JP2005276359A - 磁気ヘッド装置、回転ヘッド装置、磁気テープ装置、磁気ディスク装置、磁気記録方法 - Google Patents

磁気ヘッド装置、回転ヘッド装置、磁気テープ装置、磁気ディスク装置、磁気記録方法 Download PDF

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Abstract

【課題】 磁気記録媒体に形成される記録トラックの狭トラック化を可能とする。
【解決手段】 磁気記録媒体に対して走査される磁気ヘッド装置１は、ベース２上に絶縁層３を介して積層された複数の記録ヘッド素子４を備え、複数の記録ヘッド素子４は、磁気ギャップＧを介して突き合わされる一対の磁気コア層２１ａ，２３ａのうち、当該ヘッドの走査方向において先行する側に位置する第１の磁気コア層２３ａのトラック幅方向の寸法が、それとは反対側に位置する第２の磁気コア層２１ａのトラック幅方向の寸法よりも小さくなるように形成され、且つ、隣接する第１の磁気コア層２３ａの端部同士が積層方向から見て所定の幅だけ重なるように積層方向と直交する方向にずらして配置される。
【選択図】 図１

Description

本発明は、複数の記録ヘッド素子を備える磁気ヘッド装置、並びにこれを用いた回転ヘッド装置、磁気テープ装置、磁気ディスク装置、磁気記録方法に関する。
一般に、磁気ヘッドは、コイルに対して記録信号に応じた電流を供給し、このコイルから発生する磁界によって、一対の磁気コアに磁束が流れると共に、磁気ギャップに記録磁界が発生し、この記録磁界を磁気記録媒体に対して印加することで信号の記録を行う。従来、このような磁気ヘッドとしては、磁性材料からなる一対の磁気コアを突き合わすことで磁路が形成されると共に、一対の磁気コアの突合せ面に微小隙間である磁気ギャップが形成され、この磁気コアに磁界発生のためのコイルが巻線されてなる、いわゆるバルク型磁気ヘッドが用いられている。また、近年の記録密度の高密度化に伴って、フェライト等からなる一対の磁気コアの突合せ面に高飽和磁束密度を有する金属磁性薄膜を成膜し、これら金属磁性薄膜を磁気ギャップとなる非磁性膜を介して突き合わせてなる、いわゆるメタル・イン・ギャップ(ＭＩＧ：Metal In Gap)型磁気ヘッドが実用化されている。
ところで、このような磁気ヘッドでは、高記録密度化の要求に応えるために、トラック幅を狭くすると共に、このトラック幅方向の寸法精度の向上が益々重要となってきている。しかしながら、上述した磁気ヘッドでは、微細な加工を施して作製することに限界があり、高記録密度化に対応してトラック幅を狭くすることが非常に困難となっている。
そこで、高記録密度化に対応した磁気ヘッドとして、薄膜形成技術によって基板上に各構成要素が積層されてなる、いわゆる薄膜磁気ヘッドが提案されている。この薄膜磁気ヘッドは、磁気コアやコイル等の各構成要素がメッキ法やスパッタ法、イオンミリング法等の薄膜形成技術により形成されるために、狭トラック化や狭ギャップ化等の微細寸法化が容易であり、小型化して磁気記録媒体に対する記録密度を高めること可能である。
例えば、図１７，図１８及び図１９に示す薄膜磁気ヘッド４００は、基板４０１上に、磁路を形成する下部磁気コア層４０２と上部磁気コア層４０３とが積層されてなる。そして、下部磁気コア層４０２と上部磁気コア層４０３とは、それぞれ磁気記録媒体と対向する媒体対向面４００ａ側の端部に、所定のトラック幅寸法ｗ２’，ｗ１’で突出された突出部４０２ａ，４０３ａを有し、これら突出部４０２ａ，４０３ａが非磁性層４０４を介して互いに突き合わされることで磁気ギャップＧ’が形成されている。また、媒体対向面４００ａからデプス方向に離間した他端部において、下部磁気コア層４０２と上部磁気コア層４０３とが接合されることでバックギャップが形成されている。そして、下部磁気コア層４０２と上部磁気コア層４０３との間には、このバックギャップを中心に巻回された薄膜コイル４０５が非磁性層４０４に埋め込まれた状態で設けられている。そして、この薄膜コイル４０５の内周側の端部及び外周側の端部は、それぞれ媒体対向面４００ａとは反対側に向かって引き延ばされており、ここに、外部回路と接続される外部接続用端子４０５ａ，４０５ｂが設けられている。また、この基板４０１の最上層には、薄膜コイル４０５の外部接続用端子４０５ａ，４０５ｂが外部に臨む部分を除いて全面を被覆するように保護層４０６が設けられている。
以上のような薄膜磁気ヘッド４００では、薄膜形成技術によって基板４０１上に各構成要素が形成されるため、狭トラック化が可能であり、磁気記録媒体の更なる高記録密度化の要求に応えることが可能である。そして、このような薄膜製造プロセスにより作製される薄膜磁気ヘッド４００は、高密度磁気記録装置の記録ヘッドとして、当初はハードディスクドライブ(ＨＤＤ：Hard Disk Drive)等の磁気ディスク装置に利用され、最近ではビデオテープレコーダ(ＶＴＲ:Video Tape Recorder)やテープストリーマ等の磁気テープ装置に利用することが提案されている。
ところで、上述した薄膜磁気ヘッド４００では、基板４０１上に成膜される下部磁気コア層４０２のトラック幅寸法ｗ２’が、この上に成膜される上部磁気コア層４０３のトラック幅寸法ｗ１’よりも大きくなるのが一般的である。
すなわち、上述した薄膜製造プロセスにおいては、例えば図２０に示すように、基板５００上に幅広となる層５０１を成膜し、その上に幅狭となる層５０２を成膜することは容易である。これに対して、図２１に示すように、幅狭となる層５０２の上に幅広となる層５０１を成膜した場合には、この幅広となる層５０１の幅方向の両端部が幅狭となる層５０２の両端部に覆い被さるため、幅広となる層５０２が丸みを帯びた形状となる。この場合、幅広となる層５０２を所望の形状、例えば幅方向に長く直線的に形成することは困難である。
したがって、このような問題を解決するためには、図２２に示すように、幅狭となる層５０２の両側に同じ膜厚となる層５０３を成膜し、この上に幅広となる層５０１を成膜するといった特殊な工程が必要となる。
しかしながら、このような特殊な工程を採用したとしても、幅狭となる層５０２の両側に同じ膜厚となる層５０３を形成することは容易でなく、例えば図２３に示すように、幅狭となる層５０２の両側に、この幅狭となる層５０２よりも膜厚の薄い層５０３が形成された場合には、この上に成膜される幅広となる層５０１は、その幅方向の両端部が下方に折れ曲がった形状となる。逆に、幅狭となる層５０２よりも膜厚の厚い層５０３が形成された場合には、この上に成膜される幅広となる層５０１は、その幅方向の両端部が上方に折れ曲がった形状となってしまう。さらに、図２４に示すように、幅狭となる層５０２と、その幅方向の両側に形成された層５０３との間に隙間５０４が生じる場合もあり、この場合も、幅広となる層５０１を所望の形状に形成することは困難である。
したがって、上述した薄膜磁気ヘッド４００でも、基板４０１上に成膜される下部磁気コア層４０２のトラック幅寸法ｗ２’が上部磁気コア層４０３のトラック幅寸法ｗ１’よりも大きくなっている。
ここで、上述した薄膜製造プロセスにより作製される薄膜磁気ヘッド４００では、磁気ギャップで記録磁界を励起させた際に、下部磁気コア層４０２側よりも先に上部磁気コア層４０３側で磁気飽和が生じることになる。具体的に、上部磁気コア層４０３の先端に位置する突出部４０３ａでは、ギャップ対向面に到達する途中で磁気飽和を起こし、また、起磁力の増加と共に、この磁気飽和領域がギャップ対向面へと移動することになる。薄膜磁気ヘッド４００では、このギャップ対向面での磁気飽和が大きくなると、逆に磁気ギャップから漏れる記録磁界の勾配が小さくなるといった不都合が生じてしまう（例えば、特許文献１を参照。）。
このため、特許文献１では、薄膜磁気ヘッド４００のギャップ長を最小記録磁化ビット長よりも広くすることで、起磁力を上げたとき最初に磁気飽和が生じる領域を上部磁気コア層４０３の先端部からギャップ対向面に到達する途中へと追いやり、磁気ギャップＧ’から漏れる記録磁界の勾配が小さくなるのを防止することが提案されている。
一方、この薄膜磁気ヘッド４００を記録ヘッドとして使用するＨＤＤでは、図２５及び図２６に示すように、サスペンション６００の先端部に取り付けられたヘッドスライダ６０１の後端部に上記薄膜磁気ヘッド４００が搭載され、このヘッドスライダ６０１が図中矢印Ｆ方向に回転する磁気ディスク６０２の信号記録面上を僅かに浮上しながら、薄膜磁気ヘッド４００が磁気ディスク６０２に対して信号の記録を行う。
ここで、薄膜磁気ヘッド４００は、最終的にヘッドスライダ６０１となる基板上に、下部磁気コア層４０２、非磁性層４０４、上部磁気コア層４０３の順で積層されるため、当該ヘッドの走査方向において先行する側（リーディング側という。）に、幅広となる下部磁気コア層４０２が位置し、このリーディング側とは反対側（トレーリング側という。）に、幅狭となる上部磁気コア層４０３が位置することになる。このため、薄膜磁気ヘッド４００では、通常、リーディング側の下部磁気コア層４０２で発生した磁界により記録される記録ビットを、トレーリング側の上部磁気コア層４０３で発生した磁界が記録し直すことにより記録トラックが形成されることになる。したがって、この薄膜磁気ヘッド４００が磁気記録媒体に形成する記録トラックのトラック幅は、上部磁気コア層４０３のトラック幅寸法ｗ１’に強く依存したものとなっている。
上述したように、薄膜製造プロセスにより作製される薄膜磁気ヘッド４００では、高記録密度化の要求に応えるため、そのトラック幅を狭くしようとすると、下部磁気コア層４０２よりも幅狭となる上部磁気コア層４０３のトラック幅寸法ｗ１’が益々幅狭なものとなる。
しかしながら、上部磁気コア層４０３の先端に位置する突出部４０３ａでは、そのトラック幅寸法ｗ１’が狭くなり過ぎると、ギャップ対向面に到達する途中で磁気飽和を起こしてしまい、磁気ギャップＧ’において磁束が集中して分布し難くなるといった現象が発生してしまう。そして、この現象によって薄膜磁気ヘッド４００では、最大記録磁界の減少や、記録磁界分布の劣化、サイドフリンジング磁界による記録滲み等の問題が発生することになる。また、重ね書きを行う場合の特性であるオーバーライト特性が劣化することや、高周波駆動領域での磁気飽和動作が困難になるといった問題も発生することになる。
すなわち、この薄膜磁気ヘッド４００では、上部磁気コア層４０３のトラック幅寸法ｗ１’が狭くなるに従って、上述した特許文献１に示す上部磁気コア層４０３のギャップ対向面に到達する途中で磁気飽和を生じさせるメリットよりも、むしろデメリットの方が多くなる（例えば、特許文献２を参照。）。
このため、特許文献２では、上部磁気コア層４０３を、一端部側が媒体対向面に臨む磁極部分となる磁極部層と、この磁極部層の他端部側に接合されるヨーク部分となる第１のヨーク層及び第２のヨーク層との３つの層に分けると共に、磁極部層の媒体対向面側の端部における幅が、この磁極部層と第１のヨーク層との接合部分の媒体対向面側の端部における幅よりも小さく、且つ、磁極部層と第１のヨーク層との接合部分の媒体対向面側の端部における磁極部層の幅が、この磁極部層と第１のヨーク層との接合部分の媒体対向面側の端部における第１のヨーク層の幅よりも大きくすることが提案されている。
この場合、上部磁気コア層４０３のギャップ対向面に到達する途中で磁気飽和を生じさせずに、この上部磁気コア層４０３のギャップ対向面で磁気飽和を生じさせることが可能である。
しかしながら、この特許文献２に記載される方法では、上部磁気コア層４０３のギャップ対向面で磁気飽和を生じさせる一方で、この幅狭となる上部磁気コア層４０３内を通過する磁束量が少なくなってしまう。これを防ぐためには、上部磁気コア層４０３の断面積（トラック幅×膜厚）を少なくとも一定の値に保つ必要がある。すなわち、この上部磁気コア層４０３のトラック幅寸法ｗ１’を狭くした場合には、そのトラック幅寸法ｗ１’の逆数に比例して膜厚ｓ１’を大きくしなければならない。
したがって、薄膜磁気ヘッド４００では、図２７に示すように、上部磁気コア層４０３の先端に位置する突出部４０３ａのトラック幅寸法ｗ１’を狭くした分だけその膜厚ｓ１’を大きくしなければならないことから、その薄膜製造プロセスにおいて、上部磁気コア層４０３の膜厚に比例した成膜時間を要することとなり、その結果として製造コストが嵩むといった問題が発生してしまう。また、上部磁気コア層４０３の膜厚を大きくするほど、そのトラック幅方向の寸法精度の劣化を招くこととなり、高記録密度化に対応して上部磁気コア層４０３のトラック幅ｗ１’を狭くすることが困難となる（例えば、特許文献３を参照。）。
このため、特許文献３では、上部磁気コア層４０３を、所定のトラック幅寸法で形成された第１の磁性層と、この上に第１の磁性層よりも狭いトラック幅寸法で形成された第２の磁性層との２層構造とすることで、上部磁気コア層４０３のトラック幅精度を改善することが提案されている。
しかしながら、この特許文献３に記載される方法では、上部磁気コア層４０３のトラック幅方向の寸法精度は向上するものの、上述した上部磁気コア層４０３の膜厚ｓ１’が大きくなることによって、製造コストが嵩むといった問題を解決することはできない。
なお、本発明に関連する公知文献としては、例えば下記に示す特許文献４，５がある。
これら特許文献４，５には、上述した薄膜形成技術により複数の記録ヘッド素子をベース上に絶縁層を介して順次積層すると共に、積層した複数の記録ヘッド素子を積層方向と直交する方向にずらして配置した構成が記載されている。
特開平６−２８６２８号公報 特開２０００−２５１２１９号公報 特許第２５７４２６０号公報 特開２００２−２１６３１３号公報 特開２００３−３３８０１２号公報
そこで、本発明は、このような従来の事情に鑑みて提案されたものであり、磁気記録媒体に形成される記録トラックの狭トラック化を可能とすると共に、上部磁気コア層の狭トラック化に伴うギャップ対向面に到達する途中で磁気飽和を生じさせる問題を回避しつつ、上部磁気コア層の膜厚増加に伴うトラック幅方向の寸法精度の劣化の問題を解決することを目的とする。
この目的を達成するために、本発明に係る磁気ヘッド装置は、磁気記録媒体に対して走査される複数の記録ヘッド素子を備え、これら複数の記録ヘッド素子が絶縁層を介してベース上に順次積層されると共に、積層された記録ヘッド素子を積層方向と直交する方向にずらして配置することによって、磁気記録媒体に対して走査された際に、複数の記録ヘッド素子が当該ヘッドの走査方向と直交する方向に並ぶ複数の記録トラックを形成するものであり、複数の記録ヘッド素子は、磁気記録媒体と対向する媒体対向面において、磁気ギャップを介して突き合わされる一対の磁気コア層のうち、当該ヘッドの走査方向において先行する側に位置する第１の磁気コア層のトラック幅方向の寸法が、それとは反対側に位置する第２の磁気コア層のトラック幅方向の寸法よりも小さくなるように形成され、且つ、隣接する記録ヘッド素子の第１の磁気コア層の端部同士が上記積層方向から見て所定の幅だけ重なるように配置されていることを特徴としている。
また、本発明に係る回転ヘッド装置は、回転ドラムと、この回転ドラムに搭載されてヘリカルスキャン方式により磁気テープの走行方向に対して斜めに走査される磁気記録手段とを備え、磁気記録手段は、磁気テープに対して走査される複数の記録ヘッド素子を有し、これら複数の記録ヘッド素子が絶縁層を介してベース上に順次積層されると共に、積層された複数の記録ヘッド素子を積層方向と直交する方向にずらして配置することによって、磁気テープに対して走査された際に、複数の記録ヘッド素子が当該ヘッドの走査方向と直交する方向に並ぶ複数の記録トラックを形成すると共に、複数の記録ヘッド素子は、磁気テープと対向する媒体対向面において、磁気ギャップを介して突き合わされる一対の磁気コア層のうち、当該ヘッドの走査方向において先行する側に位置する第１の磁気コア層のトラック幅方向の寸法が、それとは反対側に位置する第２の磁気コア層のトラック幅方向の寸法よりも小さくなるように形成され、且つ、隣接する記録ヘッド素子の第１の磁気コア層の端部同士が上記積層方向から見て所定の幅だけ重なるように配置されていることを特徴としている。
また、本発明に係る磁気テープ装置は、磁気テープを走行させるテープ走行手段と、このテープ走行手段により走行される磁気テープに対して信号を記録する磁気記録手段とを備え、磁気記録手段は、磁気テープに対して走査される複数の記録ヘッド素子を有し、これら複数の記録ヘッド素子が絶縁層を介してベース上に順次積層されると共に、積層された記録ヘッド素子を積層方向と直交する方向にずらして配置することによって、磁気テープに対して走査された際に、複数の記録ヘッド素子が当該ヘッドの走査方向と直交する方向に並ぶ複数の記録トラックを形成すると共に、複数の記録ヘッド素子は、磁気テープと対向する媒体対向面において、磁気ギャップを介して突き合わされる一対の磁気コア層のうち、当該ヘッドの走査方向において先行する側に位置する第１の磁気コア層のトラック幅方向の寸法が、それとは反対側に位置する第２の磁気コア層のトラック幅方向の寸法よりも小さくなるように形成され、且つ、隣接する記録ヘッド素子の第１の磁気コア層の端部同士が積層方向から見て所定の幅だけ重なるように配置されていることを特徴としている。
また、本発明に係る磁気ディスク装置は、磁気ディスクを回転駆動するディスク回転手段と、このディスク回転手段により回転駆動される磁気ディスクに対して信号を記録する磁気記録手段とを備え、磁気記録手段は、磁気ディスクに対して走査される複数の記録ヘッド素子を有し、これら複数の記録ヘッド素子が絶縁層を介してベース上に順次積層されると共に、積層された記録ヘッド素子を積層方向と直交する方向にずらして配置することによって、磁気ディスクに対して走査された際に、複数の記録ヘッド素子が当該ヘッドの走査方向と直交する方向に並ぶ複数の記録トラックを形成すると共に、複数の記録ヘッド素子は、磁気ディスクと対向する媒体対向面において、磁気ギャップを介して突き合わされる一対の磁気コア層のうち、当該ヘッドの走査方向において先行する側に位置する第１の磁気コア層のトラック幅方向の寸法が、それとは反対側に位置する第２の磁気コア層のトラック幅方向の寸法よりも小さくなるように形成され、且つ、隣接する記録ヘッド素子の第１の磁気コア層の端部同士が積層方向から見て所定の幅だけ重なるように配置されていることを特徴としている。
また、本発明に係る磁気記録方法は、磁気記録媒体に対して走査される複数の記録ヘッド素子をベース上に絶縁層を介して順次積層すると共に、積層された記録ヘッド素子を積層方向と直交する方向にずらして配置することによって、磁気記録媒体に対して走査された際に、複数の記録ヘッド素子が当該ヘッドの走査方向と直交する方向に並ぶ複数の記録トラックを形成するに際して、複数の記録ヘッド素子を、磁気記録媒体と対向する媒体対向面において、磁気ギャップを介して突き合わされる一対の磁気コア層のうち、第１の磁気コア層のトラック幅方向の寸法が、第２の磁気コア層のトラック幅方向の寸法よりも小さくなるように形成し、且つ、隣接する記録ヘッド素子の第１の磁気コア層の端部同士が積層方向から見て所定の幅だけ重なるように配置し、複数の記録ヘッド素子を磁気記録媒体に対して走査する際に、第１の磁気コア層を当該ヘッドの走査方向において先行する側に位置させることを特徴としている。
以上のように、本発明では、複数の記録ヘッド素子が磁気記録媒体に対して当該ヘッドの走査方向と直交する方向に並ぶ複数の記録トラックを形成するとき、先に書き込まれる記録トラックに次に書き込まれる記録トラックが所定の幅だけ重ね書きされることによって、各記録ヘッド素子が形成する記録トラックのトラック幅よりも狭い記録トラックを磁気記録媒体に精度良く形成することができる。
一方、本発明では、磁気記録媒体に形成される記録トラックのトラック幅を狭くすることとは別に、各記録ヘッド素子の第１の磁気コア層のトラック幅方向の寸法を大きくすることが可能である。したがって、第１の磁気コア層のギャップ対向面に到達する途中で磁気飽和を生じさせずに、第１の磁気コア層のギャップ対向面で磁気飽和を生じさせることが可能である。これにより、複数の記録ヘッド素子において、より小さな起磁力で磁界強度の大きい記録磁界を発生させることが可能である。
さらに、第１の磁気コア層は、その断面積を一定に保つ必要があるが、第１の磁気コア層のトラック幅方向の寸法を大きくすることによって、逆に第１の磁気コア層の積層方向の寸法、すなわち膜厚を小さくすることが可能である。これにより、トラック幅方向の寸法精度の劣化を防ぐと共に、製造プロセスを容易化し、製造コストを下げることが可能である。
また、本発明では、第１の磁気コア層のトラック幅方向の寸法を大きくすることによって、当該第１の磁気コア層がギャップ対向面で磁気飽和を生じさせることになるが、第２の磁気コア層のギャップ対向面での磁気飽和は、当該第１の磁気コア層の磁気飽和ほど顕著なものとならない。したがって、各記録ヘッド素子の第１の磁気コア層を当該ヘッドの走査方向において先行する側に位置させることによって、この第１の磁気コア層で発生した記録磁界によって記録される記録ビットを、第２の磁気コア層で発生した記録磁界が記録し直すことになる。これにより、記録磁界強度を大きくしながら、磁気ギャップから漏れる記録磁界の勾配の劣化を抑えることが可能である。
以下、本発明を適用した磁気ヘッド装置、回転ヘッド装置、磁気テープ装置、磁気ディスク装置、磁気記録方法について図面を参照しながら詳細に説明する。
なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために、特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率が実際と同じであるとは限らない。
先ず、本発明を適用した磁気ヘッド装置及びこれを用いた磁気記録方法について説明する。
図１に示すように、本発明を適用した磁気ヘッド装置１は、例えばメッキ法やスパッタ法、イオンミリング法等の薄膜形成技術によってベースとなる第１の非磁性基板２上に、絶縁層３を介して複数の記録ヘッド素子４が順次積層され、この上に絶縁層３を介して第２の非磁性基板５が貼り付けられた構造を有する、いわゆるマルチ薄膜磁気記録ヘッドである。なお、この記録ヘッド素子４の積層数については任意であり、ここでは、４つの記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを備えた４チャンネルのマルチ薄膜磁気記録ヘッドを例に挙げて説明する。
複数の記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄは、図２乃至図５に示すインダクティブ型の薄膜磁気ヘッド２０であり、この薄膜磁気ヘッド２０は、上述した薄膜形成技術によって各構成要素が形成されるため、狭トラック化が可能であり、更なる磁気記録媒体の高記録密度化に対応することが可能である。
具体的に、この薄膜磁気ヘッド２０は、第１の非磁性基板２側から、下部磁気コア層２１、非磁性層２２、上部磁気コア層２３の順で積層されてなる。下部磁気コア層２１と上部磁気コア層２３とは、それぞれ磁気記録媒体と対向する媒体対向面２０ａに臨む突出部２１ａ，２３ａを有している。そして、これら突出部２１ａ，２３ａが非磁性層２２を介して互いに突き合わされることで、これらの突合せ面に微小隙間である磁気ギャップＧが形成されている。これにより、薄膜磁気ヘッド２０は、この磁気ギャップＧから漏れる記録磁界をトラック幅方向に狭くすることが可能であり、微細な記録ビットを磁気記録媒体の記録トラック上に記録することが可能である。
一方、下部磁気コア層２１と上部磁気コア層２３とは、媒体対向面２０ａからデプス方向に離間した他端側で接合されることによって磁路を形成している。そして、下部磁気コア層２４と上部磁気コア層２５との間には、この接合部分であるバックギャップを中心に巻回された薄膜コイル２４が非磁性層２２に埋め込まれた状態で設けられている。
この薄膜コイル２４の内周側の端部及び外周側の端部は、それぞれ媒体対向面２０ａとは反対側に向かって引き延ばされた引き出し導線２５ａ，２５ｂの一端と接続されている。そして、これら引き出し導線２５ａ，２５ｂの他端部には、薄膜コイル２４に対して記録信号に応じた電流を供給する外部回路と接続するための外部接続用端子２６ａ，２６ｂが設けられている。
なお、この磁気ヘッド装置１は、隣接する記録ヘッド素子４の間を磁気的にシールドする磁気シールド層を各記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの間に介在させた構造とすることも可能である。
以上のような薄膜磁気ヘッド２０から構成される複数の記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄは、磁気記録媒体と対向する媒体対向面２０ａにおいて、磁気ギャップＧを介して突き合わされる一対の磁気コア層２１，２３のうち、上部磁気コア層２３の突出部２３ａのトラック幅方向の寸法ｗ１が、下部磁気コア層２１の突出部２１ａのトラック幅方向の寸法ｗ２よりも小さく、且つ、後述する磁気記録媒体に形成される記録トラックＴｒ１，Ｔｒ２，Ｔｒ３，Ｔｒ４のトラック幅Ｔｗ１，Ｔｗ２，Ｔｗ３，Ｔｗ４よりも大きくなるように形成されている。また、これら複数の記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄは、互いに隣接するヘッド同士の上部磁気コア層２３の突出部２３ａが、積層方向から見て所定の幅ＯＬ１，ＯＬ２，ＯＬ３，ＯＬ４だけ重なるように、その積層方向と直交する方向、すなわちトラック幅方向にずらして配置されている。
以上のように構成される磁気ヘッド装置１を用いた磁気記録方法では、図１に示すように、この磁気ヘッド装置１を磁気記録媒体に対して走査する際に、当該ヘッドの走査方向において、各記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの上部磁気コア層２３が下部磁気コア層２１よりも先行する側に位置するように配置する。
すなわち、この磁気ヘッド装置１では、磁気記録媒体に対して走査される複数の記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄにおける上部磁気コア層２３の突出部２３ａが、当該ヘッドの走査方向において先行する側（リーディング側という。）に位置する第１の磁気コア層２３ａを形成し、下部磁気コア層２１の突出部２１ａが、リーディング側とは反対側（トレーリング側という。）に位置する第２の磁気コア層２１ａを形成することになる。
そして、この磁気ヘッド装置１は、外部回路から複数の記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの薄膜コイル２４に対して記録信号に応じた電流が供給されると、この薄膜コイル２４から発生する磁界によって、一対の磁気コア層２１，２３に磁束が流れると共に、磁気ギャップＧに記録磁界が発生する。そして、この記録磁界を磁気テープ３に対して印加していくことで、記録信号に応じた記録ビットが記録された記録トラックを形成することになる。
また、この磁気ヘッド装置１は、磁気記録媒体に対して走査された際に、これら複数の記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄが当該ヘッドの走査方向と直交する方向に並ぶ複数の記録トラックＴｗ１，Ｔｗ２，Ｔｗ３，Ｔｗ４を形成することになる。
具体的に、この磁気ヘッド装置１では、その積層方向から見て、当該ヘッドの走査方向に対して先行する側からｎ番目（ｎは、１以上の整数を表す。）に位置する記録ヘッド素子４ｎの第１の磁気コア層２３ａと、ｎ＋１番目に位置する記録ヘッド素子４ｎ＋１の第２の磁気コア層２１ａとが、それぞれ一定の幅ＯＬｎだけ重なる（オーバーラップする）ように配置されている。
したがって、最も先行する１番目の記録ヘッド素子４ａによって形成される記録トラックＴｒ１は、上述した上部磁気コア層２３の突出部（第１の磁気コア層）２３ａのトラック幅方向の寸法ｗ１とほぼ一致した幅Ｗ１で形成された後に、２番目の記録ヘッド素子４ｂによって形成される記録トラックＴｒ２によって所定の幅ＯＬ１だけ重ね書きされるため、この１番目の記録ヘッド素子４ａによって最終的に記録される記録トラックＴｒ１のトラック幅Ｔｗ１は、下記１に示す値となる。
Ｔｗ１＝Ｗ１−ＯＬ１ …（１）
同様にして、２，３番目の記録ヘッド素子４ｂ，４ｃによって形成される記録トラックＴｒ２，Ｔｒ３は、上述した上部磁気コア層２３の突出部（第１の磁気コア層）２３ａのトラック幅方向の寸法ｗ１とほぼ一致した幅Ｗ２，Ｗ３で形成された後に、それぞれ３，４番目の記録ヘッド素子４ｃ，４ｄによって形成される記録トラックＴｒ３，Ｔｒ４によって所定の幅ＯＬ２，ＯＬ３だけ重ね書きされるため、この２，３番目の記録ヘッド素子４ｂ，４ｃによって最終的に記録される記録トラックＴｒ２，Ｔｒ３のトラック幅Ｔｗ２，Ｔｗ３は、下記（２），（３）に示す値となる。
Ｔｗ２＝Ｗ２−ＯＬ３ …（２）
Ｔｗ３＝Ｗ３−ＯＬ３ …（３）
また、４番目の記録ヘッド素子４ｄによって形成される記録トラックＴｒ４は、上述した上部磁気コア層２３の突出部（第１の磁気コア層）２３ａのトラック幅方向の寸法ｗ１とほぼ一致した幅Ｗ４で形成された後に、次に走査される磁気ヘッド装置１の１番目の記録ヘッド素子４ａによって形成される記録トラックＴｒ１によって所定の幅ＯＬ４だけ重ね書きされるため、この４番目の記録ヘッド素子４ｄによって最終的に記録される記録トラックＴｒ４のトラック幅Ｔｗ４は、下記（４）に示す値となる。
Ｔｗ４＝Ｗ４−ＯＬ４ …（４）
ここで、各記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄによって最終的に記録される記録トラックのトラック幅Ｔｗ１，Ｔｗ２，Ｔｗ３，Ｔｗ４を互いに一致したトラック幅Ｔｗとするためには、下記に示す関係式（５），（６），（７），（８）を満足する必要がある。
Ｗ１＝Ｔｗ−ＯＬ１ …（５）
Ｗ２＝Ｔｗ−ＯＬ２ …（６）
Ｗ３＝Ｔｗ−ＯＬ３ …（７）
Ｗ４＝Ｔｗ−ＯＬ４ …（８）
すなわち、この関係式を満足することによって、ｎ番目に位置する記録ヘッド素子４ｎの第１の磁気コア層２３ａのトラック幅方向の寸法Ｗｎから、ｎ番目に位置する記録ヘッド素子４ｎの第１の磁気コア層２３ａと、ｎ＋１番目に位置する記録ヘッド素子４ｎ＋１の第１の磁気コア層２３ａとの積層方向から見て重なる部分のトラック幅方向の寸法ＯＬｎを引いた値を、全ての記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄにおいて一致した値とすることができる。なお、この場合、磁気記録媒体に形成される記録トラックＴｒ１，Ｔｒ２，Ｔｒ３，Ｔｒ４は、そのトラック幅Ｔｗ１，Ｔｗ２，Ｔｗ３，Ｔｗ４とトラックピッチＴｐとが一致した幅で形成されることになる。
以上のようにして、この磁気ヘッド装置１では、複数の記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄが磁気記録媒体に対して当該ヘッドの走査方向と直交する方向に並ぶ複数の記録トラックＴｒ１，Ｔｒ２，Ｔｒ３，Ｔｒ４を形成するとき、先に書き込まれる記録トラックＴｒｎに次に書き込まれる記録トラックＴｒｎ＋１が所定の幅ＯＬｎだけ重ね書きされることによって、各記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄが形成する記録トラックのトラック幅Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４よりも狭い記録トラックＴｗ１，Ｔｗ２，Ｔｗ３，Ｔｗ４を磁気記録媒体に精度良く形成することが可能である。
一方、この磁気ヘッド装置１では、磁気記録媒体に形成される記録トラックＴｒｎのトラック幅Ｔｗｎを狭くすることとは別に、各記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの第１の磁気コア層２３ａのトラック幅方向の寸法ｗ１を大きくすることが可能である。したがって、第１の磁気コア層２３ａのギャップ対向面に到達する途中で磁気飽和を生じさせずに、第１の磁気コア層２３ａのギャップ対向面で磁気飽和を生じさせることが可能である。これにより、複数の記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄにおいて、より小さな起磁力で磁界強度の大きい記録磁界を発生させることが可能である。
さらに、この磁気ヘッド装置１では、図５に示すように、第１の磁気コア層（上部磁気コア層２３の突出部）２３ａのトラック幅方向の寸法ｗ１を広げることによって、逆に第１の磁気コア層２３ａの積層方向の寸法（膜厚）ｓ１を小さくすることが可能である。すなわち、各記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを構成する薄膜磁気ヘッド２０では、上部磁気コア層２３の突出部２３ａにおけるトラック幅方向の寸法ｗ１を積層方向の寸法（膜厚）ｓ１よりも長くした略矩形の形状とすることが可能である。これにより、磁気ヘッド装置１では、トラック幅精度の劣化を防ぐと共に、製造プロセスを容易化し、製造コストを下げることが可能である。
また、この磁気ヘッド装置１では、第１の磁気コア層２３ａのトラック幅方向の寸法ｗ１を大きくすることによって、当該第１の磁気コア層２３ａがギャップ対向面で磁気飽和を生じさせることになるが、第２の磁気コア層２１ａのギャップ対向面での磁気飽和は、当該第１の磁気コア層２３ａの磁気飽和ほど顕著なものとならない。したがって、各記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの第１の磁気コア層２３ａを当該ヘッドの走査方向において先行する側に位置させることによって、先行する第１の磁気コア層２３ａで発生した記録磁界によって記録される記録ビットを、後追いする第２の磁気コア層２１ａで発生した記録磁界が記録し直すことになる。これにより、記録磁界強度を大きくしながら、磁気ギャップＧから漏れる記録磁界の勾配の劣化を抑えることが可能である。
ここで、上記薄膜磁気ヘッド２０の起磁力に対する記録磁界強度の最大値をシミュレーションにより算出した算出結果を図６に示す。
なお、図６に示すグラフでは、上記薄膜磁気ヘッド２０の一対の磁気コア層２１，２３にＮｉＦｅを用い、第１の磁気コア層（上部磁気コア層２３の突出部）２３ａのトラック幅方向の寸法ｗ１を２μｍとし、積層方向の寸法（膜厚）ｓ１を２．５μｍとし、薄膜コイル２４の巻数を１０ターンとして計算を行い、起磁力が４０，６０，８０ｍＡｐｐとなる場合の各記録磁界強度の最大値を求めたものである。なお、ＮｉＦｅの飽和磁束密度は、約０．９Ｔ（テスラ）である。
図６に示すグラフから、起磁力を４０ｍＡｐｐから８０ｍＡｐｐまで増加させても、記録磁界強度の最大値が僅か２５０Ｏｅ程度しか増加しないことがわかる。したがって、例えば記録磁界強度の最大値を４０００Ｏｅ以上とするためには、少なくとも７０ｍＡｐｐ以上の起磁力が必要である。
この起磁力の増加に対して記録磁界強度の最大値の増加が僅かなのは、第１の磁気コア層２３ａのトラック幅方向の寸法ｗ１が膜厚ｓ１よりも短くなることによって、この第１の磁気コア層２３ａの断面積（ｗ１×ｓ１）が小さくなり、その結果、第１の磁気コア層２３ａのギャップ対向面に到達する途中で磁気飽和が生じるためである。
次に、起磁力を４０ｍＡｐｐに固定したまま、第１の磁気コア層２３ａのトラック幅方向の寸法ｗ１を２，３，４μｍと変化させたときの記録磁界強度の最大値をシミュレーションにより算出した算出結果を図７に示す。
図７に示すグラフから、第１の磁気コア層２３ａのトラック幅方向の寸法ｗ１を大きくすると、上述した図６に示す起磁力に対する記録磁界強度の最大値の増加よりも、その記録磁界強度の最大値の増加が顕著となることがわかる。例えば記録磁界強度の最大値を４０００Ｏｅ以上とするためには、起磁力を４０ｍＡｐｐとしたまま、第１の磁気コア層２３ａのトラック幅方向の寸法ｗ１を２μｍから３μｍに増加させるだけでよい。
したがって、上記磁気ヘッド装置１では、各記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの第１の磁気コア層２３ａのトラック幅方向の寸法ｗ１を積層方向の寸法（膜厚）ｓ１よりも長くすることが可能なことから、小さな起磁力でより大きな記録磁界を発生させることが可能である。これにより、各記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの消費電力を小さく抑えることも可能である。
次に、起磁力を４０ｍＡｐｐに固定したまま、第１の磁気コア層２３ａのトラック幅方向の寸法ｗ１を２，３，４μｍと変化させたとき、記録磁界が１８００Ｏｅとなる場合の磁気勾配をシミュレーションにより算出した算出結果を図８に示す。
図８に示すグラフから、第１の磁気コア層２３ａのトラック幅方向の寸法ｗ１を大きくしても、記録磁界の磁気勾配がほとんど劣化せずに一定となることがわかる。これは、上記特許文献１に記載される場合とは異なり、第１の磁気コア層２３ａをリーディング側に位置させることによって、記録磁界の磁気勾配が、このリーディング側の上部磁気コア層２３ａで発生した記録磁界よりもトレーリング側の下部磁気コア層２１ａで発生した記録磁界に強く依存することによる。
次に、起磁力を４０ｍＡｐｐに固定したまま、第１の磁気コア層２３ａのトラック幅方向の寸法ｗ１を２，３，４μｍと変化させたとき、第１の磁気コア層２３ａと第２の磁気コア層２３ｂとのギャップ対向面近傍における内部の磁気飽和をシミュレーションにより算出した算出結果を図９に模式的に示す。
図９に示す結果から、第１の磁気コア層２３ａのトラック幅方向の寸法ｗ１を大きくすることによって、上部磁気コア層２３ａのギャップ対向面に到達する途中で生じていた磁気飽和が解消され、この上部磁気コア層２３ａのギャップ対向面で磁気飽和が大きくなることがわかる。すなわち、第１の磁気コア層２３ａのトラック幅方向の寸法ｗ１を大きくすることによって、当該第１の磁気コア層２３ａがギャップ対向面で磁気飽和を生じさせることになるが、第２の磁気コア層２１ａのギャップ対向面での磁気飽和は、当該第１の磁気コア層２３ａの磁気飽和ほど顕著なものとならない。
したがって、上記磁気ヘッド装置１では、各記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの第１の磁気コア層２３ａをリーディング側に位置させることによって、記録磁界強度を大きくしながら、磁気ギャップＧから漏れる記録磁界の勾配の劣化を抑えることが可能である。
次に、上記磁気ヘッド装置１を磁気記録手段として用いる回転ヘッド装置及び磁気テープ装置について説明する。
図１０に示すように、本発明を適用した磁気テープ装置１０１は、いわゆるヘリカルスキャン方式によって、例えば２リールタイプのテープカートリッジ１０２に収納された磁気記録媒体である磁気テープ１０３に対して情報信号の記録／再生を行うものであり、テープカートリッジ１０２は、この磁気テープ装置１０１に対して着脱可能とされている。また、テープカートリッジ１０２には、磁気テープ１０３を供給するための供給リール１０４と、この供給リール１０４から供給された磁気テープ１０３を巻き取るための巻取リール１０５とが回転可能に設けられている。
磁気テープ装置１０１は、テープカートリッジ１０２が着脱される装置本体１０６を備え、この装置本体１０６には、テープカートリッジ１０２のローディング時に供給リール１０４と巻取リール１０５との間で磁気テープ１０３の引き回しを行う複数のガイドローラ１０７ａ〜１０７ｆが設けられている。
また、ガイドローラ１０７ｅとガイドローラ１０７ｆとの間には、テープ走行手段として、磁気テープ１０３が掛け合わされるピンチローラ１０８と、このピンチローラ１０８と共に磁気テープ１０３を挟み込むキャップスタン１０９と、このキャップスタン１０９を回転駆動するキャップスタンモータ１０９ａとが設けられている。そして、磁気テープ１０３は、ピンチローラ１０８とキャップスタン１０９との間に挟み込まれた状態で、キャップスタンモータ１０９ａによりキャップスタン１０９が図１０中矢印Ａ方向に回転駆動されることによって、図１０中矢印Ｂ方向に一定の速度及び張力で走行するようになされている。また、ガイドローラ１０７ｃとガイドローラ１０７ｄとの間には、本発明を適用した回転ヘッド装置１１０が設けられている。
この回転ヘッド装置１１０は、図１０及び図１１に示すように、磁気記録手段である一対の記録ヘッド１１１ａ，１１ｂと、磁気再生手段である一対の再生ヘッド１１２ａ，１１２ｂと、これら記録ヘッド及び再生ヘッドが搭載されるヘッドドラム１１３とを備えている。一方、上述した複数のガイドローラ１０７ａ〜１０７ｆによってテープカートリッジ１０２から引き出された磁気テープ１０３は、このヘッドドラム１１３に略１８０゜の角度範囲でヘリカル状に巻き付けられた状態で、図１１中矢印Ｂ方向に走行されることになる。
具体的に、ヘッドドラム１１３は、上下方向に組み合わされた一組の回転ドラム１１４及び固定ドラム１１５と、回転ドラム１１４を回転駆動する駆動モータ１１６とを備え、互いの中心軸を一致させた状態で装置本体１０６のベースに対してやや斜めに傾斜した状態で配置されている。
このうち、下ドラムを構成する固定ドラム１１５は、装置本体１０６のベースに固定支持されており、その円筒状の外周面には、磁気テープ１０３を案内するリードガイド１１７が形成されている。磁気テープ１０３は、このリードガイド１１７に沿って回転ドラム１１４の回転方向に対して斜めに走行される。
一方、上ドラムを構成する回転ドラム１１４は、中心軸を一致させた略同径の固定ドラム１１５に対して回転可能に支持されると共に、固定ドラム１１５の下方に配置された駆動モータ１１６によって、図１０及び図１１中矢印Ｃ方向に回転駆動される。そして、この回転ドラム１１４の固定ドラム１１５と対向する側の外周部には、磁気テープ１０３に対して信号の記録動作を行う一対の記録ヘッド１１１ａ，１１１ｂと、磁気テープ１０３に対して信号の再生動作を行う一対の再生ヘッド１１２ａ，１１２ｂとが取り付けられている。
一対の記録ヘッド１１１ａ，１１１ｂは、回転ドラム１１４の回転中心に対して互いになす中心角が１８０°となる位置において互いに対向配置されている。そして、これら一対の記録ヘッド１１１ａ，１１１ｂは、それぞれの記録ギャップ（磁気ギャップ）が回転ドラム１１４の外周面から外部に臨んで設けられている。
これら一対の記録ヘッド１１１ａ，１１１ｂには、上記磁気ヘッド装置１が用いられている。すなわち、これら一対の記録ヘッド１１１ａ，１１１ｂは、図１に示すように、磁気テープ１０３に対して走査される複数の記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを備え、これら複数の記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄが絶縁層３を介して第１の非磁性基板２上に順次積層され、この上に絶縁層３を介して第２の非磁性基板５が貼り付けられた構造を有している。また、複数の記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄは、磁気テープ１０３と対向する媒体対向面において、磁気ギャップＧを介して突き合わされる一対の磁気コア層２１，２３のうち、上部磁気コア層２３の突出部２３ａのトラック幅方向の寸法ｗ１が、下部磁気コア層２１の突出部２１ａのトラック幅方向の寸法ｗ２よりも小さく、且つ、後述する磁気テープに形成される記録トラックＴｒ１，Ｔｒ２，Ｔｒ３，Ｔｒ４のトラック幅Ｔｗ１，Ｔｗ２，Ｔｗ３，Ｔｗ４よりも大きくなるように形成されている。また、これら複数の記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄは、互いに隣接するヘッド同士の上部磁気コア層２３の突出部２３ａが、積層方向から見て所定の幅ＯＬ１，ＯＬ２，ＯＬ３，ＯＬ４だけ重なるように、その積層方向と直交する方向、すなわちトラック幅方向にずらして配置されている。
なお、上記一対の記録ヘッド１１１ａ，１１１ｂを構成する４つの記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄのうち、１，３番目の記録ヘッド４ａ，４ｃは、その磁気ギャップＧが当該ヘッドの走査方向と直交する方向に対して所定のアジマス角に応じて斜めとなるように配置されている。一方、２，４番目の記録ヘッド素子４ｂ，４ｄは、その記録ギャップが当該ヘッドの走査方向と直交する方向に対して、１，３番目の記録ヘッド素子４ａ，４ｃとは逆向き且つ所定のアジマス角に応じて斜めとなるように配置されている。すなわち、１，３番目の記録ヘッド素子４ａ，４ｃと２，４番目の記録ヘッド素子４ｂ，４ｄとは、互いのアジマス角の傾ける向きが逆向きとなるように設定されている。
これに対して、一対の再生ヘッド１１２ａ，１１２ｂは、図１０及び図１１に示すように、回転ドラム１４の回転中心に対して互いになす中心角が１８０°となる位置において互いに対向配置されている。また、これら一対の再生ヘッド１１２ａ，１１２ｂは、一対の記録ヘッド１１１ａ，１１１ｂに対して位相を９０゜だけずらした位置に配置されている。そして、これら一対の再生ヘッド１１２ａ，１１２ｂは、それぞれの再生ギャップが回転ドラム１４の外周面から外部に臨んで設けられている。
これら一対の再生ヘッド１１２ａ，１１２ｂには、図１２に示す磁気ヘッド装置１２１が用いられている。この磁気ヘッド装置１２１は、例えばメッキ法やスパッタ法、イオンミリング法等の薄膜形成技術によってベースとなる第１の非磁性基板１２２上に、一対の磁気シールド層１２３の間に絶縁層１２４を介して磁気抵抗効果素子（以下、ＭＲ素子という。）１２５が挟み込まれてなる複数の再生ヘッド素子１２６ａ，１２６ｂ，１２６ｃ，１２６ｄが順次積層され、この上に第２の非磁性基板１２７が貼り付けられた構造を有する、いわゆるマルチ薄膜磁気再生ヘッドである。なお、この再生ヘッド素子の積層数については任意であり、ここでは、４つの再生ヘッド素子１２６ａ，１２６ｂ，１２６ｃ，１２６ｄを備えた４チャンネルのマルチ薄膜磁気再生ヘッドを例に挙げて説明する。
複数の再生ヘッド素子１２６ａ，１２６ｂ，１２６ｃ，１２６ｄは、図１３に示す磁気抵抗効果型磁気ヘッド（以下、ＭＲヘッドという。）１４０であり、このＭＲヘッド１４０は、上述した薄膜形成技術によって各構成要素が形成されるため、狭トラック化が可能であり、更なる磁気記録媒体の高記録密度化に対応することが可能である。
具体的に、このＭＲヘッド１４０は、磁気テープ１０３からの信号磁界のうち、再生対象外の磁界がＭＲ素子１２５に引き込まれないように、上述した上下一対の磁気シールド層１２３，１２３の間に絶縁層１２４を介してＭＲ素子１２５が挟み込まれた構造を有し、ＭＲ素子１２５に対してセンス電流を流しながら、このセンス電流の電圧変化を検出することにより、磁気テープ１０３に記録された信号を読み取るようになされている。
ＭＲ素子１２５としては、例えば異方性磁気抵抗効果を利用したＭＲ素子や、ＳＡＬ(Soft Adjacent Layer)バイアス方式を利用したＭＲ素子、より大きな出力が得られるスピンバルブ膜等の巨大磁気抵抗効果（GMR:Giant MagnetroResistivity）を利用したＧＭＲ素子等を用いることができる。
また、このＭＲ素子１２５の動作の安定化を図るため、ＭＲ素子１２５の長手方向の両端部には、このＭＲ素子１２５にバイアス磁界を印加するための一対の永久磁石膜１４１ａ，１４１ｂと、この上にＭＲ素子１２５の抵抗値を減少させるための一対の低抵抗化膜１４２ａ，１４２ｂとが設けられている。なお、図示を省略するが、一対の低抵抗化膜１４２ａ，１４２ｂには、それぞれ媒体対向面とは反対側に向かって引き延ばされた引き出し導線の一端が接続されている。そして、これら引き出し導線の他端部には、ＭＲ素子１２５にセンス電流を供給する外部回路と接続するための外部接続用端子が設けられている。
以上のようなＭＲヘッド１４０から構成される複数の再生ヘッド素子１２６ａ，１２６ｂ，１２６ｃ，１２６ｄは、ＭＲ素子１２５の一対の永久磁石膜１４１ａ，１４１ｂに挟み込まれた部分の幅が、このＭＲ素子１２５の再生トラック幅となっている。そして、各再生ヘッド素子１２６ａ，１２６ｂ，１２６ｃ，１２６ｄは、図１２に示すように、それぞれの再生トラック幅が上述した各記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄにより磁気テープ１０３に形成される記録トラックＴｒ１，Ｔｒ２，Ｔｒ３，Ｔｒ４のトラック幅Ｔｗ１，Ｔｗ２，Ｔｗ３，Ｔｗ４と略一致した幅となるように形成されている。
また、これら複数の再生ヘッド素子１２６ａ，１２６ｂ，１２６ｃ，１２６ｄは、互いに隣接するＭＲ素子１２５の端部同士が積層方向から見て一致するように、或いは所定の幅だけ重なるように、その積層方向と直交する方向、すなわちトラック幅方向にずらして配置されている。
なお、上記一対の再生ヘッド１１２ａ，１１２ｂを構成する４つの再生ヘッド素子１２６ａ，１２６ｂ，１２６ｃ，１２６ｄのうち、１，３番目の再生ヘッド素子１２６ａ，１２６ｃは、上記１，３番目の記録ヘッド素子４ａ，４ｃにより記録された記録トラックから信号を再生できるように、その再生ギャップが当該ヘッドの走査方向と直交する方向に対して所定のアジマス角に応じて斜めとなるように配置されている。一方、２，４番目の再生ヘッド素子１２６ｂ，１２６ｄは、上記２，４番目の記録ヘッド素子４ｂ，４ｄにより記録された記録トラックから信号を再生できるように、その再生ギャップが当該ヘッドの走査方向と直交する方向に対して、１，３番目の再生ヘッド素子１２６ａ，１２６ｃとは逆向き且つ所定のアジマス角に応じて斜めとなるように配置されている。すなわち、１，３番目の再生ヘッド素子１２６ａ，１２６ｃと２，４番目の再生ヘッド素子１２６ｂ，１２６ｄとは、互いのアジマス角の傾ける向きが逆向きとなるように設定されている。
以上のように構成される磁気テープ装置１０１では、ヘッドドラム１１３に巻き付けられた磁気テープ１０３が、図１０中矢印Ｂ方向に走行されながら、駆動モータ１１６により回転ドラム１１４が、図１０中矢印Ｃ方向に回転駆動されることによって、この回転ドラム１１４に搭載された一対の記録ヘッド１１１ａ，１１１ｂと、一対の再生ヘッド１１２ａ，１１２ｂとが、磁気テープ１０３に対して斜めに走査されることになる。そして、この回転ドラム１１４に搭載された一対の記録ヘッド１１１ａ，１１１ｂと、一対の再生ヘッド１１２ａ，１１２ｂとが磁気テープ１０３と摺接しながら信号の記録動作又は再生動作を行う。
具体的に、記録時には、図１４に示すように、先行する記録ヘッド（例えば一方の記録ヘッド１１１ａ）が磁気テープ１０３に対して走査されると、この記録ヘッド１１１ａが備える複数の記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄが磁気テープ１０３に対して記録信号に応じた磁界を印加しながら、当該ヘッドの走査方向と直交する方向に並ぶ複数の記録トラックＴｒ１，Ｔｒ２，Ｔｒ３，Ｔｒ４を磁気テープ１０３の走行方向に対して斜めに形成する。
次に、先行する記録ヘッド１１１ａの４番目の記録ヘッド素子４ｄによって形成された記録トラックＴｒ４に、次に走査される記録ヘッド（例えば他方の記録ヘッド１１１ｂ）の１番目の記録ヘッド素子４ａによって形成される記録トラックＴｒ１が所定の幅ＯＬ４だけ重ね書きされるように、他方の記録ヘッド１１１ｂが磁気テープ１０３に対して走査される。これにより、記録ヘッド１１１ｂが備える複数の記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄが磁気テープ１０３に対して記録信号に応じた磁界を印加しながら、当該ヘッドの走査方向と直交する方向に並ぶ複数の記録トラックＴｒ１，Ｔｒ２，Ｔｒ３，Ｔｒ４を磁気テープ１０３の走行方向に対して斜めに形成する。
そして、これら一対の記録ヘッド１１１ａ，１１１ｂが磁気テープ１０３に対して繰り返し記録トラックＴｒ１，Ｔｒ２，Ｔｒ３，Ｔｒ４を形成することによって、磁気テープ１０３に対して連続的に信号を記録することになる。
一方、再生時には、先ず、一方の記録ヘッド１１１ａに対応する一方の再生ヘッド１１２ａが磁気テープ１０３に対して走査されると、この再生ヘッド１１２ａが備える複数の再生ヘッド素子１２６ａ，１２６ｂ，１２６ｃ，１２６ｄが、一方の記録ヘッド１１１ａにより磁気テープ１０３に記録された複数の記録トラックＴｒ１，Ｔｒ２，Ｔｒ３，Ｔｒ４から信号磁界を検出する。
次に、他方の記録ヘッド１１１ｂに対応する他方の再生ヘッド１１２ｂが磁気テープ１０３に対して走査されると、この再生ヘッド素子１１２ｂが備える複数の再生ヘッド素子１２６ａ，１２６ｂ，１２６ｃ，１２６ｄが、他方の記録ヘッド１１２ｂにより磁気テープ１０３に記録された複数の記録トラックＴｒ１，Ｔｒ２，Ｔｒ３，Ｔｒ４から信号磁界を検出する。
そして、これら一対の再生ヘッド１１２ａ，１１２ｂが記録トラック複数の記録トラックＴｒ１，Ｔｒ２，Ｔｒ３，Ｔｒ４から繰り返し信号磁界を検出することによって、磁気テープ３に記録された信号を連続的に再生することになる。
以上のように、この磁気テープ装置１０１では、上述した磁気ヘッド装置１が搭載された回転ヘッド装置１１０を用いることから、複数の記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄが磁気テープ１０３に対して当該ヘッドの走査方向と直交する方向に並ぶ複数の記録トラックＴｒ１，Ｔｒ２，Ｔｒ３，Ｔｒ４を形成するとき、先に書き込まれる記録トラックＴｒｎに次に書き込まれる記録トラックＴｒｎ＋１が所定の幅ＯＬｎだけ重ね書きされることによって、各記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄが形成する記録トラックのトラック幅Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４よりも狭い記録トラックＴｗ１，Ｔｗ２，Ｔｗ３，Ｔｗ４を磁気テープ１０３に精度良く形成することが可能である。
したがって、この磁気テープ装置１０１では、磁気テープ１０３に形成される記録トラックの狭トラック化が可能であり、また、多チャンネル化によって磁気テープ１０３に対する記録密度の高密化及び記録速度の高速化が可能である。
なお、上記磁気テープ装置１０１では、一対の再生ヘッド１１２ａ，１１２ｂとして、１つの記録トラックに対して１つの再生ヘッド素子を対応させたマルチ薄膜磁気ヘッドを備えた構成に限らず、１つ記録トラックに対して複数の再生ヘッド素子を対応させたマルチ薄膜磁気再生ヘッドを備えた構成することも可能である。
また、上記一対の再生ヘッド１１１ａ，１１１ｂとしては、絶縁層を介して一対の磁性層を積層し、一方の磁性層から他方の磁性層に流れるトンネル電流のコンダクタンスが一対の磁性層の磁化の相対角度に依存して変化する磁気トンネル接合素子を備える磁気トンネル効果型磁気ヘッドを用いることも可能である。
また、上記磁気テープ装置１０１では、上述したアジマス記録を採用したガードバンドレス記録方式に限らず、アジマス角のない、すなわち各記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの磁気ギャップが当該ヘッドの走査方向と直交する方向に対して平行となるノンアジマス記録を採用することも可能である。
また、上記磁気テープ装置１０１では、一方の記録ヘッド１１１ａにより形成される複数のトラックと、他方の記録ヘッド１１１ｂにより形成される複数の記録トラックとの間に未記録領域、いわゆるガードバンドを設けたガードバンド記録方式を採用することも可能である。
また、本発明は、上記ヘリカルスキャン方式を採用した磁気テープ装置１００の他にも、例えば固定ヘッド装置に搭載された上記磁気ヘッド装置１を磁気テープの走行方向に対して平行に走査しながら、磁気テープに対して信号を記録する、いわゆるリニア記録方式を採用した磁気テープ装置に適用することも可能である。
次に、上記磁気ヘッド装置１を磁気記録手段として用いる磁気ディスク装置について説明する。
図１５及び図１６に示すように、本発明を適用した磁気ディスク装置３０１は、図示を省略する筐体の内部に設けられた装置本体のシャーシ３０２上に、スピンドルモータ（図示せず。）により回転駆動される磁気ディスク３０３と、この磁気ディスク３０３上を浮上するヘッドスライダ３０４を先端部に有するヘッドアクチュエータ３０５とを備えている。
また、この磁気ディスク装置３０１は、シャーシ３０２の磁気ディスク３０３やヘッドアクチュエータ３０５等が実装される面とは反対側の主面上に、記録再生時に信号処理等を行う信号処理回路や、サーボ制御等を行うサーボ制御回路、システム全体の制御を行うシステムコントローラ等の各制御回路３０６を備えている。
磁気ディスク３０３は、略中央部に中心孔を有する略円盤状のディスク基板上に、磁性層及び保護層等が順次積層されてなる、いわゆるハードディスクである。そして、この磁気ディスク装置３０１には、複数枚の磁気ディスク３０３が、その中心孔をスピンドルモータの回転軸３０７と嵌合しながらクランパ３０８により固定されており、これら複数の磁気ディスク３０３は、制御回路により駆動制御されるスピンドルモータよって、図１５中矢印Ｄの方向に所定の速度にて回転駆動される。
ヘッドアクチュエータ３０５は、その支軸３０９を中心として回動される支持アーム３１０と、この支持アーム３１０の一端側に設けられたボイスコイルモータ３１１と、この支持アーム３１０の他端側に取り付けられた所定の弾性を有するサスペンション３１２と、このサスペンション３１２の先端部に取り付けられた上記ヘッドスライダ３０４とを備えている。
ボイスコイルモータ３１１は、支持アーム３１０側に取り付けられたコイル３１３と、このコイル３１３と対向するシャーシ３０２側に取り付けられたマグネット３１４とを有し、コイル３１３に電流が供給されることにより磁界が発生し、このコイル３１３と対向配置されたマグネット３１４との磁気的作用により、支持アーム３１０を図１５中矢印Ｅに示す磁気ディスク３０３の半径方向に回動操作する。
また、サスペンション３１２は、その先端部にヘッドスライダ３０４が取り付けられており、このヘッドスライダ３０４を支持しながら、弾性力により磁気ディスク３０３側へと付勢している。
ヘッドスライダ３０４は、各磁気ディスク３０３に対応して複数設けられた支持アーム３１０の各サスペンション３１２の先端部に、それぞれ磁気ディスク３０３の信号記録面と相対向するように支持されている。また、ヘッドスライダ３０４には、磁気ディスク３０３と対向する面（以下、媒体対向面という。）に、この磁気ディスク３０３の回転に伴って発生する空気流により浮上力を発生させるための空気潤滑面（ＡＢＳ面）が形成されている。すなわち、サスペンション３１２の先端部に取り付けられたヘッドスライダ３０４は、磁気ディスク３０３の回転により生じる空気流を受けて、この磁気ディスク３０３上を所定の浮上量で浮上することになる。
そして、この浮上走行するヘッドスライダ３０４の後端部には、磁気ディスク３０３に対して信号の記録を行う記録ヘッドとして、上述した図１に示す磁気ヘッド装置１と、磁気ディスク３に対して信号の再生を行う再生ヘッドとして、上述した図１２に示す上記磁気ヘッド装置１２１が取り付けられている。
以上のように構成される磁気ディスク装置３０１では、磁気ディスク３０３がスピンドルモータによって回転駆動されると、磁気ディスク３０３の信号記録面上に空気流が発生する。そして、この空気流が磁気ディスク３０３の信号記録面とヘッドスライダ３０４との間に入り込むことにより、ヘッドスライダ３０４に浮揚力が発生し、このヘッドスライダ３０４が磁気ディスク３０３の信号記録面上を所定の浮上量で浮上することになる。そして、この磁気ディスク装置３０１では、ヘッドスライダ３０４が磁気ディスク３０３の信号記録面上を浮上しながら、このヘッドスライダ３０４に搭載された上記磁気ヘッド装置１，１２１により磁気ディスク３０３に対する信号の記録又は再生が行われる。
具体的に、この磁気ヘッド装置１を磁気ディスク３０３に対して走査する際には、当該ヘッドの走査方向において、各記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの第１の磁気コア層２３ａが第２の磁気コア層２１ａよりも先行する側に位置するように配置する。
そして、記録時には、磁気ヘッド装置１が磁気ディスク３０３に対して走査されることによって、この磁気ヘッド装置１が備える複数の記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄが磁気ディスク３０３に対して記録信号に応じた磁界を印加しながら、当該ヘッドの走査方向と直交する方向に並ぶ複数の記録トラックＴｒ１，Ｔｒ２，Ｔｒ３，Ｔｒ４を磁気ディスク３０３の信号記録面に対してスパイラル状に形成する。そして、磁気ヘッド装置１が磁気ディスク３０３上を１周したとき、１周前に磁気ヘッド装置１の４番目の記録ヘッド素子４ｄによって形成された記録トラックＴｒ４に、次の１番目の記録ヘッド素子４ａによって形成される記録トラックＴｒ１が所定の幅ＯＬ４だけ重ね書きされるように、磁気ヘッド装置１が磁気ディスク３０３に対して走査される。これにより、磁気ヘッド装置１が磁気ディスク３０３に対して繰り返し記録トラックＴｒ１，Ｔｒ２，Ｔｒ３，Ｔｒ４を形成することによって、磁気ディスク３０３に対して連続的に信号を記録することになる。
一方、再生時には、磁気ヘッド装置１２１が磁気ディスク３０３に対して走査されると、この磁気ヘッド装置１２１が備える複数の再生ヘッド素子１２６ａ，１２６ｂ，１２６ｃ，１２６ｄが、磁気ヘッド装置１により磁気ディスク３０３に記録された複数の記録トラックＴｒ１，Ｔｒ２，Ｔｒ３，Ｔｒ４から信号磁界を検出することによって、磁気ディスク３０３に記録された信号を連続的に再生することになる。
以上のように、この磁気ディスク装置３０１では、上記磁気ヘッド装置１を用いることから、複数の記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄが磁気ディスク３０３に対して当該ヘッドの走査方向と直交する方向に並ぶ複数の記録トラックＴｒ１，Ｔｒ２，Ｔｒ３，Ｔｒ４を形成するとき、先に書き込まれる記録トラックＴｒｎに次に書き込まれる記録トラックＴｒｎ＋１が所定の幅ＯＬｎだけ重ね書きされることによって、各記録ヘッド素子４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄが形成する記録トラックのトラック幅Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４よりも狭い記録トラックＴｗ１，Ｔｗ２，Ｔｗ３，Ｔｗ４を磁気ディスク３０３に精度良く形成することが可能である。
したがって、この磁気ディスク装置３０１では、磁気ディスク３０３に形成される記録トラックの狭トラック化が可能であり、また、多チャンネル化によって磁気ディスク３０３に対する記録密度の高密化及び記録速度の高速化が可能である。
なお、本発明は、上記ディスク装置３０１のように、上記磁気ヘッド装置１，１２１がヘッドスライダに搭載されて、磁気ディスクの信号記録面上を浮上しながら走査される構成に限らず、上記磁気ヘッド装置１，１２１が磁気ディスクと摺接しながら走査されることによって、磁気ディスクに対して信号の記録及び／又は再生を行うものに対しても適用可能である。
また、本発明は、上述した磁気ヘッド装置１，１２１を別個に搭載した構成に限らず、これら磁気ヘッド装置１，１２１が組み合わされてなる、いわゆるマージ型の薄膜磁気ヘッドを用いることも可能である。
本発明を適用した磁気ヘッド装置を媒体対向面から見た端面図である。 記録ヘッド素子の構成を示す要部斜視図である。 記録ヘッド素子の構成を示す平面図である。 図３中線分Ｘ−Ｘ’による断面図である。 記録ヘッド素子を媒体対向面から見た端面図である。 起磁力と記録磁界強度の最大値との関係を示す特性図である。 第１の磁気コア層のトラック幅方向の寸法と記録磁界強度の最大値との関係を示す特性図である。 第１の磁気コア層のトラック幅方向の寸法と磁気勾配との関係を示す特性図である。 第１の磁気コア層と第２の磁気コア層とのギャップ対向面近傍における内部の磁気飽和を模式的に示す図であり、（Ａ）は、第１の磁気コア層のトラック幅方向の寸法が２μｍのときであり、（Ｂ）は、第１の磁気コア層のトラック幅方向の寸法が３μｍのときであり、（Ｃ）は、第１の磁気コア層のトラック幅方向の寸法が２μｍのときである。 本発明を適用をした磁気テープ装置の構成を示す平面図である。 本発明を適用した回転ヘッド装置の構成を示す斜視図である。 複数の再生ヘッド素子を備えた磁気ヘッド装置を媒体対向面から見た端面図である。 再生ヘッド素子を媒体対向面側から見た要部端面図である。 磁気テープに形成される記録トラックを模式的に示す平面図である。 本発明を適用をした磁気ディスク装置の構成を示す構成図である。 上記磁気ディスク装置の要部を拡大して示す側面図である。 従来の薄膜磁気記録ヘッドの構成を示す平面図である。 図１７中線分Ｙ−Ｙ’による断面図である。 図１７に示す薄膜磁気ヘッドを媒体対向面から見た端面図である。 薄膜製造プロセスにおいて、幅広となる層の上に幅狭となる層を成膜した状態を示す断面図である。 薄膜製造プロセスにおいて、幅狭となる層の上に幅広となる層を成膜した状態を示す断面図である。 図２１に示す薄膜製造プロセスにおいて、幅狭となる層の両側に同じ膜厚となる層を設けた状態を示す断面図である。 図２２に示す薄膜製造プロセスにおいて、幅狭となる層よりも膜厚の薄い層が成膜された状態を示す断面図である。 図２２に示す薄膜製造プロセスにおいて、幅狭となる層との間に隙間が生じた状態を示す断面図である。 従来のＨＤＤの要部を拡大して示す平面図である。 上記従来のＨＤＤの要部を拡大して示す側面図である。 図１７に示す薄膜磁気ヘッドの上部磁気コア層の膜厚がトラック幅方向の寸法よりも大きくなる状態を示す端面図である。
符号の説明
１ 磁気ヘッド装置、 ２ 第１の非磁性基板（ベース）、 ３ 絶縁層、 ４ 記録ヘッド素子、 ５ 第２の非磁性基板、 ２０ 薄膜磁気ヘッド、 ２１ 下部磁気コア層、 ２１ａ 突出部（第２の磁気コア層）、 ２２ 非磁性層、 ２３ 上部磁気コア層、 ２３ａ 突出部（第１の磁気コア層）、 ２４ 薄膜コイル、 １０１ 磁気テープ装置、 １０３ 磁気テープ、 １１０ 回転ヘッド装置、 １１１ａ，１１１ｂ 記録ヘッド、 １１２ａ，１１２ｂ 再生ヘッド、 １２１ 磁気ヘッド装置、 １２２ 第１の非磁性基板、 １２３ 磁気シールド装置、 １２４ 絶縁層、 １２５ ＭＲ素子、 １２６ 再生ヘッド素子、 １２７ 第２の非磁性基板、 １４０ ＭＲヘッド、 ３０１ 磁気ディスク装置、 ３０３ 磁気ディスク、 ３０４ ヘッドスライダ

Claims (18)

  1. 磁気記録媒体に対して走査される複数の記録ヘッド素子を備え、これら複数の記録ヘッド素子が絶縁層を介してベース上に順次積層されると共に、積層された記録ヘッド素子を積層方向と直交する方向にずらして配置することによって、上記磁気記録媒体に対して走査された際に、上記複数の記録ヘッド素子が当該ヘッドの走査方向と直交する方向に並ぶ複数の記録トラックを形成する磁気ヘッド装置において、
    上記複数の記録ヘッド素子は、上記磁気記録媒体と対向する媒体対向面において、磁気ギャップを介して突き合わされる一対の磁気コア層のうち、当該ヘッドの走査方向において先行する側に位置する第１の磁気コア層のトラック幅方向の寸法が、それとは反対側に位置する第２の磁気コア層のトラック幅方向の寸法よりも小さくなるように形成され、且つ、隣接する記録ヘッド素子の第１の磁気コア層の端部同士が上記積層方向から見て所定の幅だけ重なるように配置されていることを特徴とする磁気ヘッド装置。
  2. 上記第１の磁気コア層は、上記媒体対向面における上記トラック幅方向の寸法が上記積層方向の寸法よりも大きいことを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド装置。
  3. 上記記録ヘッド素子は、上記ベース側から、上記第２の磁気コア層、非磁性層、上記第１の磁気コア層の順に積層され、上記第１の磁気コア層と上記第２の磁気コア層とは、それぞれ上記媒体対向面に臨む突出部を有し、これら突出部が上記非磁性層を介して互いに突き合わされることで上記磁気ギャップが形成されると共に、上記第１の磁気コア層と上記第２の磁気コア層とが上記媒体対向面からデプス方向に離間した他端側で接合され、この接合部分を中心に薄膜コイルが巻回されてなるインダクティブ型の薄膜磁気ヘッドであることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド装置。
  4. 回転ドラムと、この回転ドラムに搭載されてヘリカルスキャン方式により磁気テープの走行方向に対して斜めに走査される磁気記録手段とを備える回転ヘッド装置において、
    上記磁気記録手段は、上記磁気テープに対して走査される複数の記録ヘッド素子を有し、これら複数の記録ヘッド素子が絶縁層を介してベース上に順次積層されると共に、積層された複数の記録ヘッド素子を積層方向と直交する方向にずらして配置することによって、上記磁気テープに対して走査された際に、上記複数の記録ヘッド素子が当該ヘッドの走査方向と直交する方向に並ぶ複数の記録トラックを形成すると共に、
    上記複数の記録ヘッド素子は、上記磁気テープと対向する媒体対向面において、磁気ギャップを介して突き合わされる一対の磁気コア層のうち、当該ヘッドの走査方向において先行する側に位置する第１の磁気コア層のトラック幅方向の寸法が、それとは反対側に位置する第２の磁気コア層のトラック幅方向の寸法よりも小さくなるように形成され、且つ、隣接する記録ヘッド素子の第１の磁気コア層の端部同士が上記積層方向から見て所定の幅だけ重なるように配置されていることを特徴とする回転ヘッド装置。
  5. 上記第１の磁気コア層は、上記媒体対向面における上記トラック幅方向の寸法が上記積層方向の寸法よりも大きいことを特徴とする請求項４記載の回転ヘッド装置。
  6. 上記記録ヘッド素子は、上記ベース側から、上記第２の磁気コア層、非磁性層、上記第１の磁気コア層の順に積層され、上記第１の磁気コア層と上記第２の磁気コア層とは、それぞれ上記媒体対向面に臨む突出部を有し、これら突出部が上記非磁性層を介して互いに突き合わされることで上記磁気ギャップが形成されると共に、上記第１の磁気コア層と上記第２の磁気コア層とが上記媒体対向面からデプス方向に離間した他端側で接合され、この接合部分を中心に薄膜コイルが巻回されてなるインダクティブ型の薄膜磁気ヘッドであることを特徴とする請求項４記載の回転ヘッド装置。
  7. 磁気テープを走行させるテープ走行手段と、
    上記テープ走行手段により走行される磁気テープに対して信号を記録する磁気記録手段とを備え、
    上記磁気記録手段は、上記磁気テープに対して走査される複数の記録ヘッド素子を有し、これら複数の記録ヘッド素子が絶縁層を介してベース上に順次積層されると共に、積層された記録ヘッド素子を積層方向と直交する方向にずらして配置することによって、上記磁気テープに対して走査された際に、上記複数の記録ヘッド素子が当該ヘッドの走査方向と直交する方向に並ぶ複数の記録トラックを形成すると共に、
    上記複数の記録ヘッド素子は、上記磁気テープと対向する媒体対向面において、磁気ギャップを介して突き合わされる一対の磁気コア層のうち、当該ヘッドの走査方向において先行する側に位置する第１の磁気コア層のトラック幅方向の寸法が、それとは反対側に位置する第２の磁気コア層のトラック幅方向の寸法よりも小さくなるように形成され、且つ、隣接する記録ヘッド素子の第１の磁気コア層の端部同士が上記積層方向から見て所定の幅だけ重なるように配置されていることを特徴とする磁気テープ装置。
  8. 上記第１の磁気コア層は、上記媒体対向面における上記トラック幅方向の寸法が上記積層方向の寸法よりも大きいことを特徴とする請求項７記載の磁気テープ装置。
  9. 上記記録ヘッド素子は、上記ベース側から、上記第２の磁気コア層、非磁性層、上記第１の磁気コア層の順に積層され、上記第１の磁気コア層と上記第２の磁気コア層とは、それぞれ上記媒体対向面に臨む突出部を有し、これら突出部が上記非磁性層を介して互いに突き合わされることで上記磁気ギャップが形成されると共に、上記第１の磁気コア層と上記第２の磁気コア層とが上記媒体対向面からデプス方向に離間した他端側で接合され、この接合部分を中心に薄膜コイルが巻回されてなるインダクティブ型の薄膜磁気ヘッドであることを特徴とする請求項７記載の磁気テープ装置。
  10. 上記磁気記録手段は、回転ドラムに搭載されてヘリカルスキャン方式により上記複数の記録ヘッド素子が上記磁気テープの走行方向に対して斜めに走査されることを特徴とする請求項７記載の磁気テープ装置。
  11. 上記磁気記録手段は、リニア方式により上記複数の記録ヘッド素子が上記磁気テープの走行方向に対して平行に走査されることを特徴とする請求項７記載の磁気テープ装置。
  12. 磁気ディスクを回転駆動するディスク回転手段と、
    上記ディスク回転手段により回転駆動される磁気ディスクに対して信号を記録する磁気記録手段とを備え、
    上記磁気記録手段は、上記磁気ディスクに対して走査される複数の記録ヘッド素子を有し、これら複数の記録ヘッド素子が絶縁層を介してベース上に順次積層されると共に、積層された記録ヘッド素子を積層方向と直交する方向にずらして配置することによって、上記磁気ディスクに対して走査された際に、上記複数の記録ヘッド素子が当該ヘッドの走査方向と直交する方向に並ぶ複数の記録トラックを形成すると共に、
    上記複数の記録ヘッド素子は、上記磁気ディスクと対向する媒体対向面において、磁気ギャップを介して突き合わされる一対の磁気コア層のうち、当該ヘッドの走査方向において先行する側に位置する第１の磁気コア層のトラック幅方向の寸法が、それとは反対側に位置する第２の磁気コア層のトラック幅方向の寸法よりも小さくなるように形成され、且つ、隣接する記録ヘッド素子の第１の磁気コア層の端部同士が上記積層方向から見て所定の幅だけ重なるように配置されていることを特徴とする磁気ディスク装置。
  13. 上記第１の磁気コア層は、上記媒体対向面における上記トラック幅方向の寸法が上記積層方向の寸法よりも大きいことを特徴とする請求項１１記載の磁気ディスク装置。
  14. 上記記録ヘッド素子は、上記ベース側から、上記第２の磁気コア層、非磁性層、上記第１の磁気コア層の順に積層され、上記第１の磁気コア層と上記第２の磁気コア層とは、それぞれ上記媒体対向面に臨む突出部を有し、これら突出部が上記非磁性層を介して互いに突き合わされることで上記磁気ギャップが形成されると共に、上記第１の磁気コア層と上記第２の磁気コア層とが上記媒体対向面からデプス方向に離間した他端側で接合され、この接合部分を中心に薄膜コイルが巻回されてなるインダクティブ型の薄膜磁気ヘッドであることを特徴とする請求項１１記載の磁気ディスク装置。
  15. 上記磁気記録手段は、スライダに搭載されて上記磁気ディスクの半径方向に変位駆動されることを特徴とする請求項１１記載の磁気ディスク装置。
  16. 磁気記録媒体に対して走査される複数の記録ヘッド素子をベース上に絶縁層を介して順次積層すると共に、積層された記録ヘッド素子を積層方向と直交する方向にずらして配置することによって、上記磁気記録媒体に対して走査された際に、上記複数の記録ヘッド素子が当該ヘッドの走査方向と直交する方向に並ぶ複数の記録トラックを形成する磁気記録方法において、
    上記複数の記録ヘッド素子を、上記磁気記録媒体と対向する媒体対向面において、磁気ギャップを介して突き合わされる一対の磁気コア層のうち、第１の磁気コア層のトラック幅方向の寸法が第２の磁気コア層のトラック幅方向の寸法よりも小さくなるように形成し、且つ、隣接する記録ヘッド素子の第１の磁気コア層の端部同士が上記積層方向から見て所定の幅だけ重なるように配置し、
    上記複数の記録ヘッド素子を上記磁気記録媒体に対して走査する際に、上記第１の磁気コア層を当該ヘッドの走査方向において先行する側に位置させることを特徴とする磁気記録方法。
  17. 上記第１の磁気コアの上記媒体対向面における上記トラック幅方向の寸法を上記積層方向の寸法よりも大きくすることを特徴とする請求項１５記載の磁気記録方法。
  18. 上記記録ヘッド素子として、上記ベース側から、上記第２の磁気コア層、非磁性層、上記第１の磁気コア層の順に積層され、上記第１の磁気コア層と上記第２の磁気コア層とは、それぞれ上記媒体対向面に臨む突出部を有し、これら突出部が上記非磁性層を介して互いに突き合わされることで上記磁気ギャップが形成されると共に、上記第１の磁気コア層と上記第２の磁気コア層とが上記媒体対向面からデプス方向に離間した他端側で接合され、この接合部分を中心に薄膜コイルが巻回されてなるインダクティブ型の薄膜磁気ヘッドを用いることを特徴とする請求項１５記載の磁気記録方法。
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