JP2019021911A - インプリント装置、物品製造方法および、成形装置 - Google Patents
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Abstract
Description
〔第1実施形態〕
図1は、本実施形態に係るインプリント装置100の構成を示す模式図である。ここでは、光硬化法を用いたインプリント装置として、紫外線の照射によって基板W上の未硬化のインプリント材Rを硬化させる紫外線硬化型のインプリント装置100を使用した。ただし、インプリント材Rの硬化方法として、他の波長域の光の照射による方法や、他のエネルギー(例えば、熱)による方法を用いてもよい。また、以下の図においては、基板上のインプリント材に対して照射される紫外線の光軸に平行にZ軸を取り、Z軸に垂直な平面内に互いに直交するX軸およびY軸を取っている。
インプリント材Rは、型Mと接触した状態で硬化される。本実施形態では、調整部112によって、インプリント材Rの型Mとの接触面に対して、硬化のためのエネルギー(紫外線)が当該接触面に均一に供給(照射)されるように供給量が調整される。
紫外線の照射領域は、インプリント材Rへ入射する紫外線を遮断することでも調整できる。図7および図8は、紫外線を遮断する遮断部の例を示す。図7は、可動の複数の遮光板を含む遮断部を示す。遮断部70は、複数の可動遮光板71〜74を有する。遮断部70は、複数の可動遮光板71〜74を用いて、紫外線UVを遮断し、紫外線UVの通過領域75の大きさを調整する。
図9および図10は、図2〜図6に示す照度領域の調整や照度の調整を行うデバイスを説明する図である。図9は、互いに独立駆動する複数のミラー91を有するデジタルマイクロミラーデバイス(DMD)90を示す。図9に示すようにミラー91が配列される。図10は、図9に示すミラー91を駆動する駆動部を示す図である。図10に示すようにミラー91は、駆動部92によって矢印方向に反射面の向きを変更することができる。DMD90は、図10に示すように複数のミラー91を互いに独立駆動させることで照明領域および照明光の照度を変化させることができる。調整部112は、DMD90としてもよく、その他、回折光学素子を用いた機構、プリズムのズーム機構を用いてもよい。
〔第2実施形態〕
〔第3実施形態〕
上記の実施形態は、型(テンプレート、モールド)に予め形成された凹凸状のパターンをウエハ(基板)上のインプリント材に形成する方法であることに対し、本実施形態は、型(平面テンプレート)には凹凸状のパターンが形成されていない。
このように、不図示の調整部を用いて、レジストの型との接触面に対して露光量が均一になるように光を照射することで、レジストの硬化収縮に伴う基板の外周方向への応力や歪みを抑制してパターン欠陥の発生を低減することができる。
インプリント装置を用いて形成した硬化物のパターンは、各種物品の少なくとも一部に恒久的に、或いは各種物品を製造する際に一時的に、用いられる。物品とは、電気回路素子、光学素子、MEMS、記録素子、センサ、或いは、型等である。電気回路素子としては、DRAM、SRAM、フラッシュメモリ、MRAMのような、揮発性或いは不揮発性の半導体メモリや、LSI、CCD、イメージセンサ、FPGAのような半導体素子等が挙げられる。型としては、インプリント用のモールド等が挙げられる。
図13(A)に示すように、絶縁体等の被加工材2zが表面に形成されたシリコンウエハ等の基板1zを用意する。続いて、インクジェット法等により、被加工材2zの表面にインプリント材3zを付与する。ここでは、複数の液滴状になったインプリント材3zが基板上に付与された様子を示している。
以上、本発明の実施の形態を説明してきたが、本発明はこれらの実施の形態に限定されず、その要旨の範囲内において様々な変更が可能である。
110 照明系(出力部)
111 光源
112 調整部
M 型
W 基板
R インプリント材
Claims (12)
- 型を用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記インプリント材を硬化させるエネルギーを出力する出力部と、
前記型と接触した前記インプリント材の前記型との接触面に対して、最初に該接触面の中心から前記エネルギーを供給し、前記出力部から出力された前記エネルギーが前記接触面内で均一に供給されるように、前記接触面に供給される前記エネルギーの供給量を調整する調整部と、を有する、
ことを特徴とするインプリント装置。 - 前記エネルギーは、前記インプリント材を硬化させる光であることを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記調整部は、前記接触面における露光量を調整することを特徴とする請求項2に記載のインプリント装置。
- 前記調整部は、前記接触面に入射する前記光の照度を調整することを特徴とする請求項3に記載のインプリント装置。
- 前記調整部は、前記接触面に対する前記光の照射時間を調整することを特徴とする請求項3または4に記載のインプリント装置。
- 前記調整部は、前記接触面に対する前記光の照射領域を調整することを特徴とする請求項3乃至5のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記調整部は、前記接触面に入射する光を遮断して、前記照射領域を調整する遮光部を有することを特徴とする請求項6に記載のインプリント装置。
- 前記調整部は、前記光の照射領域を前記接触面の中心から外側に向かう方向に拡大することを特徴とする請求項6または7に記載のインプリント装置。
- 前記調整部は、前記光の照射領域を前記接触面の中心を囲む輪帯形状に変化させることを特徴とする請求項8に記載のインプリント装置。
- 前記調整部は、第1調整部および第2調整部を有し、
前記第1調整部は、前記接触面に対する前記光の照射領域を規定し、
前記第2調整部は、前記第1調整部が規定した前記照射領域の範囲において、前記接触面に対する前記光の照射領域を規定する、
ことを特徴とする請求項3乃至8のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 請求項1乃至10のいずれか1項に記載のインプリント装置を用いてパターン形成を基板上に行う工程と、
前記工程で前記パターン形成を行われた前記基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。 - 基板上の成形材を硬化させるエネルギーを出力する出力部と、
前記成形材に型を接触させた状態で、前記成形材と前記型との接触面に対して最初に該接触面の中心から前記エネルギーを供給し、前記出力部から出力された前記エネルギーが前記接触面内で均一に供給されるように、前記接触面に供給される前記エネルギーの供給量を調整する調整部と、を有する、
ことを特徴とする成形装置。
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