置。 - 前記中央部の前記ショットは矩形形状を有し、前記周辺部のショットは前記矩形形状と前記基板の外形とが重なった形状を有し、
前記遮光部は、
前記矩形形状を規定し、画角を制限する第1のアパーチャと、
前記基板の外形を超えた前記紫外線の照射を制限する第2のアパーチャとを有することを特徴とする請求項3記載の加工装置。 - 前記第1のアパーチャと前記第2のアパーチャは実質的に共役に配置されていることを特徴とする請求項4記載の加工装置。
- 前記第1のアパーチャと、前記モールドと前記レジストとの接触面とは実質的に共役に配置されていることを特徴とする請求項4記載の加工装置。
- 前記紫外線が照射されるべき前記基板上のショットに基づいて、前記遮光部を駆動する駆動部を更に有することを特徴とする請求項3記載の加工装置。
- 前記照明光学系は、前記紫外線で前記レジストを均一に照明するためのオプティカルインテグレータを含むことを特徴とする請求項1記載の加工装置。
- 前記照明光学系は、前記ショットの外周を走査する手段を有することを特徴とする請求項3記載の加工装置。
- 前記ショットと前記モールドとを位置合わせするためのアライメント機構を更に有することを特徴とする請求項3記載の加工装置。
- 硬化した前記レジストが前記モールドに付着することを防止する手段を更に有することを特徴とする請求項1記載の加工装置。
- 前記レジストを局所的に硬化させる手段を更に有する請求項1記載の加工装置。
- 凹凸のパターンを形成したモールドを、基板上のレジストに接触することによって前記レジストにパターンを転写する加工装置であって、
前記レジストを前記基板と前記モールドとの間に供給する手段と、
前記供給手段による前記レジストの供給量を制御する制御部とを有し、
前記基板は、それぞれに前記パターンが転写される複数のショットを有し、
前記複数のショットは、前記基板の中央部と周辺部では形状が異なり、
前記制御部は、前記供給手段が前記ショットの面積に対応したレジストを供給するように前記供給量を制御することを特徴とする加工装置。 - 前記基板上の不要なレジストを除去する除去手段を更に有することを特徴とする請求項1乃至13のうちいずれか一項記載の加工装置。
- 前記除去手段は、カッターを含むことを特徴とする請求項14記載の加工装置。
- 前記除去手段は、真空排気手段を含むことを特徴とする請求項14記載の加工装置。
- 請求項1乃至16のうちいずれか一項記載の加工装置を用いてパターンを基板上のレジストに転写するステップと、
前記基板にエッチングを行うステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004096992A JP4481698B2 (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | 加工装置 |
US11/093,067 US7815425B2 (en) | 2004-03-29 | 2005-03-28 | Processing apparatus |
EP05006759A EP1582923B1 (en) | 2004-03-29 | 2005-03-29 | Processing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004096992A JP4481698B2 (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | 加工装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005286062A true JP2005286062A (ja) | 2005-10-13 |
JP2005286062A5 JP2005286062A5 (ja) | 2007-06-07 |
JP4481698B2 JP4481698B2 (ja) | 2010-06-16 |
Family
ID=34879935
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004096992A Expired - Fee Related JP4481698B2 (ja) | 2004-03-29 | 2004-03-29 | 加工装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7815425B2 (ja) |
EP (1) | EP1582923B1 (ja) |
JP (1) | JP4481698B2 (ja) |
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US7815425B2 (en) | 2010-10-19 |
JP4481698B2 (ja) | 2010-06-16 |
EP1582923A2 (en) | 2005-10-05 |
EP1582923B1 (en) | 2012-10-10 |
EP1582923A3 (en) | 2009-09-23 |
US20050212156A1 (en) | 2005-09-29 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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