JP2005265545A - ガスセンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ガスセンサは、抵抗体薄膜が形成された電気絶縁性基板の一方の面に、ガス検出材料膜を備えるガスセンサであって、抵抗体薄膜の膜厚が、50nm〜10μmの範囲内にある。
【選択図】 図1
Description
純度99%の石英製基板(縦横:2×2mm、厚さ:0.5mm)の片面の全面に、ソースとしてのシラン(日本酸素社製)及びジボラン(日本酸素社製)と、ホウ素とを用い、減圧CVD法(温度:650℃、圧力:1Pa)により、ホウ素を1モル%含有する多結晶シリコン薄膜(膜厚:5μm)を成膜して抵抗体薄膜を形成した。
純度98%の焼結アルミナ製基板(縦横:2×2mm、厚さ:0.5mm)の片面の全面に、膜厚が500nmのタングステン薄膜をスパッタ法により成膜した。さらに、この薄膜に対してフォトリソグラフィー法を用い、電極としてのタングステンリード層を形成した。
純度98%の焼結アルミナ製基板(縦横:2×2mm、厚さ:0.5mm)の片面の全面に、膜厚が500nmのタングステン薄膜をスパッタ法により成膜した。さらに、この薄膜に対してフォトリソグラフィー法を用い、電極としてのタングステンリード層を形成した。
Claims (9)
- 抵抗体薄膜が形成された電気絶縁性基板の一方の面に、ガス検出材料膜を備えるガスセンサであって、
前記抵抗体薄膜の膜厚が、50nm〜10μmの範囲内にあることを特徴とするガスセンサ。 - 前記ガスセンサが、前記ガス検出材料膜を、前記電気絶縁性基板の前記抵抗体薄膜が形成された面と異なる面に備え、
前記抵抗体薄膜を被覆する保温層をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のガスセンサ。 - 前記抵抗体薄膜と、前記保温層との間に、拡散防止層をさらに備えることを特徴とする請求項2に記載のガスセンサ。
- 前記拡散防止層が、シリカ、窒化ケイ素及びアルミナからなる群より選択される少なくとも1種からなることを特徴とする請求項3に記載のガスセンサ。
- 前記ガスセンサが、前記ガス検出材料膜を、前記電気絶縁性基板の前記抵抗体薄膜が形成された面と同一面に備え、
前記電気絶縁性基板の前記抵抗体薄膜が形成された面と異なる面に保温層をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のガスセンサ。 - 前記ガス検出材料膜が、酸化亜鉛粒子と、該酸化亜鉛粒子の表面に存在する塩素化合物と、を含む水素ガス検出材料からなることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のガスセンサ。
- 前記抵抗体薄膜が、金属、窒化物、サーメット、シリサイド、ポリシリコン、炭化ケイ素、又は炭素材料からなることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のガスセンサ。
- 前記電気絶縁性基板が、金属、アルミナ、酸化ベリリウム、炭化ケイ素、炭化タングステン、窒化ホウ素、窒化タングステン、窒化アルミニウム、石膏、シリカ、ムライト、ジルコニア、又はホウケイ酸ガラスからなることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載のガスセンサ。
- 前記保温層が、耐火セメント、石膏、シリカ、ムライト、ジルコニア及びホウケイ酸ガラスからなる群より選択される少なくとも1種からなることを特徴とする請求項2〜8のいずれか1項に記載のガスセンサ。
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