JP2009183227A - 複数の微小液滴を形成するための成型体およびその成型方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】互いに平行となる第一、第二および第三の面を有し、第一と第三の面間を貫く、独立した複数の毛細管を有し、第一と第二の面間において第一と第二の面に垂直でかつ全ての毛細管が平行並立する領域を有し、かつ第二の面と第三の面の間において任意に選んだ毛細管と残る全ての毛細管の平行面内における距離が第三の面に近づくほど遠ざかる特徴を有した成型体。
【選択図】図1
Description
前記第一と第三の面の間を貫く、独立した複数の毛細管を有し、
前記第一と第二の面間において、前記第一と第二の面に垂直でかつ全ての毛細管が平行並立する領域を有し、
かつ前記第二の面と第三の面の間において、任意に選んだ毛細管と残る全ての毛細管の平行面内における距離が、第三の面に近づくほど遠ざかる特徴を有した成型体である。
集束部をもつ線状の集合体を形成する工程と、
前記線状の集合体の一端と前記集束部との間において、前記集束構造を有さない領域を成型する工程と、
前記成型後に前記集束部を前記線状の集合体の他端の側に移動させ、前記集束構造を有する線状の集合体を形成する工程と、
移動後の前記集束部までの集束構造を有する領域を成型する工程と、
を含む集束構造をもつ毛細管アレイの成型方法である。
Siウエハを集束部を形成する枚葉の部材として用いて、DEEP-RIEなどの微細加工方法によって、貫通エッチングして加工することが望ましい。図5の(B)から(E)に凸部形状の一例を示す。また(A)にSiウエハ断面15を示す。樹脂が流し込まれ、凸部が形成される。
成型体の第一の面を形成する枚葉の部材7aとしてSiウエハを用い、DEEP-RIE法によって加工し、凸部形状を形成するためにSiウエハ上に凹部を作製する。まず凸部形状となるマスクパターンを描き、マスクを作製する。マスクは、Siウエハの表面からエッチングするパターンと裏面からエッチングするパターンの2種類を作製する。
貫通孔間の間隔は、枚葉の部材7aが1536ウエルプレートの規格である2.25mmで、枚葉の部材7bが250μmとしている。
図6に集束部をもつ線状の集合体とそれを格納する鋳型の写真を示す。線状物質はナイロン糸100μmを用いる。貫通エッチング、ダイシングの終了した、上下2種類のSi加工済みウエハに、拡大鏡を用いてナイロン糸を通す(写真上部)。
PDMS(ポリジメチルシロキサン)樹脂(SYLGARD184:ダウコーニング(株))を添付の重合開始剤と10:1に混合し、遠心脱泡する。上記形成した線状の集合体を鋳型に収め、PDMS樹脂を流し込む。冷暗所で一晩、成型させる。
鋳型から硬化したPDMS樹脂をはずし、集束部を後方に移動させる。再度鋳型に収め、できた空間に先ほどのPDMS樹脂を流し込み、成型させる。
2 微小液滴
3 毛細管
4 第一の面
5 第二の面
6 第三の面
7a、7b 枚葉の部材
8 集束部
9 線状物質
10 成型体(工程B)
11 成型体(工程D)
12 ネジ
13a、13b 半割の鋳型
14a、14b 保持部
15 Siウエハ断面
Claims (5)
- 同一平面上に複数の微小液滴を高密度に押印、形成させるための成型体であって、
押印面となる第一の面と、液体導入面となる第三の面と、該第一と第三の面の間に存在する断面である第二の面とを互いに平行となるように有し、
前記第一と第三の面の間を貫く、独立した複数の毛細管を有し、
前記第一と第二の面の間において、前記第一と第二の面に垂直でかつ全ての毛細管が平行並立する領域を有し、
かつ前記第二の面と第三の面の間において、任意に選んだ毛細管と残る全ての毛細管の平行面内における距離が、第三の面に近づくほど遠ざかる特徴を有した成型体。 - 請求項1において、前記第一の面が有する毛細管の孔に、液体混合防止のための凸部を形成していることを特徴とする成型体。
- 請求項1において、成型体の材料として、PDMS(ポリジメチルシロキサン)を用いることを特徴とする成型体。
- 集束構造をもつ毛細管アレイの成型方法において、
集束部をもつ線状の集合体を形成する工程と、
前記線状の集合体の一端と前記集束部との間において、前記集束構造を有さない領域を成型する工程と、
前記成型後に前記集束部を前記線状の集合体の他端の側に移動させ、前記集束構造を有する線状の集合体を形成する工程と、
移動後の前記集束部までの集束構造を有する領域を成型する工程と、
を含む集束構造をもつ毛細管アレイの成型方法。 - 請求項2の成型する工程において、微細加工を施したSiウエハを鋳型の一部分に用いることを特徴とした毛細管アレイの樹脂成型方法。
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JP2004191255A (ja) * | 2002-12-12 | 2004-07-08 | Olympus Corp | 高密度マイクロチャンネルアレイ |
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