JP2005268613A - 半導体用粘接着シートおよび半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
(A)粘着成分と(B)エポキシ樹脂とから形成され、加熱硬化後の100℃における貯蔵弾性率が1.0×107Pa以下であり、160℃における貯蔵弾性率が1.0×105Pa以上である粘接着層を有する粘接着シート。
【選択図】なし
Description
[1]基材と、その上に形成された(A)粘着成分と(B)エポキシ樹脂とからなる粘接着層を有し、加熱硬化後の該粘接着層の貯蔵弾性率が100℃においては1.0×107
Pa以下であり、160℃においては1.0×105Pa以上であることを特徴とする半
導体用粘接着シート。
[2]粘接着層に放射線硬化成分を含むことを特徴とする[1]に記載の粘接着シート。[3][1]に記載の粘接着シートの粘接着層に半導体ウエハを貼付し、該半導体ウエハをダイシングしてICチップとし、該粘接着層を該ICチップとともに基材から剥離し、該ICチップをリードフレーム上に該粘接着層を介して載置し、次いで加熱することにより該粘接着層に接着力を発現させて該ICチップとリードフレームとを接着することを特徴とする半導体装置の製造方法。
[4][2]に記載の粘接着シートの粘接着層に半導体ウエハを貼付し、該半導体ウエハをダイシングしてICチップとし、ダイシング前またはダイシング後のいずれかにおいて該粘接着層に放射線を照射して該粘接着層を硬化させ、該粘接着層を該ICチップとともに基材から剥離し、該ICチップをリードフレーム上に該粘接着層を介して載置し、次いで加熱することにより該粘接着層に接着力を発現させて該ICチップとリードフレームとを接着することを特徴とする半導体装置の製造方法。
本発明に係る半導体用粘接着シートの形状は、テープ状、ラベル状などあらゆる形状をとり得る。
すなわち、加熱硬化後の、粘接着層の100℃における貯蔵弾性率は1.0×107P
a以下であり、好ましくは1.0×106〜1.0×107Paである。100℃における貯蔵弾性率が1.0×107Paよりも大きいと、IRリフロー工程等において、基板や
チップに反りや剥離が発生しやすくなる。
り、好ましくは5.0×105〜1.0×107Paである。160℃における貯蔵弾性率が1.0×105Pa未満であると、粘接着層にボイドが発生しやすくなり、IRリフロ
ー等の工程でパッケージクラックを起こすおそれがある。
発明においては、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、ポリエステル系粘着剤が好ましく用いられ、これらの中でも特にアクリル系粘着剤が好ましく用いられる。
O)、エステル結合(COO、OCO)等が挙げられ、比較的低極性のエーテル結合が好ましい。RおよびR'は脂肪族等柔軟性がある結合基であればよく、例えば側鎖を有する
または側鎖を有さないアルキレン、ポリエーテル骨格、ポリブタジエン骨格、ポリイソプレン骨格等が挙げられる。nおよびn'は1〜10の値である。
柔軟性エポキシ樹脂のエポキシ当量は、好ましくは100〜1000g/eq、さらに好ましくは200〜600g/eqである。また柔軟性エポキシ樹脂は、その硬化物のガラス転移点(Tg)が、好ましくは100℃以下、さらに好ましくは80℃以下である。
このような柔軟性エポキシ樹脂としては、たとえば大日本インキ(株)製、EXA-4850-150、EXA-4850-1000、ナガセケムテックス(株)製、デナコールEX-250、EX250L
などがあげられる。
をたとえば酸化することによりエポキシが導入された、いわゆる脂環型エポキシドを挙げることができる。
熱活性型潜在性硬化剤(C)の活性化方法には、加熱による化学反応で活性種(アニオン、カチオン)を生成する方法;室温付近ではエポキシ樹脂中に安定に分散しており高温でエポキシ樹脂と相溶・溶解し、硬化反応を開始する方法;モレキュラーシーブ封入タイプの硬化剤で高温で溶出して硬化反応を開始する方法;マイクロカプセルによる方法等が存在する。
上記のような放射線硬化成分(E)を含有する粘接着剤組成物は、放射線照射により硬
化する。放射線としては、具体的には、紫外線、電子線等が用いられる。
このような光重合開始剤としては、具体的には、ベンゾフェノン、アセトフェノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾイン安息香酸、ベンゾイン安息香酸メチル、ベンゾインジメチルケタール、2,4-ジエチルチオキサンソン、α-ヒドロキシ
シクロヘキシルフェニルケトン、ベンジルジフェニルサルファイド、テトラメチルチウラムモノサルファイド、アゾビスイソブチロニトリル、ベンジル、ジベンジル、ジアセチル、β−クロールアンスラキノン、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイドなどが挙げられる。
可とう性成分(F)は、硬化後の粘接着層中に均一に分散して粘接着層の脆質性を改善し、外部応力に対し抵抗を向上させる。また可とう性成分(F)は、エポキシ樹脂(B)中に均一に分散または混合されていることが好ましく、このため微細粒子状であるか、またはトルエン、エチルメチルケトン等の有機溶媒に可溶もしくは易溶であることが好ましい。
有機溶媒に可溶もしくは易溶な可とう性成分(F)に関しては、その硬化過程により、可とう性成分(F)はエポキシ樹脂(B)と相分離し、構造的に2相系となることが知られている。この様な有機溶媒に可溶もしくは易溶な可とう性成分(F)としては、飽和ポリエステル樹脂、液状NBR、液状クロロプレンゴム、ウレタンゴム、ポリオレフィン樹脂、シリコーンオイル等が挙げられ、これらの中でも飽和ポリエステル樹脂がより好ましい。
市販されているものもある。また、前述したように、エポキシ樹脂(B)と、可とう性成分(F)とを予め変性した変性樹脂を用いることもできる。この様な変性樹脂は、特にアロイ変性樹脂やゴムブレンド変性樹脂と呼ばれる。
ゴム変性エポキシ樹脂としては、たとえばアデカレジンEP−4023TM(旭電化工業社製)、アデカレジンEP−4024TM(旭電化工業社製)、アデカレジンEP−4026TM(旭電化工業社製)、アデカレジンEPR−20TM(旭電化工業社製)等が挙げられる。
イソシアナート、ジシクロヘキシルメタン−2,4'−ジイソシアナート、リジンイソシ
アナートなどがあげられる。また、これら多価イソシアナート化合物とポリオール化合物とを反応させて得られる末端イソシアナートウレタンプレポリマーであってもよい。このような化合物としては、トリメチロールプロパン変性トリレンジイソシアナート等があげられる。
。このような架橋剤は、粘接着剤組成物中に0〜5重量%、特には0.1〜1重量%の範囲の量で用いられることが好ましい。
め、チップの信頼性が向上する。帯電防止剤としては、具体的には、アニオン性、カチオン性、非イオン性、ないし両イオン性の一般に公知の活性剤等が用いられる。帯電防止剤は、粘接着組成物中に0〜50重量%、特には0〜30重量%の範囲の量で用いられることが好ましい。
本発明の粘接着シートは、基材上に、上記成分からなる粘接着剤組成物をコンマコーター、グラビアコーター、ダイコーター、リバースコーターなど一般に公知の方法にしたがって塗工し、乾燥させることで得られる。また、本発明の粘接着シートは、離型シート上に粘接着剤組成物を上記と同様の方法で塗工し、乾燥させて粘接着層を形成し、それを基材上に転写することによっても得られる。
着シートの粘接着層を被着体に転着できるようになる。このような表面張力の低い基材は、材質を適宜に選択して得ることが可能であるし、また基材の表面にシリコーン樹脂等を塗布して離型処理を施すことで得ることもできる。この他、グラシン紙、クレーコート紙や樹脂コート紙等のコート紙、ポリエチレンラミネート紙やポリプロピレンラミネート紙等のラミネート紙のような紙基材を用いることができる。 このような基材の膜厚は、通常は10〜300μm、好ましくは20〜200μm、特に好ましくは50〜150μm程度である。なお、上記の粘接着剤組成物は、必要に応じ、溶剤に溶解し、若しくは分散させて塗布することができる。
次に本発明に係る半導体装置の製造方法について説明する。本発明の製造方法においては、まず、該粘接着シートをダイシング装置上に、リングフレームにより固定し、シリコンウエハの一方の面を該粘接着シートの粘接着層上に載置し、軽く押圧し、ウエハを固定する。
プをダイパッド部に載置する。ダイパッド部はICチップを載置する前に加熱するか載置直後に加熱される。加熱温度は、通常は80〜200℃、好ましくは100〜180℃であり、加熱時間は、通常は0.1秒〜5分、好ましくは0.5秒〜3分であり、チップマウント圧力は、通常1kPa〜100MPaである。
(実施例)以下本発明を実施例により説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
[半導体用粘接着シートの作成]
基材:ポリエチレンフィルム(厚さ100μm、表面張力32mN/m)を用いた。
粘接着剤:組成を表1に示す。これを上記基材に20μmの厚さになるように塗布・乾燥し半導体用粘接着シートを得た。
る温度)は、上記基材に粘接着剤を200μmの厚さになるように塗布・乾燥し、(放射線硬化成分を含む場合は紫外線照射後)基材を剥離除去し、160℃60分の加熱硬化を行い、得られたサンプルを動的粘弾性測定装置(オリエンテック社製、RHEOVIBRON DDV-II-EP)により周波数11Hzで測定することで得た。これを表2に示す。
(B)エポキシ樹脂:
(B−1)ビスフェノール骨格及び柔軟性骨格を有するエポキシ樹脂(大日本インキ化学工業製EXA-4850-150、エポキシ当量450g/eq、硬化後のガラス転移温度29℃)
(B−2)ビスフェノール骨格及び柔軟性骨格を有するエポキシ樹脂(大日本インキ化学工業製EXA-4850-1000、エポキシ当量350g/eq、硬化後のガラス転移温度62℃)
(B−3)汎用エポキシ樹脂:固形ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量800〜900g/eq、硬化後のガラス転移温度120℃)
(B−4)汎用エポキシ樹脂:ジシクロペンタジエン骨格含有固形エポキシ樹脂(大日本インキ化学工業製EXA-7200HH、エポキシ当量275〜280g/eq、硬化後のガラス転移温度185℃)
(B−5)汎用エポキシ樹脂:液状ビスフェノールA型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン製、エピコート828、エポキシ当量184〜194eq/g、硬化後のガラス転移温度
140℃)
(C)硬化剤:
(C−1)旭電化製、アデカハードナー3636AS
(C−2)四国化成工業、キュアゾール2PHZ
(D)シランカップリング剤:日本ユニカー製、A-1110
(E)放射線硬化成分:下記2成分からなる組成物
a. ジシクロペンタジエン骨格含有アクリレート(日本化薬製、カラヤッドR684)
b. 2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド(a100重量部に対し3重量部)
(F)可とう性成分:熱可塑性ポリエステル(東洋紡製、バイロン220)
(H)架橋剤:トリメチロールプロパン変性トリレンジイソシアネート(日本ポリウレタン社製、コロネートL)
B:若干のウキがあるもののパッケージクラック無し。
C:部分的にウキ・ハガレ、パッケージクラック有り。
D:ウキ・ハガレ、パッケージクラックが全体的に発生。
E:完全に剥がれている。
試験1(剥離強度)
厚さ350μm、#2000研磨のシリコンウエハの研磨面に実施例および比較例の粘接着シートを貼付し(放射線硬化成分を含む場合は紫外線照射後)、12mm×12mmのチップサイズにダイシングした。ダイシングの際の切り込み量は、基材を10μm切り込むようにした。続いて、粘接着シート側よりニードルで突き上げて、チップと粘接着層が基材の界面から剥離するようにピックアップした。得られたシリコンチップを粘接着層を介して厚さ150μmの銅板に貼着し、160℃の高温槽中で60分間接着硬化し、サンプルとした。このサンプルのシリコンチップ側を硬質水平板上に接着固定し、銅板を90°ピール、剥離速度50mm/minで剥離させたときの接着強度(N/10mm幅)を測定
した。
試験2(パッケージ信頼性)
(1)半導体チップの製造
#2000研磨処理したシリコンウエハ(100mm径、厚さ200μm)の研磨面に、実施例および比較例の粘接着シートの貼付をテープマウンター(リンテック社製、Adwill RAD2500)により行い、ウエハダイシング用リングフレームに固定した。その後、UV照射装置(リンテック社製、Adwill RAD2000)を用いて基材面から紫外線を照射した。次に、ダイシング装置(東京精密社製、AWD-4000B)を使用して9mm×9mmのチップサ
イズにダイシングした。ダイシングの際の切り込み量は、基材を10μm切り込むようにした。続いて、粘接着シート側よりニードルで突き上げて、チップと粘接着層が基材の界面から剥離するようにピックアップした。
(2)ICパッケージの製造
ICパッケージ用の基板(ポリイミドフィルム(50μm)と電解銅箔(20μm)との積層体であり、ダイパッド部として銅箔上にパラジウムメッキおよび金メッキを順にパターン処理し、更に高さ25μmのソルダーレジストを有する)のダイパッド部に、上記の半導体チップを粘接着シートの粘接着層を介して120℃、50MPa、1秒の条件で圧着し、チップマウントを行った。その後、160℃、60分間の条件で加熱硬化を行った。さらにモールド樹脂で基板のチップの取り付けられた側を所定の形状にモールドし、175℃、6時間の条件で樹脂を硬化させて高圧封止した。次に、封止されていない基板側にハンダボールを取り付け、BGA(Ball Grid Allay)型のICパッケージを完成さ
せた。
(3)パッケージ信頼性の評価
得られたICパッケージを85℃、60%RH条件下に168時間放置し、吸湿させた後、最高温度260℃のIRリフローを2回行った際に接合部の浮き・剥がれの有無、パッケージクラック発生の有無を走査型超音波探傷装置および断面観察により評価した。
試験3(加熱硬化による反り評価)
100mm×100mmのポリイミドフィルム(宇部興産製、カプトン300H)に実施例および比較例の粘接着シートを貼付した後、UV照射装置(リンテック社製、Adwill
RAD2000)を用いて基材面から紫外線を照射した。その後、基材を剥離して160℃、60分間の条件で加熱硬化した。室温まで放置した後、粘接着シート付きポリイミドフィルムをポリイミドフィルム面側を下にして水平面上に置き、浮いているフィルム端部の高さ(単位:mm)を測定することで評価した。
Claims (4)
- 基材と、その上に形成された(A)粘着成分と(B)エポキシ樹脂とからなる粘接着層を有し、加熱硬化後の該粘接着層の貯蔵弾性率が100℃においては1.0×107Pa
以下であり、160℃においては1.0×105Pa以上であることを特徴とする半導体
用粘接着シート。 - 粘接着層に放射線硬化成分を含むことを特徴とする請求項1に記載の粘接着シート。
- 請求項1に記載の粘接着シートの粘接着層に半導体ウエハを貼付し、該半導体ウエハをダイシングしてICチップとし、該粘接着層を該ICチップとともに基材から剥離し、該ICチップをリードフレーム上に該粘接着層を介して載置し、次いで加熱することにより該粘接着層に接着力を発現させて該ICチップとリードフレームとを接着することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項2に記載の粘接着シートの粘接着層に半導体ウエハを貼付し、該半導体ウエハをダイシングしてICチップとし、ダイシング前またはダイシング後のいずれかにおいて該粘接着層に放射線を照射して該粘接着層を硬化させ、該粘接着層を該ICチップとともに基材から剥離し、該ICチップをリードフレーム上に該粘接着層を介して載置し、次いで加熱することにより該粘接着層に接着力を発現させて該ICチップとリードフレームとを接着することを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004080701A JP4027332B2 (ja) | 2004-03-19 | 2004-03-19 | 半導体用粘接着シートおよび半導体装置の製造方法 |
US11/083,205 US20050208296A1 (en) | 2004-03-19 | 2005-03-17 | Hardenable pressure-sensitive adhesive sheet for semiconductor and process for producing semiconductor device |
MYPI20051141A MY137601A (en) | 2004-03-19 | 2005-03-17 | Hardenable pressure-sensitive adhesive sheet for semiconductor and process for producing semiconductor device. |
TW094108136A TW200534446A (en) | 2004-03-19 | 2005-03-17 | Adhesive sheet for semiconductor and method for manufacture of semiconductor device |
KR1020050022268A KR20060043767A (ko) | 2004-03-19 | 2005-03-17 | 반도체용 점접착(粘接着) 시트 및 반도체 장치의 제조 방법 |
SG200501725A SG115785A1 (en) | 2004-03-19 | 2005-03-18 | Hardenable pressure-sensitive adhesive sheet for semiconductor and process for producing semiconductor device |
EP05251714A EP1598864A3 (en) | 2004-03-19 | 2005-03-21 | Hardenable pressure-senstitive adhesive sheet for semiconductors and process for producing a semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004080701A JP4027332B2 (ja) | 2004-03-19 | 2004-03-19 | 半導体用粘接着シートおよび半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005268613A true JP2005268613A (ja) | 2005-09-29 |
JP4027332B2 JP4027332B2 (ja) | 2007-12-26 |
Family
ID=34979300
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004080701A Expired - Lifetime JP4027332B2 (ja) | 2004-03-19 | 2004-03-19 | 半導体用粘接着シートおよび半導体装置の製造方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050208296A1 (ja) |
EP (1) | EP1598864A3 (ja) |
JP (1) | JP4027332B2 (ja) |
KR (1) | KR20060043767A (ja) |
MY (1) | MY137601A (ja) |
SG (1) | SG115785A1 (ja) |
TW (1) | TW200534446A (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006206697A (ja) * | 2005-01-26 | 2006-08-10 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 樹脂組成物及び樹脂組成物を使用して作製した半導体装置 |
JP2007234842A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 樹脂組成物及び樹脂組成物を使用して作製した半導体装置 |
JP2007261035A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Lintec Corp | チップ用保護膜形成用シート |
JP2008138023A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 粘着剤、粘着テープ、ダイジング用粘着テープ、及び、電子部品の製造方法 |
WO2010087444A1 (ja) * | 2009-01-29 | 2010-08-05 | 積水化学工業株式会社 | 電子部品用接着剤 |
JP2010248387A (ja) * | 2009-04-16 | 2010-11-04 | Sekisui Chem Co Ltd | 光学部材用光硬化性樹脂組成物、接着剤、及び、タッチパネル |
JP2013028738A (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | Fujimori Kogyo Co Ltd | 接着フィルム |
JP2017071785A (ja) * | 2016-11-17 | 2017-04-13 | 大日本印刷株式会社 | 接着剤組成物およびそれを用いた接着シート |
JP2022151778A (ja) * | 2021-03-23 | 2022-10-07 | エルエムエス・カンパニー・リミテッド | 粘着剤組成物及び光学粘着剤 |
WO2022250138A1 (ja) * | 2021-05-28 | 2022-12-01 | 三井化学東セロ株式会社 | バックグラインド用粘着性フィルムおよび電子装置の製造方法 |
WO2022250132A1 (ja) * | 2021-05-28 | 2022-12-01 | 三井化学東セロ株式会社 | 電子装置の製造方法 |
WO2022250133A1 (ja) * | 2021-05-28 | 2022-12-01 | 三井化学東セロ株式会社 | 電子装置の製造方法 |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005150235A (ja) | 2003-11-12 | 2005-06-09 | Three M Innovative Properties Co | 半導体表面保護シート及び方法 |
US20070144653A1 (en) * | 2005-12-22 | 2007-06-28 | Padilla Kenneth A | Methods and systems for debonding substrates |
JP4814000B2 (ja) * | 2006-07-26 | 2011-11-09 | リンテック株式会社 | 光学機能性フィルム貼合用粘着剤、光学機能性フィルム及びその製造方法 |
KR101040439B1 (ko) * | 2006-10-24 | 2011-06-09 | 주식회사 엘지화학 | 다이싱-다이본딩 필름 및 이를 이용하는 반도체 패키징방법 |
US8114520B2 (en) * | 2006-12-05 | 2012-02-14 | Lintec Corporation | Laser dicing sheet and process for producing chip body |
JP5059559B2 (ja) * | 2006-12-05 | 2012-10-24 | リンテック株式会社 | レーザーダイシングシートおよびチップ体の製造方法 |
KR20100014539A (ko) * | 2007-03-16 | 2010-02-10 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 다이싱 및 다이 부착 접착제 |
JP4778472B2 (ja) * | 2007-05-08 | 2011-09-21 | 日東電工株式会社 | 粘着型光学フィルムおよび画像表示装置 |
TWI421319B (zh) * | 2007-06-28 | 2014-01-01 | Lintec Corp | 黏接著劑組成物、黏接著片及半導體裝置之製造方法 |
TWI449747B (zh) * | 2009-10-01 | 2014-08-21 | Thinflex Corp | 導熱性覆金屬積層板、環氧樹脂組成物及其應用 |
KR101351622B1 (ko) * | 2010-12-29 | 2014-01-15 | 제일모직주식회사 | 다이싱 다이 본딩 필름 |
JP5645678B2 (ja) * | 2011-01-14 | 2014-12-24 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US8696864B2 (en) * | 2012-01-26 | 2014-04-15 | Promerus, Llc | Room temperature debonding composition, method and stack |
KR101549735B1 (ko) * | 2013-03-26 | 2015-09-02 | 제일모직주식회사 | 유기발광소자 충전제용 열경화형 조성물 및 이를 포함하는 유기발광소자 디스플레이 장치 |
JP6436681B2 (ja) * | 2014-08-08 | 2018-12-12 | キヤノン株式会社 | 遮光塗料、遮光塗料セット、遮光膜、光学素子、遮光膜の製造方法、光学素子の製造方法、及び光学機器 |
JP6721325B2 (ja) * | 2015-12-14 | 2020-07-15 | デクセリアルズ株式会社 | 熱硬化性接着シート、及び半導体装置の製造方法 |
CN113683980A (zh) * | 2021-09-06 | 2021-11-23 | 芜湖徽氏新材料科技有限公司 | 一种半导体封装用耐高温胶带及其制备方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4612209A (en) * | 1983-12-27 | 1986-09-16 | Ciba-Geigy Corporation | Process for the preparation of heat-curable adhesive films |
JPH0715087B2 (ja) * | 1988-07-21 | 1995-02-22 | リンテック株式会社 | 粘接着テープおよびその使用方法 |
DE69421788T2 (de) * | 1993-05-24 | 2000-06-29 | Tdk Corp | Magnetisches aufzeichnungsmedium |
JP3405269B2 (ja) * | 1999-04-26 | 2003-05-12 | ソニーケミカル株式会社 | 実装方法 |
JP4703833B2 (ja) * | 2000-10-18 | 2011-06-15 | 日東電工株式会社 | エネルギー線硬化型熱剥離性粘着シート、及びこれを用いた切断片の製造方法 |
JP2002299378A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Lintec Corp | 導電体付接着シート、半導体装置製造方法および半導体装置 |
JP4869517B2 (ja) * | 2001-08-21 | 2012-02-08 | リンテック株式会社 | 粘接着テープ |
JP4228582B2 (ja) * | 2002-04-10 | 2009-02-25 | 日立化成工業株式会社 | 接着シートならびに半導体装置およびその製造方法 |
-
2004
- 2004-03-19 JP JP2004080701A patent/JP4027332B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2005
- 2005-03-17 KR KR1020050022268A patent/KR20060043767A/ko not_active Application Discontinuation
- 2005-03-17 MY MYPI20051141A patent/MY137601A/en unknown
- 2005-03-17 US US11/083,205 patent/US20050208296A1/en not_active Abandoned
- 2005-03-17 TW TW094108136A patent/TW200534446A/zh unknown
- 2005-03-18 SG SG200501725A patent/SG115785A1/en unknown
- 2005-03-21 EP EP05251714A patent/EP1598864A3/en not_active Withdrawn
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006206697A (ja) * | 2005-01-26 | 2006-08-10 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 樹脂組成物及び樹脂組成物を使用して作製した半導体装置 |
JP2007234842A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 樹脂組成物及び樹脂組成物を使用して作製した半導体装置 |
KR101074571B1 (ko) * | 2006-03-28 | 2011-10-17 | 린텍 가부시키가이샤 | 칩용 보호막 형성용 시트 |
JP2007261035A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Lintec Corp | チップ用保護膜形成用シート |
WO2007119507A1 (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-25 | Lintec Corporation | チップ用保護膜形成用シート |
JP2008138023A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 粘着剤、粘着テープ、ダイジング用粘着テープ、及び、電子部品の製造方法 |
JP4729130B2 (ja) * | 2009-01-29 | 2011-07-20 | 積水化学工業株式会社 | 電子部品用接着剤 |
WO2010087444A1 (ja) * | 2009-01-29 | 2010-08-05 | 積水化学工業株式会社 | 電子部品用接着剤 |
CN102292407B (zh) * | 2009-01-29 | 2014-01-01 | 积水化学工业株式会社 | 电子零件用胶粘剂 |
US8901207B2 (en) | 2009-01-29 | 2014-12-02 | Sekisui Chemical Co., Ltd. | Adhesive for electronic components |
JP2010248387A (ja) * | 2009-04-16 | 2010-11-04 | Sekisui Chem Co Ltd | 光学部材用光硬化性樹脂組成物、接着剤、及び、タッチパネル |
JP2013028738A (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | Fujimori Kogyo Co Ltd | 接着フィルム |
JP2017071785A (ja) * | 2016-11-17 | 2017-04-13 | 大日本印刷株式会社 | 接着剤組成物およびそれを用いた接着シート |
JP2022151778A (ja) * | 2021-03-23 | 2022-10-07 | エルエムエス・カンパニー・リミテッド | 粘着剤組成物及び光学粘着剤 |
JP7444482B2 (ja) | 2021-03-23 | 2024-03-06 | エルエムエス・カンパニー・リミテッド | 粘着剤組成物及びフィルム |
WO2022250138A1 (ja) * | 2021-05-28 | 2022-12-01 | 三井化学東セロ株式会社 | バックグラインド用粘着性フィルムおよび電子装置の製造方法 |
WO2022250132A1 (ja) * | 2021-05-28 | 2022-12-01 | 三井化学東セロ株式会社 | 電子装置の製造方法 |
WO2022250133A1 (ja) * | 2021-05-28 | 2022-12-01 | 三井化学東セロ株式会社 | 電子装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1598864A2 (en) | 2005-11-23 |
EP1598864A3 (en) | 2006-06-21 |
TW200534446A (en) | 2005-10-16 |
SG115785A1 (en) | 2005-10-28 |
KR20060043767A (ko) | 2006-05-15 |
JP4027332B2 (ja) | 2007-12-26 |
MY137601A (en) | 2009-02-27 |
US20050208296A1 (en) | 2005-09-22 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051018 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060309 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070925 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071009 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101019 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4027332 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111019 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111019 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121019 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121019 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131019 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |