JP2005283331A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2005283331A5
JP2005283331A5 JP2004097638A JP2004097638A JP2005283331A5 JP 2005283331 A5 JP2005283331 A5 JP 2005283331A5 JP 2004097638 A JP2004097638 A JP 2004097638A JP 2004097638 A JP2004097638 A JP 2004097638A JP 2005283331 A5 JP2005283331 A5 JP 2005283331A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pdms
substrate
valve
fine
half mold
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004097638A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2005283331A (ja
JP4403000B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2004097638A priority Critical patent/JP4403000B2/ja
Priority claimed from JP2004097638A external-priority patent/JP4403000B2/ja
Publication of JP2005283331A publication Critical patent/JP2005283331A/ja
Publication of JP2005283331A5 publication Critical patent/JP2005283331A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4403000B2 publication Critical patent/JP4403000B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

JP2004097638A 2004-03-30 2004-03-30 マイクロチップ及びマイクロポンプ Expired - Fee Related JP4403000B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004097638A JP4403000B2 (ja) 2004-03-30 2004-03-30 マイクロチップ及びマイクロポンプ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004097638A JP4403000B2 (ja) 2004-03-30 2004-03-30 マイクロチップ及びマイクロポンプ

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2005283331A JP2005283331A (ja) 2005-10-13
JP2005283331A5 true JP2005283331A5 (enExample) 2007-03-29
JP4403000B2 JP4403000B2 (ja) 2010-01-20

Family

ID=35181884

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004097638A Expired - Fee Related JP4403000B2 (ja) 2004-03-30 2004-03-30 マイクロチップ及びマイクロポンプ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4403000B2 (enExample)

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005052752A1 (de) * 2005-11-04 2007-05-10 Clondiag Chip Technologies Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Nachweis von molekularen Wechselwirkungen
KR100691732B1 (ko) 2006-02-22 2007-03-12 재단법인서울대학교산학협력재단 3차원 pdms 구조물 형성 방법
DE112007000722B4 (de) 2006-03-29 2013-07-04 Murata Manufacturing Co., Ltd. Mikropumpe
TW200833950A (en) * 2007-02-09 2008-08-16 Cooler Master Co Ltd A thin film pump
JPWO2008108481A1 (ja) * 2007-03-05 2010-06-17 日本電気株式会社 マイクロチップの流体制御機構
JP5532218B2 (ja) * 2007-09-10 2014-06-25 日本電気株式会社 試料充填装置
US9579653B2 (en) 2008-06-26 2017-02-28 Fujikura Kasei Co., Ltd. Liquid channel device and production method therefor
JP5228797B2 (ja) * 2008-10-28 2013-07-03 藤倉化成株式会社 液体流路装置
CN102150048B (zh) * 2008-10-28 2013-07-10 藤仓化成株式会社 液体流道装置及其制作方法
JP5402262B2 (ja) * 2009-06-05 2014-01-29 株式会社リコー マイクロバルブ及びその製造方法
JP5428624B2 (ja) * 2009-08-03 2014-02-26 株式会社リコー マイクロバルブ及びその製造方法
JP2011232223A (ja) * 2010-04-28 2011-11-17 Power Supply Kk マイクロ流路プレート
DE102011003856B4 (de) 2011-02-09 2020-06-18 Robert Bosch Gmbh Mikrosystem für fluidische Anwendungen sowie Herstellungsverfahren und Benutzungsverfahren für ein Mikrosystem für fluidische Anwendungen
JP6172711B2 (ja) 2012-07-05 2017-08-02 国立研究開発法人理化学研究所 マイクロチップ用の流体制御デバイスおよびその利用
WO2014091334A2 (en) * 2012-12-13 2014-06-19 Koninklijke Philips N.V. Fluidic system with fluidic stop.
US10393101B2 (en) * 2013-08-12 2019-08-27 Koninklijke Philips N.V. Microfluidic device with valve
WO2015163921A1 (en) 2014-04-25 2015-10-29 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Diagnostic cassette
JP5866470B1 (ja) * 2015-05-01 2016-02-17 株式会社朝日Fr研究所 チェックバルブ及びこれを用いたマイクロ化学チップ
KR101768040B1 (ko) * 2016-07-29 2017-08-14 한국과학기술원 랩온어칩용 밸브
KR101824246B1 (ko) * 2017-03-21 2018-01-31 재단법인 대구경북과학기술원 고분자 기판의 선택적 접합방법
KR101888376B1 (ko) * 2017-05-12 2018-08-14 티엔에스(주) 감염성 질병 진단용 유전자칩
KR101910818B1 (ko) 2017-06-02 2018-10-30 대한민국 유전자 판독용 랩온어칩
JP2019002926A (ja) * 2017-06-19 2019-01-10 積水化学工業株式会社 マイクロ流体デバイス及び流体の送液方法
TWI654375B (zh) * 2017-09-29 2019-03-21 研能科技股份有限公司 流體系統
CN108204355A (zh) * 2018-01-12 2018-06-26 长春工业大学 一种三点固支薄膜阀压电泵
JP7214500B2 (ja) * 2019-02-20 2023-01-30 東芝テック株式会社 圧電ポンプ、及び、液体吐出装置
JP7587824B2 (ja) * 2021-02-03 2024-11-21 国立大学法人東京科学大学 マイクロバルブ及びそれを用いたマイクロポンプ

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2005283331A5 (enExample)
US8382452B2 (en) Pump arrangement comprising a safety valve
JP3814132B2 (ja) ポンプ及びその駆動方法
CN103703292A (zh) 单向阀
US20110061526A1 (en) Diaphragm Pump
CN102862944B (zh) 微流体装置,微流体系统和用于输送流体的方法
RU2015123999A (ru) Одноходовой клапан
US20150086397A1 (en) Micropump with separate chamber
CN101424262A (zh) 一种锯齿形流道单向压电微泵
US20130068325A1 (en) Valve, layer structure comprising a first and a second valve, micropump and method of producing a valve
CN110873042B (zh) 一种阀片、阀、微型压电泵及流体输送装置
CN111536256A (zh) 一种多功能阀门组件结构
CN100335784C (zh) 微型薄膜泵
CA2578935A1 (en) Microfluidic check-valve embedded in lcp
CN102762861B (zh) 计量泵
CN113464410B (zh) 一种压力无级可调的大流量压电泵
JP2005140511A (ja) 微量流体制御機構及び該機構を有するマイクロチップ
CN112253843B (zh) 一种基于光固化3d打印制作的高密封性微阀
TW201706529A (zh) 橢圓隔膜閥
KR101132657B1 (ko) 단일 제어 신호에 의해 구동되는 연동형 마이크로 펌프 및 그 제조 방법
CN106979145B (zh) 一种平面型合成射流无阀压电微泵
JP2019078288A (ja) バルブ装置
Zhang et al. Travelling-wave piezoelectric micropump with low resistance microchannel
CN120193983B (zh) 基于无铅压电陶瓷片的无阀门压电微泵
CN203867831U (zh) 一种压电悬臂梁驱动式压电隔膜泵