JP2005262522A - ポリマーシートの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 複数個の貫通穴を有するポリマーシートの製造方法において、
(a)所定の形状のマスターを準備するステップと、
(b)前記マスターにポリジメチルシロキサン(PDMS)プレポリマー混合液を注入し、硬化させるステップと、
(c)前記マスターから硬化PDMSモールドを剥離するステップと、
(d)前記PDMSモールドをガラス基板に接着させるステップと、
(e)前記PDMSモールド・ガラス基板接合体にPDMSプレポリマー混合液を注入し、硬化させるステップと、
(f)前記PDMSモールド・ガラス基板接合体からPDMSモールドとガラス基板を引き剥がし、生成された貫通穴付きPDMSシートを回収するステップとからなることを特徴とするポリマーシートの製造方法。
【選択図】 図2
Description
(b)前記マスターにポリジメチルシロキサン(PDMS)プレポリマー混合液を注入し、硬化させるステップと、
(c)前記マスターから硬化PDMSモールドを剥離するステップと、
(d)前記PDMSモールドをガラス基板に接着させるステップと、
(e)前記PDMSモールド・ガラス基板接合体にPDMSプレポリマー混合液を注入し、硬化させるステップと、
(f)前記PDMSモールド・ガラス基板接合体からPDMSモールドとガラス基板を引き剥がし、生成された貫通穴付きPDMSシートを回収するステップとからなることを特徴とするポリマーシートの製造方法である。
(ii)前記露光レジストを現像するステップとからなる光リソグラフィー法により形成されたものであることを特徴とする前記第1のポリマーシートの製造方法である。
(b)前記各穴内の培地上に細胞を接種するステップと、
(c)前記接種細胞を培養するステップと、
(d)培養終了後に、PDMSポリマーシートを剥離し、培養細胞がパターニングされたガラス基板を回収するステップとからなることを特徴とする細胞培養方法である。
(b)前記複数個の貫通穴を有するPDMSシート上から物質を塗布するステップと、
(c)前記物質が乾燥した後、前記PDMSシートを基板から剥離するステップとからなることを特徴とする基板上に物質が多数のスポット状にパターニングされたシートの製造方法である。
図1(A)は本発明の方法により製造されたポリマーシートの一例の上面図であり、図1(B)は図1(A)における1B−1B線に沿った断面図である。シート1は例えば、ポリジメチルシロキサン(PDMS)などのポリマーから形成されている。その他のポリマーも条件が満たされれば使用できる。シート1のサイズ自体は用途に応じて任意のサイズを選択することができる。従って、シート1は正方形、長方形、円形、楕円形、三角形、五角以上の多角形など任意の形状をとることができる。シート1には用途に応じて任意の個数の貫通穴3が形成されている。シート1の厚さは数百μm〜数十mm程度(例えば、200μm〜10mm)である。貫通穴3の断面形状は図示された矩形状のものに限定されない。円形状、楕円状、三角形状、五角以上の多角形状など様々な形状を採ることもできる。
このマスターの表面をフルオロカーボン(CHF3)の存在下で反応性イオンエッチングシステムにより処理し、表面にCHF3剥離膜を形成した。マスターの剥離膜形成面上に、PDMSプレポリマー混合液として、米国のダウ・コーニング社製のSYLGARD 184 SILICONE ELASTOMERを厚さ約2mmになるように流し込み、脱気、加温(65℃、4時間)した。4時間経過後、オーブンから取り出し、PDMSモールドをマスターから剥離した。この剥離したPDMSモールドをガラス基板に自己吸着させ、200μmの隙間に更に、反応性イオンエッチングシステムにより、フルオロカーボン(CHF3)処理後、200μmの隙間にPDMSプレポリマーを流し込んだ。流し込んだ後、65℃で4時間加熱重合した。その後、まず、PDMSモールドと、流し込んで加熱重合形成された目的のPDMSシートを同時にガラスから引き剥がし、別のガラスに貼り、目的のPDMSシートをガラスに押さえながら、PDMSモールドを引き剥がした。その後、目的のPDMSシートをO2プラズマによりクリーニングした。クリーニングされた48個の貫通穴を有するPDMSシートをガラスに恒久接着させ、48穴マイクロタイタープレートを完成させた。
3,58 貫通穴
5 基板
7,62 マイクロタイタープレート
9 マイクロチャネル
21 シリコン基板
23 レジスト膜
25 マスク
27 微細構造
29 マスター
31,54 PDMSモールド
35 ガラス基板
37,56 PDMSシート
41 ガラス基板
43 第1のPDMSシート
45 第2のPDMSシート
50 市販のマイクロタイタープレートの穴
52 市販のマイクロタイタープレート
60 基板
62 深穴マイクロタイタープレート
70 基板
72 塗布物質
74 検査シート
76 突起
78 PDMS担体
80 検査シート
Claims (9)
- 複数個の貫通穴を有するポリマーシートの製造方法において、
(a)所定の形状のマスターを準備するステップと、
(b)前記マスターにポリジメチルシロキサン(PDMS)プレポリマー混合液を注入し、硬化させるステップと、
(c)前記マスターから硬化PDMSモールドを剥離するステップと、
(d)前記PDMSモールドをガラス基板に接着させるステップと、
(e)前記PDMSモールド・ガラス基板接合体にPDMSプレポリマー混合液を注入し、硬化させるステップと、
(f)前記PDMSモールド・ガラス基板接合体からPDMSモールドとガラス基板を引き剥がし、生成された貫通穴付きPDMSシートを回収するステップとからなることを特徴とするポリマーシートの製造方法。 - 前記マスターは、
(i)基板上に塗布されたレジスト膜を所定のパターンを有するマスクを通して露光するステップと、
(ii)前記露光レジストを現像するステップとからなる光リソグラフィー法により形成されたものであることを特徴とする請求項1に記載のポリマーシートの製造方法。 - 前記マスターは市販のマイクロタイタープレートであることを特徴とする請求項1に記載のポリマーシートの製造方法。
- 前記(b)ステップにおいて、ポリジメチルシロキサン(PDMS)プレポリマー混合液を注入するのに先だって、前記マスターをフルオロカーボンで処理するステップを更に有することを特徴とする請求項1に記載のポリマーシートの製造方法。
- 前記(e)ステップにおいて、ポリジメチルシロキサン(PDMS)プレポリマー混合液を注入するのに先だって、前記PDMSモールド・ガラス基板接合体をフルオロカーボンで処理するステップを更に有することを特徴とする請求項1に記載のポリマーシートの製造方法。
- 前記請求項1に記載された方法により製造された複数個の貫通穴を有するPDMSシートと、該PDMSシートの一方の面に接着されたガラス基板とからなることを特徴とするマイクロタイタープレート。
- 前記請求項1に記載された方法により製造された複数個の貫通穴と、該貫通穴を連通する微細流路とを有するPDMSシートと、該PDMSシートの微細流路形成面側に接着されたガラス基板とからなることを特徴とするマイクロチップ。
- (a)請求項6に記載マイクロタイタープレートの各穴内に培地を注入するステップと、
(b)前記各穴内の培地上に細胞を接種するステップと、
(c)前記接種細胞を培養するステップと、
(d)培養終了後に、PDMSポリマーシートを剥離し、培養細胞がパターニングされたガラス基板を回収するステップとからなることを特徴とする細胞培養方法。 - 基板上に物質が多数のスポット状にパターニングされたシートの製造方法において、
(a)前記請求項1に記載された方法により製造された複数個の貫通穴を有するPDMSシートを基板に貼り合わせるステップと、
(b)前記複数個の貫通穴を有するPDMSシート上から物質を塗布するステップと、
(c)前記物質が乾燥した後、前記PDMSシートを基板から剥離するステップとからなることを特徴とする基板上に物質が多数のスポット状にパターニングされたシートの製造方法。
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